JP2010030033A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010030033A5 JP2010030033A5 JP2009146448A JP2009146448A JP2010030033A5 JP 2010030033 A5 JP2010030033 A5 JP 2010030033A5 JP 2009146448 A JP2009146448 A JP 2009146448A JP 2009146448 A JP2009146448 A JP 2009146448A JP 2010030033 A5 JP2010030033 A5 JP 2010030033A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coolant
- regeneration method
- addition step
- distillation
- slurry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 17
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims 8
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146448A JP5173945B2 (ja) | 2008-07-02 | 2009-06-19 | クーラント再生方法およびスラリー再生方法 |
PCT/JP2009/062126 WO2010001961A1 (ja) | 2008-07-02 | 2009-07-02 | クーラント再生方法およびスラリー再生方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173355 | 2008-07-02 | ||
JP2008173355 | 2008-07-02 | ||
JP2009146448A JP5173945B2 (ja) | 2008-07-02 | 2009-06-19 | クーラント再生方法およびスラリー再生方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010030033A JP2010030033A (ja) | 2010-02-12 |
JP2010030033A5 true JP2010030033A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2011-02-03 |
JP5173945B2 JP5173945B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=41466052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009146448A Expired - Fee Related JP5173945B2 (ja) | 2008-07-02 | 2009-06-19 | クーラント再生方法およびスラリー再生方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5173945B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
WO (1) | WO2010001961A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5332914B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2013-11-06 | 信越半導体株式会社 | シリコンインゴットの切断方法 |
JP5640260B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2014-12-17 | 日本碍子株式会社 | クーラント回収方法 |
JP5844135B2 (ja) * | 2010-12-24 | 2016-01-13 | 花王株式会社 | 研磨液組成物の製造方法 |
JP5756423B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2015-07-29 | ジー・フォースジャパン株式会社 | 分離回収装置 |
JPWO2013054577A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2015-03-30 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法 |
KR20140109392A (ko) * | 2011-12-27 | 2014-09-15 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 연마제용 첨가제 및 연마 방법 |
JP2013248706A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Panasonic Corp | クーラント廃液の再生方法、クーラント廃液の処理方法、クーラント廃液の処理システム、及び再生クーラント液の製造方法 |
JP5860026B2 (ja) * | 2013-12-12 | 2016-02-16 | アミタ株式会社 | シリコンスラリー廃液の全量リサイクルシステム、クーラント回収液、回収砥粒、及び回収切削粉 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4497767B2 (ja) * | 2001-09-06 | 2010-07-07 | ユシロ化学工業株式会社 | 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物 |
JP2005313030A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sharp Corp | スラリ再生方法 |
JP4493454B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2010-06-30 | 株式会社カサタニ | シリコン加工用水溶性切削剤組成物及び加工方法 |
ITRM20050329A1 (it) * | 2005-06-24 | 2006-12-25 | Guido Fragiacomo | Procedimento per il trattamento di sospensioni abrasive esauste per il recupero delle loro componenti riciclabili e relativo impianto. |
JP2007246366A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Sharp Corp | シリコン含有材料の回収方法 |
-
2009
- 2009-06-19 JP JP2009146448A patent/JP5173945B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-07-02 WO PCT/JP2009/062126 patent/WO2010001961A1/ja active Application Filing
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010030033A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2012502110A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
EP2679662A3 (en) | Methods to recover and purify silicon particles from saw kerf | |
PH12014501375A1 (en) | Abrasive material regeneration method and regenerated abrasive material | |
JP2012500321A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
EP2163310A3 (en) | Method for purifying quench water and scrubbing water from MTO (methanol-to-olefin process) by mini-hydrocyclone and apparatus used for same | |
IN2014DN10441A (enrdf_load_stackoverflow) | ||
WO2011043635A3 (ko) | 저염화물계 액상제설제 조성물 및 그 제조방법 | |
JP2015037766A (ja) | ホルムアルデヒド含有排水の膜処理方法 | |
JP2018515089A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2008266109A (ja) | 再生骨材の製造方法及び再生含油骨材の製造方法並びに再生砂の製造方法 | |
JP2013512837A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2019529513A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2013544299A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
PH12014501855A1 (en) | Abrasive regeneration method | |
JP5904757B2 (ja) | 土壌浄化システム | |
JP2014012281A (ja) | ホルムアルデヒド含有排水の膜処理方法 | |
JP2014510628A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2016508068A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP5640260B2 (ja) | クーラント回収方法 | |
TR201810739T4 (tr) | Filtre besleme bulamacındaki % suyu kontrol ederek tereftalik asidin atık filtrasyon oranını iyileştirme. | |
JPWO2018235324A1 (ja) | 生型砂の再利用方法および装置 | |
EA201390259A1 (ru) | Улучшение скорости фильтрационной очистки терефталевой кислоты посредством регулирования процентного содержания воды в суспензии, подаваемой на фильтр | |
JP2012179578A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
CN106311218B (zh) | 一种钒基scr催化剂再生催化粉体及其制备方法 |