JP2009501409A - 大気圧プラズマを生成する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 装置,列配置
11a,11b,11c,11d 装置
12 1次区域,1次領域
12a,12b,12c,12d 1次部分領域,リング本体
12e リング領域
13 2次区域,2次領域
14,15 部分領域
14a,14b,15a,15b 部分領域
14a,14b,14c,14d,15a,15b,15c 部分領域
16a,16b,16c 区域
17a,17b,17c 電極
19 電圧供給源,低電圧源,電源
19a,19b 電圧供給線
20 プラズマ,大気圧プラズマ
20a,20b,20c プラズマ雲,プラズマ
21 結合領域
22a,22b 境界層,境界面
23 絶縁要素,絶縁区間
24 自由空間,気体流路,貫通開口部,気体流スリット
24a,24b,24c,24d 貫通路
25 開口部
26 プラズマジェット
26a,26b,26c プラズマジェット
27 出口ノズル
28a,28b,28c 歯
29 ハウジング
30 流入口
31 層構造
31a,31b,31c,31d 層
B1,B2 側面
P 分極方向
PP 分極方向,半径方向
P1,P2,P3 分極方向
Q 横方向
L 長手方向
F 上面
F1,F2 前面
D 厚さ,幅
E 電場,角領域
S 方向
G 矢印
A 全長
IF 内周面,内面
AF 外面
M 出口
Ma,Mb,Mc,Md 出口領域
BH 構造高さ
Claims (51)
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマ(20,20a,20b,20c,20d)を生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11,11a,11b,11c)を備え、この装置(11,11a,11b,11c)は、少なくとも1つの1次領域(12,12a,12b,12c)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b,17c)が、この1次領域(12,12a,12b,12c)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
この2次領域(13)は、長手方向(L)に沿って反対方向に分極している2つの部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)を有することを特徴とする設備。 - 両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)は、互いにほぼ平行に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の設備。
- 1次領域(12,12a,12b,12c)の励起は、両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)間の電位差を長手方向(L)に対して横方向(Q)に生成することを特徴とする請求項1又は2に記載の設備。
- 両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)は、互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の設備。
- 両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)は、互いに密接している(図1)ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の設備。
- 両部分領域(14,15)は、正反対の方向に分極している1つの共通の加工品から形成されていることを特徴とする請求項5に記載の設備。
- 1次領域(12)及び2次領域(13)は、少なくとも3つの異なる方向(16a,16b,16c)に分極している1つの共通の加工品から形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の設備。
- 1次領域(12)及び2次領域(13)並びに/又は部分領域(14,15)は、密接して固定されている複数の異なる加工品から形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の設備。
- 両部分領域(14,15)は、互いに僅かに間隔をあけている(図3)ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の設備。
- ただ1つの1次領域(12a,12b)が、各部分領域(14,15)に付設されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の設備。
- 両1次領域(12a,12b)は、同期して配置されていて、特に移相なしに励起可能であることを特徴とする請求項10に記載の設備。
- 両1次領域(12a,12b)の各々は、一対の電極(17a,17b;17b,17c)を有することを特徴とする請求項10又は11に記載の設備。
- 少なくとも1つの共通の電極(17b)が、両1次領域(12a、12b)に付設されていることを特徴とする請求項12に記載の設備。
- 自由空間(24)(図4,図14)が、両部分領域(14,15)間に配置されていることを特徴とする請求項1〜4又は6〜13のいずれか1項に記載の設備。
- 気体路(24)が、両部分領域(14,15)間に配置されていることを特徴とする請求項1〜4又は6〜14のいずれか1項に記載の設備。
- 絶縁体(23)が、両部分領域間に配置されている(図3)ことを特徴とする請求項1〜4又は6〜15のいずれか1項に記載の設備。
- 多数の部分領域(14a,14b,14c,15a,15b)が、直線状に列を成して、特に長手方向に対して横に配置されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の設備。
- 部分領域の分極方向が、列に沿って交互することを特徴とする請求項17に記載の設備。
- 多数の部分領域(14,14a,14b,14c,15,15a,15b,15c)が、ラスター状の平面に沿って配置されている(図7)ことを特徴とする請求項1〜18のいずれか1項に記載の設備。
- 部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)の分極方向が、長手方向に対して横にある第1方向(Q)に沿って交互し、そしてこの第1方向に対して垂直にかつ長手方向に対して垂直にある第2方向(S)に沿って交互することを特徴とする請求項19に記載の設備。
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマ(20,20a,20b,20c,20d)を生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11,11a,11b,11c)を備え、この装置(11,11a,11b,11c)は、少なくとも1つの1次領域(12,12a,12b,12c)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b,17c)が、この1次領域(12,12a,12b,12c)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
2次領域(13)が、2つの別々の部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)から形成されていること、ただ1つの1次領域(12a,12b)が、各部分領域に付設されていること、及び、両1次領域(12a,12b)が、反転して配置されていることを特徴とする設備。 - 両1次領域(12a,12b)は、一致する分極方向を有し、180°移相して励起可能であることを特徴とする請求項21に記載の設備。
- 両1次領域(12a,12b)は、正反対の分極方向を有し、位相を同じくして、すなわち位相を揃えてかつ移相なしに励起可能であることを特徴とする請求項21に記載の設備。
- 両1次領域(12a,12b)の各々が、一対の電極(17a,17b;17b,17c)を有することを特徴とする請求項21〜23のいずれか1項に記載の設備。
- 両1次領域(12a,12b)は、少なくとも1つの共通の電極(17b)を有することを特徴とする請求項24に記載の設備。
- 両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)は、互いにほぼ平行に配置されていることを特徴とする請求項21〜25のいずれか1項に記載の設備。
- 両部分領域(14,14a、14b、14c,15,15a,15b,15c)は、互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項21〜26のいずれか1項に記載の設備。
- それぞれの1次領域(12a,12b)及び1つの部分領域(14,15)は、1つの共通の加工品から形成されていることを特徴とする請求項21〜27のいずれか1項に記載の設備。
- 両部分領域は、互いに僅かに間隔をあけている(図17)ことを特徴とする請求項27に記載の設備。
- 自由空間(24)が、両部分領域(14,15)間に配置されていることを特徴とする請求項29に記載の設備。
- 気体路(24)が、両部分領域(14,15)間に配置されていることを特徴とする請求項30に記載の設備。
- 絶縁体(23)が、両部分領域間に配置されている(図16)ことを特徴とする請求項27に記載の設備。
- 多数の部分領域(14a,14b,14c)が、直線状に列を成して、特に長手方向(L)に対して横(方向Q)に配置されている(図22)ことを特徴とする請求項21〜32のいずれか1項に記載の設備。
- 付随する1次領域(12a,12b,12c)の反転が、部分領域(14a,14b,14c)の列に沿って交互することを特徴とする請求項33に記載の設備。
- 多数の部分領域(14a,14b,14c)が、ラスター状の平面に沿って配置されている(図23a)ことを特徴とする請求項21〜34のいずれか1項に記載の設備。
- 付随する1次領域(12a,12b,12c)の反転が、長手方向に対して横にある第1方向(Q)に沿って交互し、そしてこの第1方向に対して垂直にかつ長手方向に対して垂直にある第2方向(S)に沿って交互する請求項35に記載の設備。
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマ(20,20a,20b,20c,20d)を生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11,11a,11b,11c)を備え、この装置(11,11a,11b,11c)は、少なくとも1つの1次領域(12,12a,12b,12c)及び長手方向(L)に延在する1つの2次領域(14)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b,17c)が、この1次領域(12,12a,12b,12c)に配置されていて、この場合、電位差が、この長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して発生する設備(10)において、
独立した第2の1次領域(12b)及び長手方向に延在する独立した第2の2次領域(15)を有する第2装置(11b)が設けられていること、両2次領域(14,15)は、互いに平行に指向されていてかつ長手方向に対して横に互いに間隔をあけて配置されていること、及び、これらの両2次領域は、その間に長手方向(L)の延在する気体流路(24)を形成することを特徴とする設備(10)。 - 多数の2次領域(14,15,14a,15a,14b,15b,14c,15c)は、直線状に列を成して配置されていて、その間に長手方向(L)に延在する多数の気体流路(24a,24b,24c)を形成する請求項37に記載の設備。
- 多数の2次領域(14,15,14a,15a,14b,15b,14c,15c)は、平面に沿って、特にラスター状に配置されていて、その間に長手方向(L)に延在する気体流路を形成することを特徴とする請求項37に記載の設備。
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマを生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11)を備え、この装置(11)は、少なくとも1つの1次領域(12)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b)が、この1次領域(12)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
2次領域(13)は、1つの気体流路(24)の内壁を形成する湾曲した内面(IF)を有することを特徴とする設備(10)。 - 湾曲した内面(IF)は、大気圧プラズマ(20)用の境界面になることを特徴とする請求項40に記載の設備。
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマを生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11)を備え、この装置(11)は、少なくとも1つの1次領域(12)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b)が、この1次領域(12)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
長手方向(L)に延在して貫通する1つの気体流路(24)が、2次領域(13)内に配置されていること、及び、この2次領域(13)は、この気体流路(24)を完全に包囲することを特徴とする設備(10)。 - 2次領域(13)は、その内面(IF)に気体流路(24)の内壁を提供することを特徴とする請求項42に記載の設備。
- 気体流路(24)は、1次領域(12)を貫通することを特徴とする請求項42又は43に記載の設備。
- 装置(11)は、ほぼ管形に形成されていることを特徴とする請求項42〜44のいずれか1項に記載の設備。
- 特に基板を加工するための大気圧プラズマを生成する設備(10)にあって、この設備(10)は、圧電材から成る装置(11)を備え、この装置(11)は、少なくとも1つの1次領域(12)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b)が、この1次領域(12)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
長手方向に延在し貫通し互いに平行な多数の気体流路(24)が、2次領域(13)内に配置されていることを特徴とする設備(10)。 - 圧電材から成る加工品(11)が、少なくとも1つの1次領域(12)及び1つの2次領域(13)を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも2つの電極(17a,17b)が、この1次領域(12)に配置されていて、電位差が、この2次領域(13)の長手方向(L)に沿ってこの1次領域の励起に起因して生じる設備(10)において、
この加工品は、異なって分極化する少なくとも3つの区域(16a,16b,16c)を有することを特徴とする加工品(11)。 - 圧電材から成る一様な加工品(11)を分極する方法において、
a)加工品の第1区域(16a)が、1次領域(12)を実現するために第1方向に沿って分極されること、
b)その後に加工品(11)の第2区域(16b)が、2次領域(13)の第1部分領域(14)を実現するために第2方向に沿って分極されること、及び
c)第3区域(16c)が、2次領域(13)の第2部分領域(15)を実現するために第3方向に沿って分極され、この場合、この第3方向は、第2方向に対して正反対であることを特徴とする方法。 - ステップb)及びc)は、相前後して実施されることを特徴とする請求項48に記載の方法。
- 第2方向及び第3方向は、第1方向に対して垂直に存在することを特徴とする請求項48又は49に記載の方法。
- 一様な圧電材から成る加工品(11)を製造する方法において、
圧電材が、押出法にしたがってノズルから長手方向(L)に連続して出され、この場合、このノズルは、この加工品の蜂の巣構造に一致する相補的な逆蜂の巣構造を有して、この加工品内に長手方向に延在する多数の貫通開口部(24)を実現することを特徴とする方法。
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