JP2009294449A - 気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 - Google Patents
気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009294449A JP2009294449A JP2008148200A JP2008148200A JP2009294449A JP 2009294449 A JP2009294449 A JP 2009294449A JP 2008148200 A JP2008148200 A JP 2008148200A JP 2008148200 A JP2008148200 A JP 2008148200A JP 2009294449 A JP2009294449 A JP 2009294449A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- wiring
- groove
- airtight container
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 113
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003445 palladium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JQPTYAILLJKUCY-UHFFFAOYSA-N palladium(ii) oxide Chemical compound [O-2].[Pd+2] JQPTYAILLJKUCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/04—Electrodes; Screens
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/16—Vessels; Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/18—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J17/186—Seals between leading-in conductors and vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/04—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/861—Vessels or containers characterised by the form or the structure thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/90—Leading-in arrangements; Seals therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/32—Sealing leading-in conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/179—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
- H10K59/8722—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/02—Electrodes other than control electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8605—Front or back plates
- H01J2329/861—Front or back plates characterised by the shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/90—Leading-in arrangements; seals therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
【解決手段】 配線が、溝の内部に配置された部分から連続し、溝の外部に配置された部分を有しており、第1基板と第2基板は、配線の溝の外部に設けられた部分の上に、配線と交差して設けられた接合部材を介して接合する。
【選択図】 図3
Description
用意する基板1は対向する第1の主面と第2の主面とを備える。基板1としては絶縁性材料であれば特に限定されるものではない。例えば、ガラス基板を用いることができる。
例えば、スクリーン印刷法を用いて配線3を設ける場合には、配線材料として導電性ペースト(例えば金属粒子を含有したペーストである金属ペースト)を用いる。そして、これを溝2に充填しながら、第2領域上に連続して導電性ペーストを印刷する。その後、80〜120℃で加熱することで導電性ペースト中の溶剤の蒸発乾燥を行なう。その後400〜500℃で焼成を行って配線3を設ける。このときペーストに含有されている少量のガラスフリット成分により、領域11においては基板2の表面と配線3とが密着し、領域10においては溝2の内壁と配線3とが密着する。この工程により、溝2の内部に配置された部分から連続し、溝2の外部に配置された部分を有する配線3が形成できる。
換言すると、第2領域11上においては、少なくとも、第2領域11に位置する配線3の一部の上に、配線3と交差するように接合部材を設ける。接合部材4としては、ガラスフリットに限定されるものではなく、種々の接合部材を用いることができる。但し、気密容器を形成する場合には、接合部材には、接着性とシール性(気密性)を併せ持つことが求められる。また、領域11において、それぞれの配線3の一部は、接合部材4で埋め込まれた状態とすることが好ましい。即ち、配線の上面と側面とを接合部材4で覆う形態とすることが好ましい。
枠5の材料は特に制限はないが、配線3間の短絡を回避するため等の理由から絶縁性の部材(例えばガラス)であることが好ましい。
接合部材4がガラスフリットである場合には、ガラスフリット上に枠5を配置し、その後、400〜500℃で加熱して、ガラスフリット4を介して枠5と基板1とを固着する。
縦300mm×横350mm、厚さ2.8mmのガラス基板1上の表面にスパッタ法によりPt膜を厚さ40nmに全面成膜する。続いて、フォトリソグラフィ法によりパターニングを行い、表面伝導型電子放出素子15を構成する第1電極21と第2電極22とを多数形成する。このようにして基板1をまず用意する(図2(A)参照)
(工程2)
続いて、サンドブラスト用レジストをフォトリソグラフィ法によりパターン形成する。そして、サンドブラスト法によりレジスト被覆されていない部分の基板1の表面を削り取ることにより、複数の溝2と、第1領域10の外周部を掘り下げて第2領域11を形成する(図2(B)参照)。本実施例において溝2の幅は280μm、深さは中心部で60μmとした。
スクリーン印刷法により導電性ペースト(Agペースト)を各溝2内部へ落とし込むように印刷する。その後90℃で10分の溶剤乾燥を行い480℃20分で大気焼成を行い第1配線3を形成する(図2(C)参照)。Agの充填量は焼成後に配線3の厚みが溝2の深さと同程度となるように調整した。
酸化ビスマスを主成分とする絶縁ペーストをスクリーン印刷法によりパターン形成し、厚さ30μmで配線3と後に形成する直行する第2配線40との交差部を絶縁するための絶縁層50を設ける(図5(B)参照)。絶縁層50は、絶縁ペーストを印刷後90℃で10分の溶剤乾燥を行い、その後温度500℃20分で大気焼成を行なう。
スクリーン印刷により導電性ペースト(Agペースト)をパターン印刷し、第1配線3と直交する方向に第2配線40を形成する(図5(B)参照)。この時、第2配線40は絶縁層50により第1配線3と絶縁された状態で交差し、電子放出素子15を構成する第1電極21の一端と接続されるよう形成する。配線40は本実施例で幅40μm、厚さ10μmとした。
続いて、電子放出素子15を構成する導電性膜23を形成する。導電性膜23はインクジェット方により有機パラジウム含有溶液を第1電極21と第2電極22とを接続するように付与した後、焼成することで形成する。形成された導電性膜23は、酸化パラジウム膜である。
その後、基板100を真空チャンバー内に移設し、配線3及び配線40を介して導電性膜23に通電処理する事により、導電性膜23の一部に間隙を形成する。以上の工程で、各々の電子放出素子15に第1配線3と第2配線40とが接続された電子源基板が形成される(図5)。
第2領域11上に第1領域10を取り囲む様に、ガラスフリットからなる第1接合部材4を設ける(図2(D))。スクリーン印刷法により、第1領域10を取り囲む様にガラスフリットを印刷し、80〜120℃の溶剤乾燥後300℃程度の仮焼成により配線3および配線40上、並びに基板1上へ固着させる。
接合部材4上にガラス枠5を配置する(図2(E))。
ガラスフリット4上に枠5を配置し、その後、400〜500℃で加熱して、ガラスフリット4を介して枠5と基板1とを接合する。
第2基板31を用意し、第2基板31の第1基板1に対向させる面上に、インジウムからなる第2接合部材41を設ける。そして、第2接合部材41が設けられた第2基板31を、枠5上に載置し、真空チャンバー内で加熱することでインジウムを溶融させ、枠5と第2基板31とを接合させる(図2(F))。尚、第2基板31上には、蛍光体膜とメタルバックを予め設けておく。以上の工程によって、内部空間90が真空に維持された気密容器(ディスプレイパネル)101が形成される。そして、この気密容器101の配線(3、40)およびメタルバックに、周知の駆動回路や電源を接続することで画像表示装置(フラットパネルディスプレイ)が形成される。
2 溝
3 配線
4 接合部材
Claims (8)
- 表面に延在する溝と配線とを有する第1基板と、該第1基板と対向して配置された第2基板とが接合部材を用いて接合されてなる気密容器であって、
前記配線は、前記溝に沿って前記溝の内部に配置された部分と、前記溝の内部に配置された部分と連続し、前記溝の外部に配置された部分とを備えており、
前記第1基板と前記第2基板は、前記配線の前記溝の外部に設けられた前記部分の上に、前記配線と交差して設けられた前記接合部材を介して接合されている、ことを特徴とする気密容器。 - 前記第1基板と前記第2基板との間に、前記第2基板に接合された枠が配置されており、該枠は前記接合部材を介して前記第1基板に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の気密容器。
- 前記第1基板の前記表面は第1領域と該第1領域を取り囲む第2領域とを備えており、前記溝が前記第1領域内のみに設けられており、前記接合部材が前記第2領域内に、前記第1領域を取り囲むように設けられており、前記配線が前記第1領域と前記第2領域に跨って延在している、ことを特徴とする請求項1または2に記載の気密容器。
- 気密容器を備えた画像表示装置であって、前記気密容器が請求項1乃至3のいずれか1項に記載の気密容器であることを特徴とする画像表示装置。
- 表面に延在する溝と配線とを有する第1基板と、該第1基板と対向して配置された第2基板と、を備えた気密容器の製造方法であって、
表面に延在する溝を備える第1基板を用意し、該溝の内部から該溝の外部まで延在する配線を形成する工程と、
前記配線と交差するように、前記配線の前記溝の外部に位置する部分の上に、接合部材を設ける工程と、
前記接合部材を介して、前記第1基板と前記第2基板を接合する工程と、
を有することを特徴とする気密容器の製造方法。 - 前記気密容器の製造方法は、更に、前記第2基板に枠を接合する工程と、該枠を前記接合部材を介して前記第1基板に接合する工程とを有することを特徴とする請求項5に記載の気密容器の製造方法。
- 前記配線は、導電性ペーストを前記溝に印刷法を用いて配置することにより形成されることを特徴とする請求項5または6に記載の気密容器の製造方法。
- 気密容器を備えた画像表示装置の製造方法であって、前記気密容器が請求項5乃至7のいずれか1項に記載の製造方法により製造されることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008148200A JP2009294449A (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 |
US12/475,965 US7928645B2 (en) | 2008-06-05 | 2009-06-01 | Airtight container and display device using the airtight container, and manufacturing method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008148200A JP2009294449A (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009294449A true JP2009294449A (ja) | 2009-12-17 |
JP2009294449A5 JP2009294449A5 (ja) | 2011-06-30 |
Family
ID=41399676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008148200A Withdrawn JP2009294449A (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7928645B2 (ja) |
JP (1) | JP2009294449A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009123421A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Canon Inc | 気密容器の製造方法 |
JP5590935B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-09-17 | キヤノン株式会社 | 気密容器の製造方法 |
JP2011210430A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Canon Inc | 気密容器の製造方法 |
JP2011210431A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Canon Inc | 気密容器の製造方法 |
JP2012059401A (ja) | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Canon Inc | 気密容器の製造方法 |
JP5627370B2 (ja) | 2010-09-27 | 2014-11-19 | キヤノン株式会社 | 減圧気密容器及び画像表示装置の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09277586A (ja) | 1996-04-08 | 1997-10-28 | Canon Inc | 電子源、画像形成装置及びその製造方法 |
JP3195547B2 (ja) | 1996-11-11 | 2001-08-06 | 松下電器産業株式会社 | 真空封止電界放出型電子源装置及びその製造方法 |
JP4058187B2 (ja) | 1999-02-25 | 2008-03-05 | キヤノン株式会社 | 電子源基板、画像表示装置及び電子源基板の製造方法 |
JP2006066337A (ja) | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Canon Inc | 配線基板、電子源、画像表示装置、情報表示再生装置及びそれらの製造方法 |
JP2007335241A (ja) | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Canon Inc | 配線基板、電子源、画像表示装置及び画像再生装置 |
-
2008
- 2008-06-05 JP JP2008148200A patent/JP2009294449A/ja not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-06-01 US US12/475,965 patent/US7928645B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090302734A1 (en) | 2009-12-10 |
US7928645B2 (en) | 2011-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5057007B2 (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
JP2009294449A (ja) | 気密容器並びに該気密容器を用いた画像表示装置およびそれらの製造方法 | |
JP2000260359A (ja) | 画像形成基板、電子源基板、及び画像形成装置 | |
WO2004090930A1 (ja) | 画像表示装置および画像表示装置に用いるスペーサアッセンブリの製造方法 | |
US7981240B2 (en) | Method for making vacuum airtight container | |
JP4006440B2 (ja) | 気密容器の製造方法、画像表示装置の製造方法、テレビジョン装置の製造方法 | |
TW200301503A (en) | Image display device and the manufacturing method thereof | |
JP2003308798A (ja) | 画像表示装置および画像表示装置の製造方法 | |
JP2005197050A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP2005235452A (ja) | 表示装置 | |
JP2006093057A (ja) | 基板処理装置、および表示装置の製造装置 | |
JPH11135041A (ja) | 真空気密容器、表示素子およびパワー素子 | |
WO2006025175A1 (ja) | 表示装置 | |
JP2000251655A (ja) | 配線構造及びこれを用いた画像表示装置 | |
TW484167B (en) | Image display device and its manufacturing method | |
TWI262526B (en) | Image display device and its manufacturing method | |
JP2006093058A (ja) | 基板反転機構、および表示装置の製造装置 | |
JPH11213922A (ja) | 平面型表示装置およびその製造方法 | |
JP2007048468A (ja) | 表示装置 | |
JP2005317344A (ja) | 表示装置の製造方法、および封着材充填装置 | |
JP2010032616A (ja) | フラットパネルディスプレイ、フラットパネルディスプレイの製造方法、および塗布装置 | |
JP2007234446A (ja) | 表示装置用真空容器 | |
JP2009059532A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2003297267A (ja) | 冷陰極発光素子およびその製造方法、画像表示装置 | |
JP2006181401A (ja) | 塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110512 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110512 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20110621 |