JP2010028059A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液処理装置は、被処理体Wの下面と側面を処理する。液処理装置は、被処理体Wに処理液を供給する処理液供給機構37,39と、被処理体Wを処理した処理液を排出する排出機構20,21と、被処理体Wの周縁外方に設けられ、被処理体Wを処理した処理液を排出機構20,21へと導く回転カップ10と、回転カップ10を回転させる回転駆動部60と、を備えている。回転カップ10には、周縁内方に突出し、被処理体Wの周縁部を支持する支持部15が設けられている。
【選択図】図1
Description
被処理体の下面と側面を処理する液処理装置において、
前記被処理体に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記被処理体を処理した処理液を排出する排出機構と、
前記被処理体の周縁外方に設けられ、前記被処理体を処理した処理液を前記排出機構へと導く回転カップと、
前記回転カップに設けられ、周縁内方に突出し、前記被処理体の周縁部を支持する支持部と、
前記回転カップを回転させる回転駆動部と、
を備えている。
前記被処理体の上面側に設けられ、前記被処理体と前記回転カップとの間の間隙に、不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構をさらに備えたことが好ましい。
前記被処理体の上面側に設けられ、前記被処理体と前記回転カップとの間の間隙に、純水を供給する純水供給部をさらに備えたことが好ましい。
前記被処理体の上面側に設けられ、該被処理体を覆うトッププレートをさらに備え、
前記トッププレートは、前記回転カップの上方まで延びた周縁外方突出部を有し、
前記周縁外方突出部に、該周縁外方突出部に付着した処理液を吸引する吸引口を有する吸引機構が設けられていることが好ましい。
前記吸引口は、第一吸引口と、第二吸引口を有することが好ましい。
前記第一吸引口は、再利用する処理液を吸引し、
前記第二吸引口は、排液として処理する処理液を吸引することが好ましい。
前記処理液供給機構から前記被処理体に供給される前記処理液は、洗浄液とリンス液を含み、
前記第一吸引口は、洗浄液を吸引し、
前記第二吸引口は、リンス液を吸引することが好ましい。
前記支持部と前記回転カップとが一体で構成されることが好ましい。
前記回転カップの下方側に設けられ、前記回転駆動部によって回転されるベースと、
前記ベースと前記回転カップとの間に配置されたスペーサと、をさらに備え、
前記スペーサと前記回転カップとが一体で構成されることが好ましい。
以下、本発明に係る液処理装置の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図5は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
次に、図6および図7(a)(b)により、本発明の第2の実施の形態について説明する。図6および図7(a)(b)に示す第2の実施の形態は、トッププレート40が回転カップ10の上方まで延びた周縁外方突出部40pを有している。また、周縁外方突出部40p内には、吸引力を付与する吸引部70に連結された吸引管75が延在しており、吸引管75の吸引部70と反対側の端部が、周縁外方突出部40pに付着した処理液を吸引する吸引口75aを構成している。なお、これら吸引部70と吸引管75によって、吸引機構が構成されている。その他の構成は、図1乃至図5に示す第1の実施の形態と略同一である。
10 回転カップ
11 スペーサ
15 支持ピン(支持部)
20 排液カップ
21 排液管
25 排気管
26 排気カップ
30 ベースプレート(ベース)
37 処理液供給管
39 処理液供給部
40 トッププレート
40p 周縁外方突出部
47 不活性ガス供給管
48 純水供給部
60 回転駆動部
70 吸引部
71 第一バルブ
72 第二バルブ
75,76,77 吸引管
Claims (9)
- 被処理体の下面と側面を処理する液処理装置において、
前記被処理体に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記被処理体を処理した処理液を排出する排出機構と、
前記被処理体の周縁外方に設けられ、前記被処理体を処理した処理液を前記排出機構へと導く回転カップと、
前記回転カップに設けられ、周縁内方に突出し、前記被処理体の周縁部を支持する支持部と、
前記回転カップを回転させる回転駆動部と、
を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記被処理体の上面側に設けられ、前記被処理体と前記回転カップとの間の間隙に、不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記被処理体の上面側に設けられ、前記被処理体と前記回転カップとの間の間隙に、純水を供給する純水供給部をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記被処理体の上面側に設けられ、該被処理体を覆うトッププレートをさらに備え、
前記トッププレートは、前記回転カップの上方まで延びた周縁外方突出部を有し、
前記周縁外方突出部に、該周縁外方突出部に付着した処理液を吸引する吸引口を有する吸引機構が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液処理装置。 - 前記吸引口は、第一吸引口と、第二吸引口を有することを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記第一吸引口は、再利用する処理液を吸引し、
前記第二吸引口は、排液として処理する処理液を吸引することを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。 - 前記処理液供給機構から前記被処理体に供給される前記処理液は、洗浄液とリンス液を含み、
前記第一吸引口は、洗浄液を吸引し、
前記第二吸引口は、リンス液を吸引することを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。 - 前記支持部と前記回転カップとが一体で構成されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記回転カップの下方側に設けられ、前記回転駆動部によって回転されるベースと、
前記ベースと前記回転カップとの間に配置されたスペーサと、をさらに備え、
前記スペーサと前記回転カップとが一体で構成されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液処理装置。
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