JP2010025723A - X線反射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板を熱塑性変形させることによって、反射面の曲面形状が安定したX線反射鏡を提供する。シリコンウェハは、1300度程度の高温、水素雰囲気中で圧力をかけることで、自由な形状に変形させることができる。また、基板を水素アニールすることによって、シリコン表面の粗さがさらに低減し、反射率が向上する。
【選択図】図1
Description
図1は、塑性変形する前の平面状のシリコン基板(シリコンウェハ)10(同図(a))と、シリコン基板10を塑性変形させて得られるシリコン反射鏡12(同図(b))を示している。また、図1(b)には、左側から入射したX線がシリコン反射鏡12の左側の表面で反射した後、さらに右側の表面でも反射されて右側へ出射する様子を示している。図1に示した例では、シリコン反射鏡12は、中央の境界線14を境にして左右で曲面の形状が異なっており、左側の部分12aは回転放物面の一部、右側の部分12bは回転双曲面の一部である、二曲面X線反射鏡とされている。
図4乃至図6は、本発明の実施形態2に係るX線反射鏡を説明するための図である。図4(a)は、裏面(図の上側)に同図(b)に拡大して示すような多数の溝22が形成されたシリコン基板20を示している。このような溝22は、半導体デバイスにおけるリソグラフィ技術を利用して形成することができる。図4(a)に示したシリコン基板20の下側(表側)は、X線を反射する反射面となる。
12 シリコン反射鏡
14 境界線
22 溝
24 X線反射鏡
26 X線反射体
30a、30b 母型
Claims (11)
- 塑性変形されたシリコン基板本体と、
X線の反射に供しうる平滑度を有する反射面であって、前記塑性変形により所定の曲面形状とされた反射面を有することを特徴とするX線反射鏡。 - 前記曲面形状は、回転放物面の一部と回転双曲面の一部とを含むものである、請求項1に記載のX線反射鏡。
- 請求項2に記載のX線反射鏡を、直線の周囲に、当該直線を軸とするよう複数配置し、前記複数のX線反射鏡の角度を、軸に平行に入射したX線が前記回転放物面と回転双曲面でそれぞれ一回ずつ反射して収束するようにしたことを特徴とするX線反射装置。
- 塑性変形されたシリコン基板本体と、
X線の反射に供しうる平滑度を有する反射面であって、前記塑性変形により所定の曲面形状とされた反射面と、
前記反射面の裏面側に平行に多数設けられた、X線光路用の溝と、
を有することを特徴とするX線反射鏡。 - 請求項4に記載の複数のX線反射鏡を、溝が形成された側と反射面とが対向するように積層したX線反射体であって、前記溝に略平行に入射したX線が、前記溝が対向するシリコン基板本体の反射面において全反射した後、前記溝の他端側から出射するよう構成したことを特徴とするX線反射体。
- 請求項5に記載のX線反射体を、前記X線の入射方向に平行な直線の周囲に、当該直線を軸とするよう複数配置し、前記複数のX線反射体から出射したX線が収束するようにしたことを特徴とするX線反射装置。
- シリコン基板の表面を、X線の反射に供しうる程度に平滑化する平滑化工程と、
前記シリコン基板に対し、所定の曲面形状を有する母型により圧力及び熱を加えて塑性変形させて、前記シリコン基板の表面を所定の曲面形状とする塑性変形工程と、
を有することを特徴とするX線反射鏡作成方法。 - 前記曲面形状は、回転放物面の一部と回転双曲面の一部とを含むものである、請求項7に記載のX線反射鏡作成方法。
- シリコン基板の表面を、X線の反射に供しうる程度に平滑化する平滑化工程と、
前記シリコン基板の裏面に、リソグラフィ技術により多数の平行な溝を形成する溝形成工程と、
前記シリコン基板に対し、所定の曲面形状を有する母型により圧力及び熱を加えて塑性変形させて、前記シリコン基板の表面を所定の曲面形状とする塑性変形工程と、
を有することを特徴とするX線反射鏡作成方法。 - 前記塑性変形工程では、水素雰囲気中でのアニールを併せて行う、請求項7乃至9のうちいずれか一項に記載のX線反射鏡作成方法。
- 前記塑性変形工程の後に前記平滑化したシリコン表面に単層又は多層の金属薄膜を形成する工程を含む、請求項7乃至10のうちいずれか一項に記載のX線反射鏡作成方法。
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