JP2010034552A - フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法 - Google Patents
フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010034552A JP2010034552A JP2009166382A JP2009166382A JP2010034552A JP 2010034552 A JP2010034552 A JP 2010034552A JP 2009166382 A JP2009166382 A JP 2009166382A JP 2009166382 A JP2009166382 A JP 2009166382A JP 2010034552 A JP2010034552 A JP 2010034552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitrogen
- insulating film
- forming
- film
- oxide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 238000009413 insulation Methods 0.000 title abstract description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 96
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 60
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 31
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 3
- 238000011066 ex-situ storage Methods 0.000 claims description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 10
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 125
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 5
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000005527 interface trap Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02321—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer
- H01L21/02329—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer introduction of nitrogen
- H01L21/02332—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer introduction of nitrogen into an oxide layer, e.g. changing SiO to SiON
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/02227—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process
- H01L21/0223—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate
- H01L21/02233—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer
- H01L21/02236—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor
- H01L21/02238—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor silicon in uncombined form, i.e. pure silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/0214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being a silicon oxynitride, e.g. SiON or SiON:H
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/02227—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process
- H01L21/02255—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02337—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
- H01L21/0234—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour treatment by exposure to a plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
- H01L21/28017—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes the insulator being formed after the semiconductor body, the semiconductor being silicon
- H01L21/28158—Making the insulator
- H01L21/28167—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation
- H01L21/28185—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation with a treatment, e.g. annealing, after the formation of the gate insulator and before the formation of the definitive gate conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/3143—Inorganic layers composed of alternated layers or of mixtures of nitrides and oxides or of oxinitrides, e.g. formation of oxinitride by oxidation of nitride layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42324—Gate electrodes for transistors with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66825—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
【課題】800℃以上の高温のプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(trap site)を減少させ、シリコン酸化窒化膜(SiON)の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法の提供。
【解決手段】半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、800〜900℃のプラズマ窒化処理工程によって前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記窒素含有絶縁膜の形成された前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を提供する。
【選択図】図1C
【解決手段】半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、800〜900℃のプラズマ窒化処理工程によって前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記窒素含有絶縁膜の形成された前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を提供する。
【選択図】図1C
Description
本発明は、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法に係り、特に漏れ電流(Leakage Current)および絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage)特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法に関する。
半導体素子であるフラッシュメモリ素子は、電源供給が遮断されても、そのメモリセルに格納されている情報を維持するうえ、回路基板に取り付けられている状態で高速の電気的消去が可能な不揮発性メモリ素子であって、高集積化に有利な構造のため、最近多く研究されて開発されるメモリ素子である。このようなフラッシュメモリ素子の単位セルは、半導体基板の活性領域上にトンネル酸化膜、フローティングゲート、誘電体膜およびコントロールゲートが順次積層されて形成される。これらの中でも、トンネル酸化膜は、一般なトランジスタのゲート酸化膜とは異なり、薄膜自体がデータを移動させる通路の役割を果たすので、非常に優れた薄膜特性が要求される。
NANDフラッシュ素子は、プログラム動作と消去動作の両方ともFNトンネリング方式を使用するので、数多くのプログラム動作と消去動作が繰り返し行われると、トンネル酸化膜の劣化現象が発生して機能を正常的に発揮することができなくなる。よって、トンネル酸化膜の厚さは出来る限り薄く形成してプログラムスピード特性を向上させるが、薄膜特性の劣化を防止するために薄膜内に窒素を注入させている。既存では、酸化工程を行って純粋な酸化膜を成長させた後、後続でN2OまたはNOガスを用いたアニーリング(Annealing)工程によってトンネル酸化膜と半導体基板との界面に2〜3at%の窒素を分布させて薄膜の特性を改善する方法を使用してきた。
ところが、最近の急速に薄くなったトンネル酸化膜に2〜3at%の窒素を分布させる程度では、満足すべき絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性を確保することができなくなっており、PMOSトランジスタの場合にはホウ素浸透(penetration)の誘発によりゲート絶縁膜特性が劣化するという問題点が生じた。
そこで、本発明の目的は、800℃以上の高温のプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(trap site)を減少させ、シリコン酸化窒化膜(SiON)の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性などを改善することが可能なフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法は、半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、800〜900℃のプラズマ窒化処理工程によって前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記窒素含有絶縁膜の形成された前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む。
前記において、酸化膜はラジカル酸化(Radical Oxidation)工程によって形成される。ラジカル酸化工程は、O2、H2およびArガス雰囲気の下に800〜950℃の温度で行われる。
プラズマ窒化処理工程は、ArおよびN2ガス雰囲気の下に3〜10Paの圧力および150〜200Wのパワーで行われる。
窒素含有絶縁膜は、シリコン酸化窒化膜(SiON)を含んで形成される。
窒素蓄積層は、N2Oガスを用いたアニーリング工程によって形成される。アニーリング工程は、常圧および900〜1100℃の温度でプリ活性チャンバー(Pre ActivationChamber、PAC)を用いて行われる。アニーリング工程は、プラズマ窒化処理工程の後、エクスシチュー(ex-situ)で行われる。
窒素蓄積層形成後の窒素含有絶縁膜は、窒素濃度が5〜30at%である。
本発明の他の実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法は、半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、前記酸化膜の表面を窒化処理させて窒素含有絶縁膜を形成する段階と、前記半導体基板と前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含む。
前記において、窒素含有絶縁膜はプラズマ窒化処理工程を用いる。プラズマ窒化処理工程は800〜900℃の温度、ArおよびN2ガス雰囲気、3〜10Paの圧力並びに150〜200Wのパワーで行われる。
本発明は、次の効果がある。
一つ目、800℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程を含んでトンネル絶縁膜を形成することにより、トラップサイト(Trap Site)を著しく減少させ、窒素の含有量が大きいシリコン酸化窒化膜(SiON)の形成によってホウ素浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性を改善することができる。
二つ目、プラズマ窒化処理工程の適用によるトンネル絶縁膜の有効酸化膜厚さ(Equivalent Oxide Thickness:EOT)の減少によってトンネル絶縁膜の物理的な厚さを増加させてサイクリング(cycling)およびリテンション(retention)特性を改善することができる。
三つ目、既存のプラズマ窒化処理工程適用時の後続のO2アニーリング工程を行う代わりに、トンネル絶縁膜の製造の際に使用するN2Oアニーリング工程をプラズマ窒化処理工程の後に行うことにより、工程数を減少させることができる。
四つ目、N2Oアニーリング工程を行い、半導体基板と酸化膜の界面に窒素蓄積層が形成されることにより、窒素の損失が防止され、酸化膜の表面の窒素含有絶縁膜が緻密化されてしきい値電圧シフト(Vt shift)、およびしきい値電圧変化(Vt variation)の特性劣化を防止することができる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。
図1A〜図1Cは本発明の一実施例に係るフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法を説明するための断面図、図2は本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜の深さによる窒素濃度を示すSIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)グラフである。
図1Aを参照すると、ウェル領域(図示せず)の形成された半導体基板10を準備する。ウェル領域はトリプル(Triple)構造で形成できる。この場合、ウェル領域は半導体基板10上にスクリーン酸化膜(図示せず)を形成した後、ウェルイオン注入工程およびしきい値電圧イオン注入工程によって形成する。
スクリーン酸化膜を除去した後には、ウェル領域の形成された半導体基板10上に、トンネル絶縁膜形成のための酸化膜形成前の洗浄工程をさらに行うことができる。洗浄工程は、自然酸化膜(Natural Oxide)および不純物を除去するために、HF溶液およびSC−1(Standard Cleaning-1)溶液を用いて行うことができる。
次いで、スクリーン酸化膜を除去した後、ウェル領域の形成された半導体基板10上に酸化膜12を形成する。酸化膜12は、ラジカル酸化(Radical Oxidation)工程によって形成することができる。この場合、ラジカル酸化工程はO2、H2およびArガス雰囲気下に800〜950℃の温度で行うことができる。これにより、酸化膜12は純粋なシリコン酸化膜(SiO2)で形成される。酸化膜12は60〜80Åの厚さに形成することができる。
このようにラジカル酸化工程を用いて酸化膜12を形成する場合には、より緻密な薄膜を得ることができるため、後続の高温工程でトンネル絶縁膜の膜質が低下することを防止することができる。
図1Bを参照すると、酸化膜12の表面を窒化処理する。窒化処理工程はプラズマ窒化処理工程によって行う。この場合、プラズマ窒化処理工程は、既存より化学反応が活発に起るように、800〜900℃の高温で行うことが好ましい。また、プラズマ窒化処理工程はArおよびN2ガス雰囲気の下に3〜10Paの圧力および150〜200Wのパワーで行うことができる。
これにより、プラズマ窒化処理工程によって酸化膜表面のSi−O結合の酸素部位に窒素が置換されて酸化膜12の表面に窒素含有絶縁膜12aが形成される。よって、酸化膜12の表面に一つの窒素ピークが形成される。
このような窒素含有絶縁膜12aはシリコン窒化膜(Si3N4)および/またはシリコン酸化窒化膜(SiON)で形成できるが、プラズマ窒化処理によっては窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜(SiON)が主に形成される。これにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜へのホウ素の浸透を抑制して絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性を改善することができる。
また、800℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程を用いる場合には、既存の500℃以下の低温におけるプラズマ窒化処理工程を用いる場合より化学反応が容易に起るので、低温プラズマ窒化処理工程に比べてトラップサイト(Trap Site)を著しく減少させることができる。したがって、以後に形成されるトンネル絶縁膜の絶縁破壊電圧特性または漏れ電流特性をさらに改善することができる。
一方、プラズマ窒化処理の際に、酸化膜12の表面が反応して窒素含有絶縁膜12aが形成されるので、酸化膜12の厚さは初期形成時に比べて一部の厚さだけ低くなる。
図1Cを参照すると、半導体基板10と酸化膜12との界面に窒素を蓄積させるための工程を行う。この際、窒素蓄積工程は、N2Oガスを用いたアニーリング工程によって行うことができ、窒素含有絶縁膜12aの形成後にエクスシチューで行う。この場合、N2Oアニーリング工程は、N2Oガス雰囲気の下に常圧および900〜1100℃の温度で行うことができ、プリ活性チャンバー(Pre Activation Chamber:PAC)を用いてN2Oガスの分解を助ける。
これにより、半導体基板10と酸化膜12との界面に、窒素の注入された窒素蓄積層12bが形成される。その結果、半導体基板10と酸化膜12との界面にもう一つの窒素ピーク(Nitrogen Peak)が形成される。このような窒素蓄積層12bによって半導体基板10と酸化膜12との界面に必然的に発生する界面トラップ電荷(Interface Trap Charge)の密度を減少させ、SILC(Stress Induced Leakage Current)およびCV(Current-Voltage)特性などを改善することにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜のサイクリング特性およびリテンション特性を向上させることができる。
特に、本発明の一実施例では、N2Oアニーリング工程の後、窒素含有絶縁膜12a内の窒素濃度を5〜30at%を調節することにより、以後に形成されるトンネル絶縁膜の絶縁破壊電圧特性を向上させ、漏れ電流を減らして漏れ電流特性を向上させる。
一般に、プラズマ窒化処理工程の後でN2Oアニーリング工程を行ったとき、酸化膜12の表面に形成された窒素含有絶縁膜12a内の窒素濃度が40〜50%減少する。よって、N2Oアニーリング工程の後、窒素含有絶縁膜12aにおいて最終的に所望する窒素濃度を得るためには、N2Oアニーリング工程条件をチューニングすると同時に、プラズマ窒化処理の際に窒素濃度を調節しなければならない。
一方、N2Oアニーリング工程によって酸化膜12の厚さが窒素含有絶縁膜12aの形成後に比べて10〜20Å程度増加できる。ところが、N2Oアニーリング工程の際に工程条件を適切に調節することにより、N2Oアニーリング工程の完了後、酸化膜12の厚さ増加量が1Å以下に制御されるようにする。また、N2Oアニーリング工程によって窒素含有絶縁膜12aの厚さが一部増加できる。
通常、プラズマ窒化処理工程の後には、酸化膜12の表面のダメージ問題と、結合していない窒素などの不安定性のため、窒素ピークの利点を生かすことができないので、窒化処理工程の後、後続のO2アニーリング工程を行う。ところが、本発明ではN2Oアニーリング工程をプラズマ窒化処理工程の後で行うことにより、窒化処理の後、O2アニーリング工程を省略して工程数を減少させると同時に、窒素の損失と窒素含有絶縁膜12aの緻密化を助けて、以後に形成されるトンネル絶縁膜のしきい値電圧シフト特性およびしきい値電圧変化の特性の劣化を防止することができる。
最終的に、酸化膜12の形成後、順次行われる高温のプラズマ窒化処理工程とN2Oアニーリング工程によって、窒素蓄積層12b、酸化膜12および窒素含有絶縁膜12aの積層膜からなるトンネル絶縁膜14が形成される。
上述したように、本発明の一実施例によれば、800℃以上の高温におけるプラズマ窒化処理工程によってトラップサイトが著しく減少し、窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜(SiON)からなる窒素含有絶縁膜12aを含むトンネル絶縁膜14を形成することにより、トンネル絶縁膜14へのホウ素の浸透を抑制して漏れ電流および絶縁破壊電圧特性を改善することができる。
一般に、シリコン窒化膜(Si3N4)、シリコン酸化窒化膜(SiON)などの窒化膜は誘電率が約7程度であって、誘電率3.9のシリコン酸化膜(SiO2)に比べて高い誘電率を持つ。よって、トンネル絶縁膜14がシリコン酸化窒化膜(SiON)からなる窒素含有絶縁膜12aを含んで形成される場合、トンネル絶縁膜14の等価酸化膜厚さ(Equivalent Oxide Thickness:EOT)の減少によってトンネル絶縁膜14の物理的な厚さを増加させてサイクリングおよびリテンション特性を改善することができる。
図2を参照すると、図1A〜図1Cに示すように、本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜14は、N2Oアニーリングを行う前には、プラズマ窒化処理工程による窒素含有絶縁膜12aによってトンネル絶縁膜14の表面にAのように一つの窒素ピークを持つ。N2Oアニーリングの後には、トンネル絶縁膜14の表面に窒素含有絶縁膜12aによってBのようにAより減少した窒素濃度を持つ一つの窒素ピークとN2Oアニーリング工程による窒素蓄積層12bによって半導体基板10とトンネル絶縁膜14との界面にCのようにもう一つの窒素ピークを介してトンネル絶縁膜14が二重窒素ピーク(Double Nitrogen Peak)を持つ。この際、最終トンネル絶縁膜14の表面の窒素ピークBにおける窒素濃度は7at%以上に高く維持されることを確認することができた。
したがって、本発明の一実施例に係るトンネル絶縁膜14は、二重窒素ピークを有するが、トンネル絶縁膜14の表面の窒素濃度が5at%以上と高く維持され、窒素含有量の大きいシリコン酸化窒化膜(SiON)からなる窒素含有絶縁膜12aを含んで緻密化されて形成されることにより、絶縁破壊電圧、漏れ電流、サイクリング、リテンション、しきい値電圧シフトおよびしきい値電圧変化の特性などが向上するので、素子の信頼性を向上させることができる。
図示していないが、後続でトンネル絶縁膜14上にフローティングゲート用ポリシリコン膜を形成した後、後続の工程を行って半導体素子を完成する。
本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、相異なる多様な形態で実現できる。これらの実施例は、本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に本発明の範疇を完全に知らせるために提供される。したがって、本発明の範囲は特許請求の範囲によって理解されるべきである。
10 半導体基板
12 酸化膜
12a 窒素含有絶縁膜
12b 窒素蓄積層
14 トンネル絶縁膜
12 酸化膜
12a 窒素含有絶縁膜
12b 窒素蓄積層
14 トンネル絶縁膜
Claims (14)
- 半導体基板上に酸化膜を形成する段階と、
前記酸化膜の表面に窒素含有絶縁膜を形成する段階と、
前記半導体基板と前記酸化膜との界面に窒素蓄積層を形成する段階とを含んでなることを特徴とする、フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。 - 前記酸化膜は、ラジカル酸化(Radical Oxidation)工程で形成されることを特徴とする、請求項1に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記ラジカル酸化工程は、800〜950℃の温度で行われることを特徴とする、請求項2に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記ラジカル酸化工程は、O2、H2およびArガス雰囲気の下で行われることを特徴とする、請求項2に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記窒素含有絶縁膜は、プラズマ窒化処理工程で形成されることを特徴とする、請求項1に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- プラズマ窒化処理工程は、ArおよびN2ガス雰囲気の下で行われることを特徴とする、請求項5に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記プラズマ窒化処理工程は、800〜900℃の温度で行われることを特徴とする、請求項5に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記プラズマ窒化処理工程は、3〜10Paの圧力および150〜200Wのパワーで行われることを特徴とする、請求項5に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記窒素含有絶縁膜は、シリコン酸化窒化膜(SiON)を含んで形成されることを特徴とする、請求項1に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記窒素蓄積層は、N2Oガスを用いたアニーリング工程で形成されることを特徴とする、請求項1に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記アニーリング工程は、常圧および900〜1100℃の温度で行われることを特徴とする、請求項10に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記アニーリング工程は、プリ活性チャンバー(Pre Activation Chamber、PAC)を用いて行われることを特徴とする、請求項10に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記アニーリング工程は、前記窒素含有絶縁膜を形成する段階の後、エクスシチュー(ex-situ)で行われることを特徴とする、請求項10に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
- 前記窒素蓄積層形成後の前記窒素含有絶縁膜は、窒素濃度が5〜30at%であることを特徴とする、請求項13に記載のフラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080073895A KR20100012482A (ko) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | 플래시 메모리 소자의 터널 절연막 형성 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010034552A true JP2010034552A (ja) | 2010-02-12 |
Family
ID=41608799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009166382A Pending JP2010034552A (ja) | 2008-07-29 | 2009-07-15 | フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100029091A1 (ja) |
JP (1) | JP2010034552A (ja) |
KR (1) | KR20100012482A (ja) |
CN (1) | CN101640176A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079785A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Tokyo Electron Ltd | 絶縁膜の改質方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107126256B (zh) * | 2011-02-25 | 2021-01-08 | 科瑞恩公司 | 包括计算机实施的用于提供对准信息数据的步骤的方法 |
CN103578950B (zh) * | 2012-08-07 | 2017-04-05 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种闪存隧道氧化层的制备方法 |
CN104733296B (zh) * | 2013-12-24 | 2017-12-12 | 北京兆易创新科技股份有限公司 | 一种快闪存储器隧道绝缘层的制作方法 |
CN104733297B (zh) * | 2013-12-24 | 2017-12-12 | 北京兆易创新科技股份有限公司 | 快闪存储器绝缘介质层的制作方法和快闪存储器结构 |
KR102066743B1 (ko) * | 2014-01-09 | 2020-01-15 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 그 형성방법 |
CN105575785A (zh) * | 2014-10-09 | 2016-05-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 栅极结构的形成方法 |
US9953831B1 (en) * | 2016-12-21 | 2018-04-24 | Globalfoundries Inc. | Device structures with multiple nitrided layers |
US11322347B2 (en) * | 2018-12-14 | 2022-05-03 | Applied Materials, Inc. | Conformal oxidation processes for 3D NAND |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2004023549A1 (ja) * | 2002-08-30 | 2006-01-05 | Spansion Japan株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006100382A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
KR101338158B1 (ko) * | 2007-07-16 | 2013-12-06 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 기억 소자 및 그 형성 방법 |
-
2008
- 2008-07-29 KR KR1020080073895A patent/KR20100012482A/ko not_active Application Discontinuation
-
2009
- 2009-06-30 US US12/495,165 patent/US20100029091A1/en not_active Abandoned
- 2009-07-15 CN CN200910140308A patent/CN101640176A/zh active Pending
- 2009-07-15 JP JP2009166382A patent/JP2010034552A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079785A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Tokyo Electron Ltd | 絶縁膜の改質方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100012482A (ko) | 2010-02-08 |
CN101640176A (zh) | 2010-02-03 |
US20100029091A1 (en) | 2010-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5416936B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5032145B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010034552A (ja) | フラッシュメモリ素子のトンネル絶縁膜形成方法 | |
JP5443873B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5052787B2 (ja) | フラッシュメモリ素子の製造方法 | |
US7981786B2 (en) | Method of fabricating non-volatile memory device having charge trapping layer | |
JP4921837B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007043147A (ja) | 原子層蒸着工程を用いたシリコンリッチナノクリスタル構造物の形成方法及びこれを用いた不揮発性半導体装置の製造方法 | |
JP2010021204A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007123825A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8039337B2 (en) | Nonvolatile memory device with multiple blocking layers and method of fabricating the same | |
KR100933835B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
JPWO2007043491A1 (ja) | 半導体記憶装置およびその製造方法 | |
KR100894764B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
JP5348898B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2004214608A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4959926B2 (ja) | フラッシュメモリセルの製造方法 | |
KR20110010628A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치 | |
KR100543209B1 (ko) | Sonos 구조를 갖는 트랜지스터 제조 방법 | |
US20090068850A1 (en) | Method of Fabricating Flash Memory Device | |
KR20070106155A (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 제조방법 | |
KR20090080606A (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
JP2009253195A (ja) | 半導体装置の製造方法、及び半導体装置 | |
KR100933840B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
KR20080001281A (ko) | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |