JP6652641B2 - 圧電トランス - Google Patents
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Description
この圧電トランスは、プラズマの発生、具体的には非熱大気圧プラズマの発生に使用することができる。
この圧電トランス1は、具体的には、非熱大気圧プラズマの発生用の装置に使用することができる。
2 : 入力領域
3 : 出力領域
4 : 電極
5 : 圧電材料
6 : 第1の側面
7 : 第2の側面
8 : 第1の外部電極
9 : 圧電材料
10 : 出力側の端面
11 : 側部の長手方向エッジ
12 : 端面のエッジ
13 : 最も長いエッジ
14 : 最も短いエッジ
L : 長手方向
S : 積層方向
Claims (15)
- プラズマを生成するための圧電トランス(1)であって、
1つの入力領域(2)および1つの出力領域(3)を備え、
前記入力領域(2)は、印加された交流電圧を機械的振動に変換するように構成されており、
前記出力領域(3)は、機械的振動を電圧に変換するように構成されており、
前記圧電トランス(1)は、1つの最も長いエッジ(13)および1つの最も短いエッジ(14)を備え、当該最も長いエッジ(13)は、最大で当該最も短いエッジ(14)の長さの20倍の長さとなっており、
前記最も短いエッジ(14)の長さに対する前記最も長いエッジ(13)の長さの比によって、前記最も長いエッジ(13)に沿った前記出力領域(3)におけるプラズマ点火を避けることができる、
ことを特徴とする圧電トランス。 - 前記最も長いエッジ(13)は、45mmより小さい長さを備えることを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記最も長いエッジ(13)は、35mmより小さい長さを備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の圧電トランス。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電トランスにおいて、
前記入力領域(2)の1つの第1の側面(6)上には、1つの第1の外部電極(8)が配設されており、
前記入力領域(2)の、前記第1の側面(6)の反対側にある1つの第2の側面(7)上には、1つの第2の外部電極が配設されており、
前記入力領域(2)は、積層方向(S)で上下に重なって積層された複数の圧電層(5)および複数の電極(4)を備え、当該複数の電極(4)は、当該積層方向(S)において前記第1の外部電極(8)かまたは前記第2の外部電極と交互に接続されており、
前記出力領域(3)は1つのモノリシックな圧電層(9)を備える、
ことを特徴とする圧電トランス。 - 前記最も長いエッジ(13)は、前記入力領域(2)から前記出力領域(3)まで延在していることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記最も短いエッジ(14)は、前記最も長いエッジ(13)に対して垂直であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は100kHzより高い共振周波数を備えることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記最も長いエッジ(13)は、最大で前記圧電トランス(1)の前記最も短いエッジ(14)の15倍の長さとなっていることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記最も短いエッジ(14)は、10mm〜1mmの長さを備えることを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記最も短いエッジ(14)の長さに対する前記最も長いエッジ(13)の長さの比によって、前記出力領域(3)における圧電材料の機械的応力を低減することができることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 前記最も短いエッジ(14)の長さに対する前記最も長いエッジ(13)の長さの比によって、オゾン発生の同等または改善された効率が実現されることを特徴とする、請求項1乃至10にいずれか1項に記載の圧電トランス。
- 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の圧電トランスを備えるプラズマ発生器。
- 前記圧電トランス(1)は、前記圧電トランスの前記出力領域(3)の端面と、前記圧電トランスの周囲との間に、プロセスガスをイオン化する強い電界を生成するために十分な高い電位差が発生するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、医療アプリケーションに使用されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
- 前記圧電トランス(1)は、プラズマ切断を用いた組織の切断に使用されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電トランス。
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