JP2009505157A - 新規ポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前躯体組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物、
(c)少なくとも1つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には(d)少なくとも1つの光反応性化合物も組成物中に存在するという条件付の、耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物を対象とする。
(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物、
(c)少なくとも1つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には(d)少なくとも1つの光反応性化合物を含むという条件付の、耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物を対象とする。
(a)構造IまたはIIまたはIIIまたはIII*またはIVまたはIV*を有する、少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーであり、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物、
(c)少なくとも1つの溶媒を含有し、構造I、II、IIIもしくはその混合のみから構成される場合には(d)少なくとも1つの光反応性化合物が添加されるという条件付きの、ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含有するジアゾキノンを対象とする。
構造IVのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーは、G−Mを有する構造IIのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの反応によって調製されてもよい。同様に、構造IV*は構造IIを有するG*−Mを反応させることよって調製されてもよい。G、G*およびMの定義は既に定義されたとおりであり、反応条件は構造IIIまたはIII*のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの調製で述べられたものと同じである。
(a)構造VIまたはVIIまたはVII*を有する少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーであり、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物;
(c)照射によって酸を放出する少なくとも1つの光活性化合物(PAG);および
(d)少なくとも1つの溶媒
を含有する、熱耐性ポジ型の化学的に増強された感光性PBO前躯体組成物である。
(a)適切な基材のコーティングの工程であり、
1. 構造I、またはII、またはIII、またはIII*、またはIV、またはIV*、またはそれらの混合、少なくとも1つの可塑剤、および少なくとも1つの溶媒を有する、1つ以上のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーを含むポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンで、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが構造I、またはII、またはIII、またはIII*、またはそれらの混合のみから成る場合には、少なくとも1つの光活性剤化合物が添加されることを条件とするか、あるいは、
2. 構造VI、またはVII、またはVII*、またはそれらの混合、少なくとも1つの可塑剤、照射で酸を放出する少なくとも1つの光活性剤化合物(PAG)、および少なくとも1つの溶媒を有する、1つ以上のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーを含む化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物であり、
それによってコーティングされた基材を形成する工程;
(b)コーティングされた基材の前焼成の工程;
(c)前焼成してコーティングされた基材の化学線曝露の工程;
(d)任意で、コーティングして露光された基材の露光後焼成の工程;
(e)現像された、コーティングされた基材上の未硬化の凹凸像を形成するための、コーティングされ露光された基材の水性現像液による現像の工程;および
(f)現像された、コーティングされた基材を高温で焼成し、凹凸像を硬化する工程、を含み、
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物(組成物2)が工程(a)で用いられる場合は露光後の工程(d)が必要であることを条件とする工程である。
合成例1
構造タイプIのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの合成
合成例2
p−トルエンスルホニルエンドキャップを有する構造タイプIIIのPBO前躯体ポリマーの調製(IIIa-2)
アセチル・エンドキャップを有する構造タイプIIIのポリマーの合成(IIIa-1)
合成例4
構造タイプIVのポリマーの合成(IVa-1)
2,6−ジメトキシベンゾイルエンドキャップを有する構造タイプIIIのPBO前躯体ポリマーの調製(IIIa-4)
構造タイプIIのポリマーの合成(IIa)
構造タイプIVとフタル酸エンドキャップのポリマーの合成(IVa-3)
光活性化合物PAC Aの合成
合成例10
エチルビニルエーテルでブロックされた構造タイプVII*のPBO前躯体の調製(VII*a)
合成例11
別のモノマー比率の構造タイプIのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの合成(Ic)
ポリマーIcを、1,4−オキシジベンゾイルクロリドのイソフタロイルクロリドに対する比を1/1から4/1に変更した点を除いて、合成例1の手順に従って合成した。
合成例12
構造タイプIIのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの合成(IIc)
イミドエンドキャップを有する構造タイプIV*のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーの合成(IV*c)
合成例12と同じ方法で調製したPBO前躯体ポリマー(200g)を600gのジグライムと300gのプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)の混合液に溶解した。残留水をPGMEAとジグライムの共沸混合物として、回転式蒸発器を用いて65℃(10−12torr)で除去した。共沸蒸留で約550gの溶媒を除去した。反応液をN2ブランケット下におき、反応フラスコにはマグネット攪拌機を取りつけた。7gの無水ナジック酸を添加し、次いで10gのピリジンを加えた。反応を50℃で一晩撹拌した。次に、反応混合液を500gのテトラヒドロフラン(THF)で希釈し、8Lの50/50のメタノール/水混合液に沈殿させた。ポリマーを濾過で回収し、40℃で減圧乾燥した。
合成例14
p−トルエンスルホニルを有しエチルビニルエーテルでブロックされた構造タイプVIIのPBO前躯体ポリマーの調製(VIIa−2)
ジメトキシベンゾイルのエンドキャップを有しエチルビニルエーテルでブロックされた構造タイプVIIのPBO前躯体の調製(VIIa−3)
アセチル・エンドキャップを有しエチルビニルエーテルでブロックされた構造タイプVIIのPBO前躯体の調製(VIIa−1)
t−ブチルビニルエーテルでブロックされた構造タイプVIIのPBO前躯体の調製(VIIa−1−BVE)
合成例18
t−ブトキシカルボニルメチルでブロックされた構造タイプVII*のPBO前躯体の調製(VII*a−1−BCM)
合成例9と同じ方法で調製したポリマー(100g)を1000gのジグライムに溶解した。残留水をジグライムの共沸混合物として、回転式蒸発器を用いて65℃(10−12torr)で除去した。共沸蒸留で約500gの溶媒を除去した。反応液をN2ブランケット下におき、反応フラスコにはマグネット攪拌機を取りつけた。t−ブチルブロモアセテート(21.2g、107mmol)を加え、次いで、9.3g、117.6mmolのピリジンを加えた。反応混合液を40℃で5時間撹拌した。結果得られた混合液を、10Lの脱イオン水に滴下して加え、白い沈殿を生じさせる。沈殿を脱イオン水で5回洗浄し、濾過し、減圧オーブンで40℃にて一晩乾燥させて、101gのt−ブトキシカルボニルメチルオキシを有するポリマーを得た。産物をプロトンNMRで解析した。6から7ppmのフェニールのピークと1から2ppmのt−ブチルとメチレンのピークから、t−ブトキシカルボニルメチルオキシの導入率は利用可能なOH基の30mole%と計算される。
合成例6から得たポリマーを100、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を13.5、ジフェニルシランジオールを2.5、ガンマ−ウレイドプロピルトリメトキシシランを3、トリプロピレングリコールを5の割合で、158の割合のGBLに溶解して濾過した。
合成例6から得たポリマーを100、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を13.5、ジフェニルシランジオールを2.5、ガンマ−ウレイドプロピルトリメトキシシランを3、トリプロピレングリコールを10の割合で、158の割合のGBLに溶解して濾過した。
合成例6から得たポリマーを100、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を13.5、ジフェニルシランジオールを2.5、ガンマ−ウレイドプロピルトリメトキシシランを3の割合で、158の割合のGBLに溶解して濾過した。
(第3実施例)
合成例6から得たポリマーを100、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を13.5、ジフェニルシランジオールを2.5、ガンマ−ウレイドプロピルトリメトキシシランを3、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールを有するポリマーである2−オキセパノンを5の割合で、158の割合のGBLに溶解して濾過した。
合成例6から得たポリマーを100、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を13.5、ジフェニルシランジオールを2.5、ガンマ−ウレイドプロピルトリメトキシシランを3、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールを有するポリマーである2−オキセパノンを10の割合で、158の割合のGBLに溶解して濾過した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを3、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを5、トリプロピレングリコールを5、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、GBLを16、PGMEAを130、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを3、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを5の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、GBLを16、PGMEAを130、トリプロピレングリコールを10、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを3、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを5の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを3、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを5、速度エンハンサーSE2を7.5、トリプロピレングリコールを10、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを3、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを5、速度エンハンサーSE2を7.5、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールを有するポリマーである2−オキセパノンを8、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、マレイン酸ジブチルを10、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、ジ(プロピレン)グリコールを15、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、プロピレンカーボネートを12、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例13で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを3、PAC B(下記参照)を15、トリプロピレングリコールを10、GBLを173の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例13で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを3、PAC B(実施例11を参照)を15、GBLを173の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例13で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを3、PAC B(実施例11を参照)を15、トリ(エチレングリコール)メチルビニルエーテルを10、GBLを173の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例3で述べた方法によって調製したポリマーを100、N−フェニル−ガンマ−アミノプロピルトリメトキシシランを2.5、PAC F(下記参照)を22、トリプロピレングリコールモノメチルエーテルを8、GBLを135、PGMEAを25、乳酸エチルを15の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例3で述べた方法によって調製したポリマーを100、N−フェニル−ガンマ−アミノプロピルトリメトキシシランを2.5、PAC Fを22、GBLを135、PGMEAを25、乳酸エチルを15の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例4で述べた方法によって調製したポリマーを100、N−(3−トリエトキシシリルプロピル)マレイン酸モノアミドを2、PAC J(下記参照)を12、コハク酸ジメチルを12、GBLを165、乳酸エチルを10の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例4で述べた方法によって調製したポリマーを100、N−(3−トリエトキシシリルプロピル)マレイン酸モノアミドを2、PAC Jを12、GBLを165、乳酸エチルを10の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例7で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを4、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を16、テトラエチレングリコールを12、NMPを170の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例7で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを4、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を16、NMPを170の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例9で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2.5、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を24、マレイン酸ジブチルを8、NMPを80、GBLを95の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例9で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2.5、合成例8から得たビスフェノールAP(PAC A)を24、NMPを80、GBLを95の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例12で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを3、PAC Bを16、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールを有するポリマーである2−オキセパノンを9、GBLを150、PGMEAを20、乳酸エチルを5の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例12で述べた方法によって調製したポリマーを100、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを3、PAC Bを16、GBLを150、PGMEAを20、乳酸エチルを5の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
ポジ型感光性PBO前躯体組成物を含むジアゾキノンは、合成例13で述べた方法によって調製したポリマーを100、PAC Bを15、トリプロピレングリコールを10、GBLを173の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例14で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、PAG2(下記参照)を5、速度エンハンサーSE1を3.75、トリプロピレングリコールモノメチルエーテルを7、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例14で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、PAG2(下記参照)を5、速度エンハンサーSE1を3.75、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例10で述べた方法によって調製したポリマーを100、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、ジ(プロピレン)グリコールを15、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例15で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、Ciba Specialty Chemicalsで入手可能なスルホニルオキシミノタイプのPAG CGI−725を10、コハク酸ジメチルを12、PGMEAを130、乳酸エチルを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例15で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、Ciba Specialty Chemicalsで入手可能なスルホニルオキシミノタイプのPAG CGI−725を10、PGMEAを130、乳酸エチルを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例16で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、PAG2を3、速度エンハンサーSE1を5、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルを5、PGMEAを120、GBLを20、乳酸エチルを10の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例16で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、PAG2を3、速度エンハンサーSE1を5、PGMEAを120、GBLを20、乳酸エチルを10の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例17で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、ジ(プロピレン)グリコールを15、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例17で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例18で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、ジ(プロピレン)グリコールを15、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物は、合成例18で述べた方法によって調製したポリマーを100、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを2、(5−プロピルスルホニルオキシイミノ−5H−チオフェン−2−イリデン)−2−メチルフェニルアセトニトリルを4、速度エンハンサーSE1を3.75、PGMEAを130、GBLを20の割合で混合し、0.2μmテフロンフィルターで濾過して調製した。
Claims (61)
- 耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物であり、
(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物、
(c)少なくとも1つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には(d)少なくとも1つの光反応性化合物も前記組成物中に存在するという条件付きの、耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。 - 前記少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造I、II、III、III*、IVおよびIV*を有するポジ型感光性PBO前躯体ポリマーから成る群から選択された少なくとも1つのポジ型感光性PBO前躯体ポリマーを含み、
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのOH基を有するとともに沸点が前記感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点より高い、少なくとも1つのポリヒドロキシ化合物である、請求項2に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、4,8−ビス(ヒドロキシメチル)−トリシクロ(5.2.1.0/2,6)デカン、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項3に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項4に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、沸点が前記感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項2に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、およびペンタエチレングリコールの飽和モノエーテルから成る群から選択される、請求項6に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、トリ(プロピレングリコール)メチルエーテル、トリ(プロピレングリコール)プロピルエーテル、およびトリ(プロピレングリコール)ブチルエーテルから成る群から選択される、請求項7に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、沸点が前記感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項2に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項9に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記組成物が更に少なくとも1つの接着促進剤を含有する、請求項2に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記接着促進剤が構造XIVの化合物を含み、
- 前記少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造VI、VII、およびVII*を有するポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーから成る群から選択される少なくとも1つの化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体ポリマーを含み、
- 式中、前記A1基に結合しているO原子と組み合わさったR1がアセタール基、ケタール基、エーテル基、シリルエーテル基、およびそれらの混合から成る群から選択された基を形成する、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 式中、前記Ar1基に結合しているO原子と組み合わさったR1がアセタール基を形成する前記Ar1基に結合されている、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのOH基を有するとともに、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのポリヒドロキシ化合物である、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、4,8−ビス(ヒドロキシメチル)−トリシクロ(5.2.1.0/2,6)デカン、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項22に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、およびペンタエチレングリコールのモノエーテルから成る群から選択される、請求項24に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強された感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項26に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 前記少なくとも1つの光活性化合物が、オキシムスルホン酸、トリアジン、ジアゾキノンスルホン酸、あるいは、スルホン酸のスルホニウム塩またはヨードニウム塩から成る群から選択される、請求項15に記載の耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物。
- 基材上の凹凸構造を形成するための方法であり、
(1)(a)少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
(b)少なくとも1つの可塑剤化合物、
(c)少なくとも1つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には(d)少なくとも1つの光反応性化合物も前記組成物中に存在するという条件付きの、耐熱性ポジ型感光性PBO前躯体組成物を基材にコーティングする工程、
(2)コーティングされた基材の前焼成の工程、
(3)前焼成された、コーティングされた基材の化学線曝露の工程、
(4)任意で、コーティングされて露光された基材の露光後焼成の工程、
(5)現像された、コーティングされた基材上の硬化していない凹凸像を形成するための、コーティングされて露光された基材の水性現像液による現像の工程、および
(6)凹凸像を硬化させるための、現像された、コーティングされた基材の高温での焼成の工程を備え、
工程(1)でポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前躯体が化学的に増強されたポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前躯体であった場合に後の曝露工程(4)が行われる、基材上の凹凸構造を形成するための方法。 - 前記少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造I、II、III、III*、IVおよびIV*を有するポジ型感光性PBO前躯体ポリマーから成る群から選択された少なくとも1つのポジ型感光性PBO前躯体ポリマーを含み、
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのOH基を有するとともに沸点が前記ポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点より高い少なくとも1つのポリヒドロキシ化合物である、請求項31に記載の方法。
- 前記可塑剤が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、4,8−ビス(ヒドロキシメチル)−トリシクロ(5.2.1.0/2,6)デカン、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項32に記載の方法。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項33に記載の方法。
- 前記可塑剤が、沸点が前記ポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項31に記載の方法。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、およびペンタエチレングリコールの飽和モノエーテルから成る群から選択される、請求項35に記載の方法。
- 前記可塑剤が、トリ(プロピレングリコール)メチルエーテル、トリ(プロピレングリコール)プロピルエーテル、およびトリ(プロピレングリコール)ブチルエーテルから成る群から選択される、請求項36に記載の方法。
- 前記可塑剤が、沸点が前記ポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項31に記載の方法。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項38に記載の方法。
- 前記組成物が更に少なくとも1つの接着促進剤を含有する、請求項31に記載の方法。
- 前記接着促進剤が構造XIVの化合物を含み
- 前記少なくとも1つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造VI、VII、およびVII*を有するポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーから成る群から選択される少なくとも1つのPBO前躯体ポリマーを含み、
- 式中、前記Ar1基と結合したO原子と組み合わさったR1がアセタール基、ケタール基、エーテル基、シリルエーテル基、およびそれらの混合から成る群から選択された基を形成する、請求項44に記載の方法。
- 式中、前記Ar1基と結合したO原子と組み合わさったR1がアセタール基を形成する、請求項44に記載の方法。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのOH基を有するとともに、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのポリヒドロキシ化合物である、請求項44に記載の方法。
- 前記可塑剤が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、4,8−ビス(ヒドロキシメチル)−トリシクロ(5.2.1.0/2,6)デカン、および2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオールと2−オキセパノンとのコポリマーから成る群から選択される、請求項51に記載の方法。
- 前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項44に記載の方法。
- 前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、およびペンタエチレングリコールのモノエーテルから成る群から選択される、請求項53に記載の方法。
- 前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性PBO前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項44に記載の方法。
- 前記可塑剤が、少なくとも2つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも1つのカルボン酸エステルである、請求項55に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光活性化合物が、オキシムスルホン酸、トリアジン、ジアゾキノンスルホン酸、あるいは、スルホン酸のスルホニウム塩またはヨードニウム塩から成る群から選択される、請求項44に記載の方法。
- 請求項30に記載の方法に従って製造された凹凸構造。
- 請求項31に記載の方法に従って製造された凹凸構造。
- 請求項44に記載の方法に従って製造された凹凸構造。
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