JP2009534494A - フレキシブルなプラズマポリマー生成物、相当する物品およびその使用 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
O1sピークは、最大で0.50eV(好ましくは最大で0.40、特に好ましくは0.30)だけ、より高い、あるいはより低い結合エネルギー(好ましくは高い結合エネルギー)へシフトされた、結合エネルギー値を有し、従ってたとえば、532.46eVのPDMSのO1sピークにおいては、531.96から532.96eVの領域内にある、結合エネルギー値を有する。
固有熱伝導性:約0.2W/°Km
0−150℃領域における線形の熱膨張係数:約2.5×10-4m/mK
25℃における屈折率:250nmにおける約1.5から895nmにおける1.425
動的接触角度(空気における23℃において、Siウェファ上で滴が成長する場合に測定)
水について 約102°
ヨードメタンについて 約86°
エチレングリコールについて 約80.5°
固有熱容量:約1.55J/gK
絶縁破壊強さ:約23kV/mm
固有絶縁抵抗:>23℃において1014Ωcm
誘電定数:23℃において、約3εr、50Hz
誘電損失ファクター:約50×10-4tanδ
濃度:0.9から1.15g/cm3
0.75 <n(O):n(Si)< 1.25
1.50 <n(C):n(Si)< 2.50
1.50 <n(C):n(O) < 2.50
2.25 <n(H):n(C) < 3.00
1.00 <n(O):n(Si)< 1.25
2.00 <n(C):n(Si)< 2.50
1.60 <n(C):n(O) < 2.30
2.40 <n(H):n(C) < 3.00
1.05 <n(O):n(Si)< 1.23
2.10 <n(C):n(Si)< 2.23
1.70 <n(C):n(O) < 2.00
2.60 <n(H):n(C) < 3.00
ケイ素 22から28原子%
酸素 22から30原子%
炭素 42から55原子%
ケイ素 22から26原子%
酸素 24から29原子%
炭素 47から51原子%
ケイ素 22から28原子%
酸素 22から30原子%
炭素 42から55原子%
プラズマポリマー生成物内の物質量比について、次のことが言える:
0.75 <n(O):n(Si)< 1.25
1.50 <n(C):n(Si)< 2.50
1.50 <n(C):n(O) < 2.50
2.25 <n(H):n(C) < 3.00
かつ、その場合にプラズマポリマー生成物のESCAスペクトル内内で、25℃において350mm2/sの動粘性と25℃において0.97g/mlの濃度を有するトリメチルシロキシ−ターミネーテッド ポリジメチルシロキサン(PDMS)に比較して、
Si2pピークは、最大で0.44eVだけ、より高い、またはより低い結合エネルギーへシフトされた、結合エネルギー値を有し、かつ
O1sピークは、最大で0.50eVだけ、より高い、またはより低い結合エネルギーへシフトされた、結合エネルギー値を有している。
ケイ素 22から26原子%
酸素 24から29原子%
炭素 47から51原子%
プラズマポリマー生成物内の物質量比について、次のことが言える:
1.00 <n(O):n(Si)< 1.25
2.00 <n(C):n(Si)< 2.50
1.60 <n(C):n(O) < 2.30
2.40 <n(H):n(C) < 3.00
かつ、ここで、Si2pピークは、最大で0.40eVだけ、より高い、またはより低い結合エネルギーへシフトされた、結合エネルギー値を有し、
O1sピークは、最大で0.40eVだけ、より高い、またはより低い結合エネルギーへシフトされた、結合エネルギー値を有する。
−移動ブロック(移動バリア)あるいは移動ブロックの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、100g/molあるはそれより多い、好ましくは50g/molまたはそれより多いモル質量を有する分子に対する移動ブロック(移動バリア)を有する物品、
−シールまたはシール構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、シールを備えた物品、
−コーティング材料としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、コーティングを備えた光学素子、
−腐食に敏感な基板と、その上に配置された、腐食防止コーティングまたは腐食防止コーティングの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、腐食防止コーティングとを有する物品、
−特に接着剤処理の領域における適用のために、除去容易な(Easy−to−clean)コーティングまたは除去容易な(Easy−to−clean)コーティングの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、除去容易な(Easy−to−clean)コーティングを備えた基板を有する物品、
−(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングまたは(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングを備えた基板(特にまた(技術的)テキスタイル)を有する物品、
−(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングないし疎水仕上げあるいは(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングないし疎水仕上げの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングないし疎水仕上げを備えた基板(特にまたメンブレン)を有する物品、
−(非細胞毒の)抗菌コーティングまたは抗菌コーティングの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、特にDE10353756に基づく、あるいはそれと同様の、抗菌コーティングを備えた基板を有する物品、
−(非細胞毒の)抗菌コーティングまたは抗菌コーティングの一部としての上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、特にPCT/EP2004/013035に基づく、あるいはそれと同様の、抗菌コーティングを有する包装を製造するための基板を有する物品、
−基板、特に熱交換器または熱交換器の一部とその上に配置された、熱伝導性を好ましくは測定できるほど変化させない、疎水性の、加水分解安定の表面特性を有する、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、コーティングとを有する、物品、
−分離層または分離層の一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、プラズマポリマー分離層を備えた基板を有する物品、
−エラストマー生成物とエラストマー生成物上の、コーティングまたはコーティングの構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、滑り特性を増大させるコーティングとを有する物品、
−基板、特にリソグラフシステムの光学コンポーネントとその上に配置されている、保護箔または保護箔の構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、残渣なしで取り外し可能、好ましくは残渣なしで引き外し可能な保護箔とを有する物品、
−基板、特にリソグラフシステムの光学コンポーネントとその上に配置されている、加水分解に耐える、著しく疎水性かつほぼUV透過性の保護層としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有するコーティングとを有する物品、
−欠陥を有する好ましくはプラズマポリマーコーティングと欠陥を補修するための、補修箔または補修箔の構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、補修箔とを有する物品、
−好ましくはバリア特性を備えた、少なくとも2つのより硬い層または基板と、より硬い層または基板の間の、スペーサ層またはスペーサ層の構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー層を有する、少なくとも1つの柔らかいスペーサ層とを有する物品、
−カバー層またはカバー層の構成要素としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、疎水性のカバー層を備えた、ガスと蒸気、特に水蒸気、二酸化炭素または酸素の移動を減少させるためのバリアコーティングまたは基板を有する物品、
−好ましくは電気的な構成部品と、絶縁箔または絶縁コーティングあるいはこの種の箔またはコーティングの一部としての、上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、電気的に絶縁する箔またはコーティングとを有する物品、
−上のように定義されるプラズマポリマー生成物を有する、好ましくは移植可能な医用工学品を有する物品。好ましくは、コーティングは、その非粘着性の表面特性に基づいて、バクテリア、卵白および他の身体固有の物質(場合によっては医薬品によって改質された)の付着を減少させる。
−コーティングとして上に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、好ましくは移植可能なシリコン物品。好ましくは、コーティングは、その非粘着性および/または伸張可能な表面特性に基づいて、身体融和性の向上を許す(その限りにおいて、本発明に基づくコーティングは、特に適している。というのは、低分子の反応生成物が存在しないからである)。
−100g/mol以上、好ましくは50g/mol以上のモル質量を有する分子に対する移動ブロック(移動バリア)
−ガスと蒸気、特に水蒸気、二酸化炭素または酸素の移動を減少させるためのバリアコーティングまたは基板上のカバー層、
−特に最大で1000nmの厚みを有するシールのための、シール材料、
−フレキシブルな包装材料のフレキシブルなコーティング、
−光学素子をコーティングするためのフレキシブルなコーティング、
−加水分解に耐えるコーティング、
−疎水性のコーティング、
−抗菌コーティング、特に非細胞毒の抗菌コーティング、
−腐食防止コーティング、
−除去容易な(Easy−to−clean)コーティング、
−エラストマー生成物上の滑り特性を向上させるコーティング、
−特に、リソグラフィックシステムの光学素子のため、さらに好ましくは液浸リソグラフィックシステムの光学素子のための、保護−および/またはUV透過する、加水分解安定の箔、
−分離層または分離層の一部、
−特に除去容易な(Easy−to−clean)適用または分離層適用または光学的適用のための、補修箔、
−非粘着性および粘着性の表面特性を有する箔またはコーティング、
−ローカルな親水性ないし疎水性の領域を形成するために、特に親水性基板をコーティングするための、孔および/または細片パターンを有する箔、
−互いに分離すべき、より硬い層または基板の間の柔らかいスペーサ層、特にバリア層、
−特に極性分子の吸着を阻止するため、あるいは、水蒸気、二酸化炭素または酸素のようなガスまたは蒸気に対するバリアコーティングないしウルトラバリアコーティングのバリア特性を改良するための、著しく疎水性のカバー層、
−特に電気的な構成部材内の、絶縁箔または絶縁コーティング、
−ダイアモンド状のコーティング、特に基板上に化学的に結合された薄いコーティング上の、分離層ないし著しく疎水性の層。
以下で、本発明に基づく物品(たとえば、本発明に基づくプラズマポリマー生成物)のための好ましい適用分野を、それによって適用可能性の制限を意図することなく、紹介する。当業者は、本発明に基づく物品の特性の知識において、多数の他の適用領域を認識するであろう。
本発明に基づく物品は、50g/mol以上、好ましくは100g/mol以上のモル質量を有する分子に対するプラズマポリマー移動バリアを有することができ、あるいは移動バリアそのものであることができる。その場合に特に重要なのは、有機分子に対するバリア作用である。移動バリアとしての適用の具体的な例は、たとえばプラスチック物質からの添加剤(たとえば軟化剤)に対するバリアのような、基板から望ましくない物質が流出することを防止するための移動バリアである(この適用は、食品包装にとって特に重要である)。従って本発明に基づく物品は、食品包装であり、あるいはそれを含むことができ、その食品包装の、食品へ向いた側に、それ自体本発明に基づくプラズマポリマー生成物である、プラズマポリマーコーティングが設けられている。食品包装自体は、この種の物品において、基板として用いられる;本発明に基づくプラズマポリマーコーティングによって食品に対して密閉することができる、食品包装材料の例は、たとえば、ソフトPVC、ポリウレタン泡などである。これらの具体的な例において、プラズマポリマーコーティングは、基板から望ましくない物質が食品内へ流出することを阻止するために、用いられる。しかし、本発明に基づくプラズマポリマーコーティングは、移動バリアとして、もちろん望ましくない物質の基板内への侵入も、同様に良好に阻止する。
加水分解に耐えるコーティングは、種々の分野で必要とされる。
本発明のこのアスペクトは、特に、エラストマー生成物と、エラストマー生成物上に、コーティングまたはコーティングの構成要素として、上述したように定義されたプラズマポリマー生成物を有する、滑り特性を増大させるコーティングとを有する、本発明に基づく物品に関する。
DE10353756に基づく非細胞毒の、抗菌コーティングは、好ましくはSiOx類似のコーティングを用いて形成される。これまで知られているSiOx類似のコーティングは、約30−60nmの好ましい層厚においては柔軟で、箔上に適用することができるが、この種のコーティングは、たとえば深絞りプロセスによって、あるいは折り曲げ、あるいは変形あるいは射出成形あるいは型内成形またはラミネートの際に生じるような負荷を解決できない。さらに、対応する表面は、所定の付着特性(バクテリア、菌類、身体固有の物質などのための)を定める。SiOx類似のコーティングとして、あるいはSiOxコーティングに加えて、本発明に基づくプラズマポリマー物品を使用することは、両方の視点において、使用可能性を拡張する。特に、本発明に基づく物品の高い柔軟性と伸張性は、深絞り、フランジ形成、刻印などのような、基板を変形させる、さらなる加工技術を可能にする。すなわち、たとえば、特にチューブまたは発泡箔を装備することができる。
さらに、この種の生成物は、然るべきラミネート箔上で、あるいは直接取り付けても、食品包装に適している。特に、複合箔セクタにおける使用も、興味深い。というのは、それによってたとえば、遮断層特性を抗菌特性と組み合わせることができるからである。
ガスフロー O2: 12Sccm
ガスフロー HMDSO: 50Sccm
出力(W): 450
時間(sec): 2700
圧力(mbar): 0.02
ガスフロー O2: 12Sccm
ガスフロー HMDSO: 50Sccm
出力(W): 450
時間(sec): 3000
圧力(mbar): 0.02
図1:波長の関数としての屈折率の推移
図2:波長領域190から250nmにおける、コーティングされないクォーツガラスおよびPDMSオイル(ここでは約200nm AK50、Wacker Chemie)でコーティングされたクォーツガラスと比較した、本発明に基づく物品(PP−PDMS)でコーティングされたクォーツガラスの透過推移
図3:本発明に基づく層のFTIRスペクトル
図4:本発明に基づく層のFTIRスペクトル(詳細)
図5:除去容易な(Easy−to−clean)層のFTIR比較スペクトル
図6:除去容易な(Easy−to−clean)層のFTIR比較スペクトル(詳細)
ガスフロー O2: 36Sccm
ガスフロー HMDSO: 170Sccm
出力(W): 1600
時間(sec): 600
圧力(mbar): 0.025
図8:本発明に基づくプラズマポリマー生成物AのXPSジェネラルスペクトル
図9:本発明に基づくプラズマポリマー生成物BのXPSジェネラルスペクトル
図10:DE10131156A1に基づく除去容易な(Easy−to−clean)コーティングのXPSジェネラルスペクトル(比較)
図11:DMS−T23EのO1sピークのXPS詳細スペクトル
図12:DMS−T23EのC1sピークのXPS詳細スペクトル
図13:DMS−T23EのSi2pピークのXPS詳細スペクトル
図14:本発明に基づくプラズマポリマー生成物AのO1sピークのXPS詳細スペクトル
図15:本発明に基づくプラズマポリマー生成物AのC1sピークのXPS詳細スペクトル
図16:本発明に基づくプラズマポリマー生成物AのSi2pピークのXPS詳細スペクトル
図17:本発明に基づくプラズマポリマー生成物BのO1sピークのXPS詳細スペクトル
図18:本発明に基づくプラズマポリマー生成物BのC1sピークのXPS詳細スペクトル
図19:本発明に基づくプラズマポリマー生成物BのSi2pピークのXPS詳細スペクトル
図20:DE10130156A1に記載の除去容易な(Easy−to−clean)コーティングのO1sピークのXPS詳細スペクトル(比較)
図21:DE10130156A1に記載の除去容易な(Easy−to−clean)コーティングのC1sピークのXPS詳細スペクトル(比較)
図22:DE10130156A1に記載の除去容易な(Easy−to−clean)コーティングのSi2pピークのXPS詳細スペクトル(比較)
表1:ESCA測定の結果
Claims (15)
- 炭素、ケイ素、酸素および水素と、場合によっては通常の不純物とからなるプラズマポリマー生成物を有し、あるいはそれからなる物品であって、前記プラズマポリマー生成物のESCAスペクトルにおいて、脂肪族部分のC1sピークを285.00eVに較正する場合に、25℃において350mm2/sの動粘性と25℃において0.97g/mLの濃度を有するトリメチルシロキシ−ターミネーテッド−ポリジメチルシロキサン(PDMS)と比較して、
Si2pピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.44eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有し、かつ
O1sピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.50eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有する、
上記物品。 - Si2pピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.40eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有し、かつ
O1sピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.40eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有する、
請求項1に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物内の物質量比が以下を満たす:
0.75 <n(O):n(Si)< 1.25
1.50 <n(C):n(Si)< 2.50
1.50 <n(C):n(O) < 2.50
2.25 <n(H):n(C) < 3.00
請求項1または2のいずれか1項に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物内の物質量比が以下を満たす:
1.00 <n(O):n(Si)< 1.25
2.00 <n(C):n(Si)< 2.50
1.60 <n(C):n(O) < 2.30
2.40 <n(H):n(C) < 3.00
請求項3に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物内の物質量比が、以下を満たす:
1.05 <n(O):n(Si)< 1.23
2.10 <n(C):n(Si)< 2.23
1.70 <n(C):n(O) < 2.00
2.60 <n(H):n(C) < 3.00
請求項4に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物が、元素であるケイ素、酸素および炭素の合計の100原子%に対して、以下を有する:
ケイ素 22から28原子%
酸素 22から30原子%
炭素 42から55原子%
請求項1から5のいずれか1項に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物が、元素であるケイ素、酸素および炭素の合計の100原子%に対して、以下を有する:
ケイ素 22から26原子%
酸素 24から29原子%
炭素 47から51原子%
請求項1から6のいずれか1項に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物が、元素であるケイ素、酸素および炭素の合計の100原子%に対して、以下を有し:
ケイ素 22から28原子%
酸素 22から30原子%
炭素 42から55原子%
プラズマポリマー生成物内の物質量比が、以下の式を満たし:
0.75 <n(O):n(Si)< 1.25
1.50 <n(C):n(Si)< 2.50
1.50 <n(C):n(O) < 2.50
2.25 <n(H):n(C) < 3.00
かつ、プラズマポリマー生成物のESCAスペクトルにおいて、25℃において350mm2/sの動粘性と25℃において0.97g/mLの濃度を有するトリメチルシロキシ−ターミネーテッド−ポリジメチルシロキサン(PDMS)と比較して、
Si2pピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.44eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有し、かつ
O1sピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.50eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有する、
請求項1から7のいずれか1項に記載の物品。 - プラズマポリマー生成物が、元素であるケイ素、酸素および炭素の合計の100原子%に対して、以下を有し:
ケイ素 22から26原子%
酸素 24から29原子%
炭素 47から51原子%
プラズマポリマー生成物内の物質量比が、以下の式を満たし:
1.00 <n(O):n(Si)< 1.25
2.00 <n(C):n(Si)< 2.50
1.60 <n(C):n(O) < 2.30
2.40 <n(H):n(C) < 3.00
かつ、Si2pピークが、より高い、またはより低い結合エネルギーへ最大で0.40eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有し、かつ
O1sピークが、より高い、あるいはより低い結合エネルギーへ最大で0.40eVだけシフトされた、結合エネルギー値を有している、請求項1から8のいずれか1項に記載の物品。 - (i)物品が、プラズマポリマー生成物からなり、かつコーティングまたはコーティングの一部または箔であり、あるいは(ii)、基板と、基板から破壊なしで剥離可能な、または破壊なしで剥離できないプラズマポリマー生成物の形式のコーティングとを有する複合体であって、(i)前記箔が、好ましくは20から2000nmの領域の厚みを有し、かつ(ii)前記コーティングが、好ましくは1から2000nmの領域の厚みを有している、請求項1から9のいずれか1項に記載の物品。
- 物品が、基板と、基板から破壊なしで剥離可能な、または破壊なしで剥離できないプラズマポリマー生成物からなる、1から2000nmの領域内の厚みを備えたコーティングとを有する複合体であって、前記コーティングが、100g/mol以上、好ましくは50g/mol以上のモル質量を有する分子を通過させない、請求項10に記載の物品。
- 物品が、基板とその上に配置された、基板から破壊なしで剥離可能な、または破壊なしで剥離できないプラズマポリマー生成物からなる、1から2000nmの領域内の厚みを備えたコーティングとを有する複合体であって、前記基板がエラストマーである、請求項1から11のいずれか1項に記載の物品。
- 基板自体が、
−プラズマポリマー生成物、特にベース基板上のプラズマポリマー層であって、
−前記層が、PVD、CVD、プラズマ支援されたCVD(PE−CVD)、電気化学的またはゾル−ゲル−技術を用いてベース基板上に塗布された層である、
請求項10から12のいずれか1項に記載の物品。 - 物品が、以下のものからなる群から選択される、請求項1から13のいずれか1項に記載の物品:
−移動バリアまたは移動バリアの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、100g/mol以上、好ましくは50g/mol以上のモル質量を有する分子に対する移動バリアを備えた物品、
−シールまたはシール構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、シールを備えた物品、
−コーティング材料として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、コーティングを備えた光学素子、
−腐食に敏感な基板と、腐食防止コーティングまたは腐食防止コーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、前記基板上に配置された腐食防止コーティングとを有する物品、
−特に接着剤加工の領域に適用するための、除去容易な(Easy−to−clean)コーティングまたは除去容易な(Easy−to−clean)コーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、除去容易な(Easy−to−clean)コーティングを備えた基板を有する物品、
−(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングまたは(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングを備えた基板(特にまた(技術的)テキスタイル)を有する物品、
−(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティング、または(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングの一部または疎水仕上げとして請求項1から13のいずれか1項に定義されているような、プラズマポリマー生成物を有する、(加水分解に耐える)除去容易な(Easy−to−clean)コーティングないし疎水仕上げを備えた基板(特にまたメンブレン)を有する物品、
−抗菌コーティング、特に非細胞毒性抗菌コーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、抗菌コーティングを備えた基板を有する物品、
−抗菌コーティング、特に非細胞毒の抗菌コーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、抗菌コーティングを備えた包装を形成するための基板を有する物品、
−分離層または分離層の一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、プラズマポリマー分離層を備えた基板を有する物品、
−エラストマー生成物と、エラストマー生成物上の、コーティングまたはコーティングの構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、滑り特性を増大させるコーティングとを有する物品、
−基板、特にリソグラフィックシステムとその上に配置されている、保護箔または保護箔の構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、残渣なしで除去可能、好ましくは残渣なしで引き剥がし可能な保護箔とを有する物品、
−基板、特に熱交換器または熱交換器の部分と、その上に配置されている、著しく疎水性の、加水分解安定の表面特性を備えた、熱伝導性をほとんど変化させない、請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有するコーティングとを有する物品、
−基板、特にリソグラフィックシステムの光学コンポーネントと、その上に配置されている、加水分解に耐える、著しく疎水性でかつほぼUV透過性の保護層として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、コーティングとを有する物品、
−欠陥を有する好ましくはプラズマポリマーコーティングと、欠陥を補修するための、補修箔または補修箔の構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、補修箔とを有する物品、
−好ましくはバリア特性を有する、少なくとも2つの、より固い層または基板と、より固い層または基板の間の、スペーサ層またはスペーサ層の構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、少なくとも1つのソフトなスペーサ層とを有する物品、
−カバー層またはカバー層の構成要素として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、疎水性のカバー層を備えた、ガスと蒸気、特に水蒸気、二酸化炭素または酸素の移動を減少させるためのバリア層または基板を有する物品、
−好ましくは電気的な構成部材と、絶縁する箔または絶縁するコーティングあるいはこの種の箔またはコーティングの一部として請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、電気的に絶縁する箔または絶縁するコーティングを有する物品、
−請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、好ましくは移植可能な医用工学用品を有する物品、
−コーティングとして請求項1から13のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物を有する、好ましくは移植可能な医用工学用シリコン物品。 - 請求項1から14のいずれか1項に定義されるプラズマポリマー生成物の、以下のものとしての使用:
−100g/mol以上、好ましくは50g/mol以上のモル質量を有する分子に対する移動バリア、
−ガスと蒸気、特に水蒸気、二酸化炭素または酸素の移動を減少させるためのバリアコーティングまたは基板上のカバー層、
−特に最大1000nmの厚みを有するシールのための、シール材料、
−フレキシブルな包装材料のフレキシブルなコーティング、
−光学素子をコーティングするためのコーティング、
−加水分解に耐えるコーティング、
−疎水コーティング、
−腐食防止コーティング、
−除去容易な(Easy−to−clean)コーティング、
−エラストマー生成物上の、滑り特性を増大させるコーティング、
−特にリソグラフィックシステムの光学素子のため、さらに好ましくは浸漬リソグラフィックシステムの光学素子のための、保護箔、UV透過箔および/または加水分解に安定な箔、
−分離箔または分離箔の一部、
−特に除去容易な(Easy−to−clean)または分離層適用のための、補修箔、
−反付着性と付着性の表面特性を有する箔またはコーティング、
−特に、局所的な親水領域ないし疎水領域を形成するために、親水性の基板をコーティングするための、孔パターンおよび/または細片パターンを有する箔、
−互いに分離すべき、より固い層の間のソフトなスペーサ層、特にバリア層、
−特に極性分子の吸着を阻止するため、あるいは水素、炭素または酸素のようなガスと蒸気に対するバリアコーティングないしウルトラバリアコーティングのバリア特性を改良するための、著しく疎水性のカバー層、
−ダイアモンド状のコーティング、特に薄い、化学的に結合されたコーティング上の分離層ないし著しく疎水性の層、
−特に電気的な構成部材内の、絶縁箔または絶縁コーティング。
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