JP2010010398A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 内部が減圧される処理室を有する複数の真空処理容器と、前記真空容器の下方に配置され前記処理室内部を排気する排気装置と、前記複数の真空処理容器が周囲に着脱可能に連結されて配置され減圧されたその内部に処理対象の試料を搬送するための真空搬送ロボットが配置された真空搬送容器と、この真空搬送容器の前方側に連結されその前面側に前記試料が収納されたカセットが載せられる複数のカセット台が配置されて大気圧下の内部で前記試料が搬送される大気搬送容器とを有し、その前方側部分を構成して前記大気搬送容器を含む大気側ブロックと後方側部分を構成して前記複数の真空処理容器と前記真空搬送容器とを含む真空側ブロックとを備えた真空処理装置であって、
前記大気搬送容器の前記大気圧下の内部の空間に配置され前方から見て左右方向に延びるレールに沿って移動して該大気搬送容器の内部で前記試料を搬送する大気搬送ロボットと、前記大気搬送容器の前記レールの左または右の一端側}に配置され回転する台を有し前記試料が載せられた前記台を回転して前記試料の中心及び前記試料に予め形成された切り欠きの位置を所定のものに調節する位置合わせ機と、この位置合わせ機の直下方で当該位置合わせ機と床面との間に配置され前記複数の真空処理容器に供給される流体の供給を調節する調節器とを備えた真空処理容器。 - 請求項１に記載の真空処理装置であって、前記流体は前記複数の真空処理容器またはその内部の試料台の冷却用液体である真空処理装置。
- 請求項１または２に記載の真空処理装置であって、前記真空搬送容器は上方から見て多角形の平面形を有しその複数の辺に前記真空処理容器が連結され、前記大気搬送容器は、前記位置合わせ機が配置された前記左または右の一端側の端部の位置が後方に配置された前記真空側ブロックの前記一端側の端部の位置に合わせて配置され且つ前記内部の空間に上下方向に大気の流れを形成するファンと、前記大気搬送容器の上部に配置されて前記ファンまたは前記大気搬送ロボットの動作を調節する制御ユニットとを備え、前記大気搬送容器の内部の前記一端側に配置された前記位置合わせ機の直下方に前記調節器を備えた真空処理装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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