JP2019505098A - 圧電トランスの製造方法および圧電トランス - Google Patents
圧電トランスの製造方法および圧電トランス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019505098A JP2019505098A JP2018541385A JP2018541385A JP2019505098A JP 2019505098 A JP2019505098 A JP 2019505098A JP 2018541385 A JP2018541385 A JP 2018541385A JP 2018541385 A JP2018541385 A JP 2018541385A JP 2019505098 A JP2019505098 A JP 2019505098A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric transformer
- piezoelectric
- face
- piezoelectric material
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
- H05H1/2481—Generating plasma using acoustic pressure discharges the plasma being activated using piezoelectric actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Description
a)電極および第一圧電材料が交互に積層された入力領域と、第二圧電材料を有する出力領域とを含む基体を製造し、
b)前記第一圧電材料を分極し、
c)取り外し可能な接点を前記基体の入力領域から離れた出力側端面に接続し、かつ、第一電位を前記取り外し可能な接点に印加し、前記第二圧電材料の分極に用いるステップを含む。ここで、ステップb)およびc)は任意の順序で実行してもよい。
2 入力領域
3 出力領域
4 電極
5 圧電材料
6 第一側面
7 第二側面
8 第一外部電極
9 圧電材料
10 出力側端面
11 第三側面
12 第四側面
13 接触部材
14 金属グリッド
15 層
x 積層方向
y y方向
z 縦方向
Claims (13)
- a)電極(4)および第一圧電材料(5)が交互に積層された入力領域(2)と、第二圧電材料(9)を有する出力領域(3)とを含む基体を製造し、
b)前記第一圧電材料(5)を分極し、
c)取り外し可能な接点を前記基体の入力領域(2)から離れた出力側端面(10)に接続し、かつ第一電位を前記取り外し可能な接点に印加し、前記第二圧電材料(9)の分極に用いるステップを含み、
ステップb)およびc)は、任意の順序で実行してもよい圧電トランスの製造方法。 - 前記入力領域(2)は 二つの外部電極(8)を有し、前記入力領域(2)における前記電極(4)は それぞれ前記二つの外部電極(8)のうちの一つと接続され、かつ
前記第二圧電材料(9)を分極するために、第二電位を 前記二つの外部電極(8)に接続し、それによって前記入力領域(2)の前記電極(4)と 前記出力側端面(10)との間に電圧を印加する請求項1に記載の圧電トランスの製造方法。 - ステップc)が終了した後に、取り外し可能な接点を取り外す請求項1又は2に記載の圧電トランスの製造方法。
- 接触部材(13)を端面(10)に圧着することで、取り外し可能な接点を取り付ける請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- 前記取り外し可能な接点は、フレキシブル金属構造(14)を有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- 前記取り外し可能な接点は、層(15)を有し、それは導電性ポリマーおよび/または導電性粒子を充填されたゴムを含む請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- 前記取り外し可能な接点の出力側端面(10)に導電性層を一時的に付加し、かつ前記第二圧電材料(9)を分極した後にそれを除去する請求項1〜6のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- さらに、d)圧電トランス(1)のインピーダンスおよび/または容量を測定するステップを含み、該ステップで、前記取り外し可能な接点を介して第三電位を前記出力側端面(10)に印加する請求項1〜7のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- 前記圧電トランスは、非熱大気圧プラズマを発生させるためのトランスである請求項1〜8のいずれか一項に記載の圧電トランスの製造方法。
- 電極(4)および第一圧電材料(5)が交互に積層された入力領域(2)と、第二圧電材料(9)を有する出力領域(3)とを含む基体を含む圧電トランス(1)であって、前記基体は、入力領域(2)から離れかつ金属メッキ層がない出力側端面(10)を含む圧電トランス(1)。
- 前記出力側端面(10)の表面は、前記第二圧電材料(9)で構成される請求項10に記載の圧電トランス(1)。
- 前記圧電トランス(1)は、非熱大気圧プラズマを発生させるためのトランスである請求項10又は11に記載の圧電トランス(1)。
- 請求項10〜12のいずれか一項に記載の圧電トランス(1)を含む非熱大気圧プラズマ発生装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016102488.0A DE102016102488A1 (de) | 2016-02-12 | 2016-02-12 | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Transformators und piezoelektrischer Transformator |
DE102016102488.0 | 2016-02-12 | ||
PCT/EP2017/050412 WO2017137195A1 (de) | 2016-02-12 | 2017-01-10 | Verfahren zur herstellung eines piezoelektrischen transformators und piezoelektrischer transformator |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020115710A Division JP2020170868A (ja) | 2016-02-12 | 2020-07-03 | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019505098A true JP2019505098A (ja) | 2019-02-21 |
JP7049256B2 JP7049256B2 (ja) | 2022-04-06 |
Family
ID=57777648
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018541385A Active JP7049256B2 (ja) | 2016-02-12 | 2017-01-10 | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス |
JP2020115710A Pending JP2020170868A (ja) | 2016-02-12 | 2020-07-03 | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020115710A Pending JP2020170868A (ja) | 2016-02-12 | 2020-07-03 | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11476407B2 (ja) |
EP (1) | EP3414785B1 (ja) |
JP (2) | JP7049256B2 (ja) |
DE (1) | DE102016102488A1 (ja) |
WO (1) | WO2017137195A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016104490B3 (de) * | 2016-03-11 | 2017-05-24 | Epcos Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas |
DE102019135497B4 (de) * | 2019-12-20 | 2021-11-11 | Nova Plasma Ltd | Piezoelektrischer Plasmagenerator und Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrischen Plasmagenerators |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3766615A (en) * | 1969-09-09 | 1973-10-23 | Denki Onkyo Co Ltd | Method of polarizing piezoelectric elements |
JPS4984389A (ja) * | 1972-12-16 | 1974-08-13 | ||
JPH0974235A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 圧電トランス |
JP2000294849A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Hitachi Metals Ltd | 圧電トランス |
JP2009501409A (ja) * | 2005-07-14 | 2009-01-15 | ヨット・エー・プラズマコンサルト・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 大気圧プラズマを生成する装置 |
JP2015076420A (ja) * | 2013-10-04 | 2015-04-20 | 日本碍子株式会社 | 分極方向検査方法、分極方向検査装置及び圧電素子の製造方法 |
DE102014110405A1 (de) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3945099A (en) * | 1975-06-06 | 1976-03-23 | University Of Illinois Foundation | Method and apparatus for making a surface wave transducer device |
JP2508575B2 (ja) | 1993-01-28 | 1996-06-19 | 日本電気株式会社 | 圧電磁器トランスとその駆動方法 |
TW420883B (en) | 1996-02-08 | 2001-02-01 | Tokin Corp | A piezoelectric transformer |
DE69722691T2 (de) | 1996-02-14 | 2003-12-18 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer Transformator |
JP3090022B2 (ja) | 1996-02-14 | 2000-09-18 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電トランス |
JP3090023B2 (ja) * | 1996-02-14 | 2000-09-18 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電トランス |
JP2904137B2 (ja) | 1996-07-30 | 1999-06-14 | 日本電気株式会社 | 積層型圧電トランス |
JP2000094849A (ja) | 1998-09-18 | 2000-04-04 | Toray Ind Inc | 感熱孔版印刷用原紙 |
US6747401B2 (en) | 2002-07-01 | 2004-06-08 | Advancewave Technology, Inc. | Augmenting surface electrode for piezoelectric workpiece |
JP4984389B2 (ja) | 2004-12-24 | 2012-07-25 | 旭硝子株式会社 | 横電界駆動液晶セルおよびそれを用いた波長可変フィルタ |
DE102006018034A1 (de) * | 2006-04-19 | 2007-10-31 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102013100617B4 (de) * | 2013-01-22 | 2016-08-25 | Epcos Ag | Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und Handgerät mit der Vorrichtung |
JP6224484B2 (ja) | 2014-02-26 | 2017-11-01 | 京セラ株式会社 | 方向性結合器および高周波モジュール |
US20150287903A1 (en) * | 2014-04-07 | 2015-10-08 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
EP3443576B1 (en) | 2016-01-18 | 2024-05-22 | SnapRays, LLC, DBA Snappower | Current limited circuits |
-
2016
- 2016-02-12 DE DE102016102488.0A patent/DE102016102488A1/de active Pending
-
2017
- 2017-01-10 EP EP17700231.8A patent/EP3414785B1/de active Active
- 2017-01-10 WO PCT/EP2017/050412 patent/WO2017137195A1/de active Application Filing
- 2017-01-10 JP JP2018541385A patent/JP7049256B2/ja active Active
- 2017-01-10 US US16/077,424 patent/US11476407B2/en active Active
-
2020
- 2020-07-03 JP JP2020115710A patent/JP2020170868A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3766615A (en) * | 1969-09-09 | 1973-10-23 | Denki Onkyo Co Ltd | Method of polarizing piezoelectric elements |
JPS4984389A (ja) * | 1972-12-16 | 1974-08-13 | ||
JPH0974235A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 圧電トランス |
JP2000294849A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Hitachi Metals Ltd | 圧電トランス |
JP2009501409A (ja) * | 2005-07-14 | 2009-01-15 | ヨット・エー・プラズマコンサルト・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 大気圧プラズマを生成する装置 |
JP2015076420A (ja) * | 2013-10-04 | 2015-04-20 | 日本碍子株式会社 | 分極方向検査方法、分極方向検査装置及び圧電素子の製造方法 |
DE102014110405A1 (de) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11476407B2 (en) | 2022-10-18 |
US20190051813A1 (en) | 2019-02-14 |
EP3414785B1 (de) | 2021-09-22 |
JP2020170868A (ja) | 2020-10-15 |
WO2017137195A1 (de) | 2017-08-17 |
EP3414785A1 (de) | 2018-12-19 |
JP7049256B2 (ja) | 2022-04-06 |
DE102016102488A1 (de) | 2017-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6676614B2 (ja) | 圧電トランス | |
US8549715B2 (en) | Piezoelectric microspeaker and method of fabricating the same | |
JP2020170868A (ja) | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス | |
US11101426B2 (en) | Piezoelectric transformer | |
US20170318394A1 (en) | Electret Element, Microphone Having Electret Element Mounted Therein and Electret Element Manufacturing Method | |
CN106714434B (zh) | 成对电极共面放电等离子体发生装置 | |
JP6652641B2 (ja) | 圧電トランス | |
Hutsel et al. | Optimization of piezoelectric resonance effect in a piezoelectric transformer plasma source | |
JP2020170868A5 (ja) | ||
JP2012059858A (ja) | 静電吸着装置 | |
Hang et al. | Investigation of partial discharge in piezoelectric ceramics | |
JP6510263B2 (ja) | 複素誘電率測定方法 | |
JP2013201346A (ja) | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 | |
Laoratanakul et al. | Designing a radial mode laminated piezoelectric transformer for high power applications | |
Nadal et al. | First approach for the modelling of the electric field surrounding a piezoelectric transformer in view of plasma generation | |
JP6492902B2 (ja) | 構造体および接着部材 | |
KR101471770B1 (ko) | 압전-자성 마이크로 소자, 이를 포함하는 자기 센서 및 압전-자성 마이크로 소자의 제조 방법 | |
JP2001068752A (ja) | 圧電トランス | |
JPS5812729B2 (ja) | 圧電効果を有するエレクトレット装置及びその製法 | |
JP5495363B2 (ja) | エレクトレットコンデンサの製造方法及びその製造装置 | |
Hutsel | Characterization of a piezoelectric transformer plasma source | |
RU2410834C1 (ru) | Высокочастотный кварцевый резонатор | |
KR101340143B1 (ko) | 압전-자성 마이크로 소자, 이를 포함하는 자기 센서 및 압전-자성 마이크로 소자의 제조 방법 | |
Wang et al. | Modeling of electrostatic chuck and simulation of electrostatic force | |
Thakre et al. | Experimental non resonant piezoelectric transformer for high voltage measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200304 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20200703 |
|
C116 | Written invitation by the chief administrative judge to file amendments |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C116 Effective date: 20200714 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20200714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20200805 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20201208 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20210330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210630 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210713 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20210914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211214 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20220208 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220308 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20220308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7049256 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |