JP2009302585A - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ウエハWを載置する載置台74を取り囲み、下部にドレイン管77が接続したカップ体76を設ける。このカップ体76は筐体60内に収納されている。前記筐体60内において、ウエハWの搬入経路でありカップ体76の外部にアーム体53を洗浄するための洗浄ヘッド63と、載置台74の上方にウエハWを洗浄するためのシャワーヘッド71と、を設ける。前記洗浄ヘッド63は、アーム体53の進入方向に直交するように伸びており、その長手方向の長さはアーム体53の幅全体をカバーするように形成されている。前記洗浄ヘッド63及びシャワーヘッド71は、共通の洗浄液供給源64A及びパージガス供給源65Aに接続されている。
【選択図】図5
Description
なお、本明細書では基板を搬送する搬送機構において基板に接触して当該基板を保持する部分をアーム体、当該アーム体を支持して移動させる部分を搬送基体と記載し、アーム体及び搬送基体が含まれた搬送機構を搬送アームと記載する。
載置台74の周囲には、例えば3本のピン75が昇降部材75aを介して駆動機構75bにより昇降できるように設けられている。ピン75を昇降させることで、アーム体53と載置台74との間でウエハWを受け渡すことができる。また当該載置台74を囲むようにカップ体76が設けられており、カップ体76の下部はドレイン管77に連通している。このドレイン管77は前記ドレイン管67と連通しており、その端部はバルブ77aを介して例えばエジェクターポンプなどの吸引手段78に接続されている。
また搬送アーム5は、露光装置B4からのウエハWの受け取りと露光装置B4へのウエハWの受け渡しとを別々のアーム体53(54)で行っている。即ち搬送アーム5に備えられたアーム体54は既述の液浸露光を受けたウエハWの保持には関与しないため、当該搬送アーム5は処理部B2から搬送されたウエハWに対して液滴やパーティクルを付着させることなく露光装置B4に搬送することができる。従って露光装置B4におけるパーティクルの蓄積をより確実に抑えることができる。
B2 処理部
B3 インターフェイス部
B4 露光装置
3A 3B 搬送室
3C 湿度制御ユニット
33 5 7 8 搬送アーム
6 洗浄ユニット
Claims (1)
- 基板の表面に塗布液を塗布する塗布ユニット及び露光された後の基板に現像液を供給して現像する現像ユニットが設けられた処理ブロックと、基板の表面に液層を形成して液浸露光を行う露光装置に接続されるインターフェイス部と、このインターフェイス部に設けられた基板搬送機構と、を備えた塗布、現像装置に組み込まれ、液浸露光後の基板に洗浄処理を行う洗浄装置において、
開閉自在なシャッタを有する搬送口を備えた筐体と、
基板を水平に保持するための載置台と、
この載置台を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記載置台を囲むようにして設けられ、底部に廃液管が接続されたカップ体と、
前記筐体内で前記搬送口の長手方向に前記基板搬送機構の進入する上方に位置するように設けられ、洗浄装置に基板を搬出入するための基板搬送機構へ洗浄液を供給するための第1のノズルと、
カップ体の上方に設けられ、載置台に保持された基板の表面へ洗浄液を供給するための第2のノズルと、
カップ体の外方に設けられ、第1のノズルより供給される洗浄液を回収するための回収部と、
を備え、前記第1のノズルは、基板搬送機構に基板を保持しない状態で当該基板搬送機構を前記搬送口から進入させながら、洗浄液を供給して洗浄することを特徴とする洗浄装置。
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