TWI639004B - Image measuring device - Google Patents

Abstract

一種影像量測裝置，包括有一基座，此基座上設有一立柱，並設有一可沿高度方向移動之影像擷取裝置；基座上設有一可移動之載台，該載台設有一用以吸附被量測物之吸附座，該吸附座上設有多數間隔排列之吸附區，各該吸附區分別對應一抽氣管道，各該抽氣管道連通至一抽氣管線進行抽氣，以供各該吸附座分別產生吸附力。

Description

影像量測裝置

本發明與影像量測裝置有關，尤指一種利用氣流吸附被量測物定位之影像量測裝置。

按，利用影像量測裝置對被量測物進行測量之前，必須先將被量測物定位於載台上，以求精準的測量結果。一般如半導體基板或導線架等被量測物，因其輕薄不易固定於載台上，故習知的影像量測裝置會於其載台上設置一吸附盤，利用抽氣設備使其產生吸力以吸附定位被量測物，然習知的影像量測裝置為傳統的吸附盤，其係為一整片式的吸附盤，該吸附盤為單一的吸附區域，當半導體基板或導線架等被量測物置放於該吸附盤時，可被吸附的區域多小於未被吸附的區域，而不易穩固的吸附住被量測物，尤其是像導線架這種有鏤空部的被量測物，其實際會覆蓋住該吸附盤的面積遠小於未被覆蓋住的面積，導致吸附力不足，而無法確實將導線架定位於載台上，當量測移動時會造成導線架的移位進而降低量測的精準度。

有鑑於此，如何改進上述問題即為本發明所欲解決之首要課題。

本發明之主要目的在於提供一種影像量測裝置，該影像量測裝置之載台設有一吸附座，該吸附座上設有多數間隔排列之吸附區，各該吸附區均會產生吸附力，使其被量測物至少可完全覆蓋住數個吸附區，而提供穩固的吸附力，當被量測物為導線架時，其實際會覆蓋住該吸附區的面積會大於未被覆蓋住的面積，而可穩固的吸附住被量測物，在移動時不會造成被量測物的移位，進而提高量測的精準度。

本發明之另一目的在於，該吸附座於各該吸附區之間設有多數的吹氣孔，藉由吹氣以解除被量測物之定位狀態，且更易於量測前後移動被量測物，同時吹氣孔可提供不同的吹氣量，以對應不同的被量測物提供不同的吹氣力道。

本發明之再一目的在於，該吸附座一側設有一可調整高低位置的輸送座，用以方便將被量測物輸送至該吸附座。

本發明之次一目的在於，該吸附座設有複數個用以感測被量測物位置的感測元件，以供被量測物確實位於定位處。

為達前述之目的，本發明提供一種影像量測裝置，其包括有：一基座及一設於該基座上之立柱，該立柱設有一可沿一高度方向移動之影像擷取裝置，且該基座上設有一可相對該基座沿水平方向移動之載台；其特徵在於；該載台設有一吸附座，該吸附座上設有多數間隔排列之吸附區，各該吸附區分別對應一抽氣管道，各該抽氣管道連通至一抽氣管線進行抽氣，以供各該吸附座分別產生吸附力。

於一實施例中，該吸附座於各該吸附區之間設有多數的吹氣孔，各該吹氣孔連通至一吹氣管道並與一吹氣管線連接進行吹氣，以供各該吹 氣孔向外吹出氣體，且該吹氣管線與該吸附座之抽氣管線分別連接至一可進行抽氣及吹氣之氣體控制裝置，該氣體控制裝置並可控制以切換抽氣或吹氣，且該氣體控制裝置可控制該吹氣管線之吹氣量，以提供不同的吹氣力道。

於一實施例中，該吸附座中設有多數間隔排列之凹穴，各該凹穴分別設有一以多孔性材質製成之吸附盤以供形成該吸附區，且該凹穴於吸附盤之底部形成均勻分佈之流道，該流道連通該抽氣管道。

於一實施例中，該載台更設有一輸送座，該輸送座係設於該吸附座之一側，用以將被量測物輸送至該吸附座，且該輸送座設有一用以調整該輸送座之高度的調整裝置該輸送座設有一用以調整該輸送座之高度的調整裝置。

於一實施例中，該吸附座設有複數個用以感測被量測物位置的感測元件。

而本發明之上述目的與優點，不難從下述所選用實施例之詳細說明與附圖中獲得深入了解。

1‧‧‧基座

11‧‧‧立柱

12‧‧‧影像擷取裝置

13‧‧‧載台

2‧‧‧輸送座

21‧‧‧調整裝置

3‧‧‧吸附座

31‧‧‧吸附區

32‧‧‧抽氣管道

33‧‧‧吹氣孔

331‧‧‧吹氣管道

34‧‧‧抽氣管線

35‧‧‧吹氣管線

36‧‧‧凹穴

37‧‧‧吸附盤

38‧‧‧流道

4‧‧‧氣體控制裝置

5‧‧‧感測元件

6‧‧‧被量測物

第1圖為本發明之立體示意圖；第2圖為本發明吸附座之立體示意圖；第3圖為本發明吸附座之剖面示意圖，表示被量測物被吸附於吸附座上之使用狀態；第4圖為本發明吸附座之剖面示意圖，表示被量測物被吹離於吸附座之使用狀態。

第5圖為本發明利用輸送座輸送被量測物至吸附座之示意圖

請參閱第1圖，所示者為本發明提供之影像量測裝置，其包括有一基座1，該基座1之一側設有一立柱11，該立柱11設有一可供擷取物件影像之影像擷取裝置12，其中該影像擷取裝置12可於該立柱11上沿一高度方向Z移動；於本實施例中，該影像擷取裝置12包含有一變倍鏡頭、一影像擷取單元及一同軸光源。

承上，該基座1上設有一載台13，該載台13可於該基座1上沿一定義為X方向及Y方向之水平直線方向相對該基座1移動，該載台13及該影像擷取裝置12可藉由各種已知的驅動方式驅動移動。

上述該載台13包括有一吸附座3及一輸送座2，其中該輸送座2設於該吸附座3之一側，用以將被量測物輸送至該吸附座3；於本實施例中，該輸送座2設有一調整裝置21，用以配合被量測物之厚度而調整該輸送座2之高度，藉此將被量測物順利送至該吸附座3。此外，該吸附座3設有複數個用以感測被量測物位置的感測元件5(見第2圖)，可在被量測物輸送至該吸附座3後確認被量測物是否到達正確位置。

如第2圖及第3圖所示，該吸附座3上設有多數吸附區31，其中該吸附區31於該吸附座3之兩個不同的方向上分別以複數個數形成配置，亦即該吸附區31形成由複數個行及列構成的方陣式排列，且各吸附區31之間形成間隔。各該吸附區31分別對應一抽氣管道32，各該抽氣管道32連通至一抽氣管線34進行抽氣，以供各該吸附區31分別產生吸附力，於 本實施例中，該吸附座3中設有多數間隔排列之凹穴36，各該凹穴36分別設有一以多孔性材質製成之吸附盤37以供形成該吸附區31，且該凹穴36於吸附盤37之底部形成均勻分佈之流道38，該流道38連通至該抽氣管道32，該抽氣管道32再經吸附座3內部連通至該抽氣管線34，該抽氣管線34再連接至一可進行抽氣之氣體控制裝置4，以提供各該吸附區31之吸附力。

如第2圖及第4圖所示，該吸附座3於各該吸附區31的間隔上設有多數的吹氣孔33，依前述該吸附區31之方陣式排列，該吹氣孔33則形成交叉狀的直線排列，並對各吸附區31形成包圍狀。各該吹氣孔33連通至一設於該吸附座3內部之吹氣管道331並與一吹氣管線35連接進行吹氣，以供各該吹氣孔33向外吹出氣體，而該吹氣管線35係連接至該氣體控制裝置4，該氣體控制裝置4可對該吹氣管線35進行吹氣且可以控制吹氣量，以提供不同的吹氣力道，同時該氣體控制裝置4可控制以切換抽氣或吹氣。

藉由上述結構，如第3、4及5圖所示，當被量測物6準備被該輸送座2送往該吸附座3時，可控制該氣體控制裝置4進行吹氣，空氣將如第4圖所示地從該吹氣孔33噴出，令被量測物6被稍微吹離該吸附座3，可使被量測物6無阻礙地被順利推送至該吸附座3上且可避免被量測物6在輸送中受損；待被量測物6到達定位，並透過該感測元件5確認其位置正確後，此時可控制該氣體控制裝置4進行抽氣，空氣將如第3圖所示地從該抽氣管道32抽入，藉此各該吸附區31之凹穴36中形成負壓狀態，進而使各吸附盤37形成一股吸力，由於多個吸附區31被設計為間隔地排列而形成複數行列， 且各個吸附區31均會產生吸力，因此被量測物6將會完全覆蓋住一個以上的吸附區31上面，藉此對被量測物6提供相當穩固的吸力，俾將被量測物6牢牢吸附於該吸附座3上，而可進行後續的影像量測作業。

而被量測物的影像量測作業進行完畢後，可控制該氣體控制裝置4停止抽氣，並切換成吹氣，即可將被量測物6如第4圖所示地吹離該吸附盤37，藉此解除被量測物6在該吸附座3上的定位狀態，俾供移除被量測物6。

經由上述說明，本發明之優點在於被量測物至少可完全覆蓋住數個吸附區，而提供穩固的吸附力，當被量測物為導線架時，其實際會覆蓋住該吸附區的面積會大於未被覆蓋住的面積，而可穩固的吸附住被量測物，在移動時不會造成被量測物的移位，進而提高量測的精準度。

再者，本發明之優點在於藉由吹氣孔之吹氣，可解除被量測物之定位狀態，且更易於量測前後移動被量測物，同時吹氣孔可提供不同的吹氣量，以對應不同的被量測物提供不同的吹氣力道。

另外，本發明之優點在於該吸附座一側設有一可調整高低位置的輸送座，用以方便將被量測物輸送至該吸附座。

惟，以上實施例之揭示僅用以說明本發明，並非用以限制本發明，故舉凡等效元件之置換仍應隸屬本發明之範疇。

綜上所述，可使熟知本項技藝者明瞭本發明確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰依法提出申請。

Claims (6)

1. 一種影像量測裝置，其包括有：一基座及一設於該基座上之立柱，該立柱設有一可沿一高度方向移動之影像擷取裝置，且該基座上設有一載台，該載台可相對該基座沿水平方向移動，其特徵在於；該載台設有一吸附座，該吸附座上設有多數吸附區，該吸附區於該吸附座之兩個不同的方向上分別以複數個數形成配置，各吸附區呈間隔設置；各該吸附區分別對應一抽氣管道，各該抽氣管道連通至一抽氣管線進行抽氣，以供各該吸附座分別產生吸附力；該吸附座設有多數的吹氣孔，該吹氣孔位於各吸附區之間的間隔處，形成交叉狀的直線排列並對各吸附區形成包圍狀；各該吹氣孔連通至一吹氣管道並與一吹氣管線連接進行吹氣，以供各該吹氣孔向外吹出氣體，且該吹氣管線與該吸附座之抽氣管線分別連接至一可進行抽氣及吹氣之氣體控制裝置，該氣體控制裝置並可控制以切換抽氣或吹氣。
2. 如請求項1所述之影像量測裝置，其中，該氣體控制裝置可控制該吹氣管線之吹氣量，以提供不同的吹氣力道。
3. 如請求項1所述之影像量測裝置，其中，該吸附座中設有多數間隔排列之凹穴，各該凹穴分別設有一以多孔性材質製成之吸附盤以供形成該吸附區，且各該凹穴分別連通該抽氣管道。
4. 如請求項3所述之影像量測裝置，其中，該凹穴於吸附盤之底部形成均勻分佈之流道，該流道連通該抽氣管道。
5. 如請求項1所述之影像量測裝置，其中，該載台更設有一輸送座，該輸送座係設於該吸附座之一側，用以將被量測物輸送至該吸附座，且該輸送座設有一用以調整該輸送座之高度的調整裝置。
6. 如請求項1所述之影像量測裝置，其中，該吸附座設有複數個用以感測被量測物位置的感測元件。