JP2009283522A - Tftの製造方法及びtft - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性及びトランジスタ特性が向上するTFTの製造方法及びTFTを提供すること。
【解決手段】本発明にかかるTFTの製造方法では、レーザー光10を非晶質半導体膜に対して照射し、ゲート電極2によって反射させて再度非晶質半導体膜に照射する。これにより、ゲート絶縁膜3との界面部の非晶質半導体膜を結晶性を有する微結晶半導体膜4に変換する。そして、不純物濃度がゲート電極2とは反対側からゲート電極2側に向かって連続的に単調減少するように、微結晶半導体膜4に対して不純物元素11を注入する。
【選択図】図3
【解決手段】本発明にかかるTFTの製造方法では、レーザー光10を非晶質半導体膜に対して照射し、ゲート電極2によって反射させて再度非晶質半導体膜に照射する。これにより、ゲート絶縁膜3との界面部の非晶質半導体膜を結晶性を有する微結晶半導体膜4に変換する。そして、不純物濃度がゲート電極2とは反対側からゲート電極2側に向かって連続的に単調減少するように、微結晶半導体膜4に対して不純物元素11を注入する。
【選択図】図3
Description
本発明は、TFTの製造方法及びTFTに関する。
従来からの一般的な薄型パネルのひとつである液晶表示装置(以下、LCD)は、低消費電力や小型軽量といったメリットを活かしてパーソナルコンピュータのモニターや携帯情報端末機器のモニターなどに広く用いられている。また近年ではブラウン管に代わってTV用途としても広く用いられるようになった。さらに、LCDで問題となる視野角やコントラストの制限や、動画対応の高速応答への追従が困難といった問題点をクリアした自発光型の電界発光型EL表示装置も、次世代の薄型パネル用デバイスとして用いられるようになってきている。電界発光型EL表示装置は、EL素子のような発光体を画素表示部に用い、広視野角、高コントラスト、高速応答等、LCDにはない特徴を有する。
このような表示装置に用いられる薄膜トランジスタ(以下、TFT)としては、半導体膜を用いたMIS構造が多用される。TFTには、逆スタガ型やトップゲート型といった種類がある。また、半導体膜にも非晶質半導体膜や多結晶半導体膜がある。これらは、表示装置の用途や性能により適宜選択される。非晶質半導体膜を用いてTFTを形成する場合、トランジスタ特性のドレイン電流(オン電流)は小さいものの、基板上に形成するTFTの特性ばらつきを小さく形成することが可能である。しかし、駆動条件によっては閾値電圧が変動するなど信頼性の点で問題がある。
一方、移動度の大きな結晶性を有する半導体膜を用いてTFTを形成する場合、基板上に駆動回路を形成することができる。このため、単結晶半導体を用いた外付けのIC点数を減らすことができる利点がある。多結晶半導体膜を用いたTFTについては、例えば特許文献1、2に開示されている。多結晶半導体膜の作成方法としては、まず下地膜として形成された酸化珪素膜等の上層に非晶質半導体膜を形成する。その後、レーザー光を照射することにより、半導体膜を多結晶化する方法が知られている(例えば特許文献1参照)。このように、形成された多結晶半導体膜では、約0.2〜1.0μm程度のランダムな大きさを有する結晶が配列した構造をとる。このように様々な結晶粒径を有する多結晶半導体膜を用いて、TFTを形成する場合、TFTを配置する場所によってチャネル内に存在する結晶粒のサイズや数が異なる。これにより、トランジスタ特性が左右され、特性ばらつきを発生させる要因となっていた。このような特性ばらつきを有するTFTを画素内や周辺駆動回路に使用した場合、各画素に書き込む電圧や電流にばらつきが発生する。これが表示ムラとなって視認されることとなり、表示特性を低下させる。
また、最近では、非晶質半導体膜や多結晶半導体膜の代わりに微結晶半導体膜をチャネルに使用する研究がなされている。これにより、上記のランダムなばらつきを有する結晶粒サイズを均一にし、トランジスタ特性ばらつきを低減するとともに、信頼性を向上させることができる。微結晶半導体膜の形成方法としては、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法により堆積する方法が知られている(例えば特許文献3参照)。そして、このように形成された微結晶シリコンを半導体層に使用したトップゲート型のTFTを作成している(例えば特許文献3参照)。
このような方法で形成した微結晶半導体膜を用いてTFTを作製した場合には、チャネル内に存在する結晶粒のサイズや数を均一にすることが可能となる。これにより、ドレイン電流(オン電流)は多結晶シリコンを使用したTFTより小さくなるものの、トランジスタ特性のばらつきを低減することができると考えられる。またチャネル領域を結晶性の半導体膜としていることで、非晶質半導体中の弱接合起因の信頼性低下を抑制することができると考えられる。
特開2003−17505号公報
特開平5−335580号公報
特開平8−97436号公報
しかしながら、微結晶を半導体層に使用したトップゲート型TFTは、逆スタガ型TFTより製造工程が多く、製造コストが高いという欠点がある。そこで、微結晶を半導体層に使用した逆スタガ型TFTが開発されている。この微結晶半導体膜を用いた逆スタガ型TFTは、従来の非晶質半導体を半導体層に使用したTFTの非晶質半導体を微結晶半導体に置き換えた構造をしている。このため、製造工程が従来の非晶質半導体TFTとほぼ同じであり、さらに既存の非晶質半導体TFTの製造工場を使用できる利点を有する。
しかし、従来のプラズマCVD法により形成される半導体膜は、膜の上方では微結晶もしくは微結晶と非晶質の混在状態となっているが、膜の初期層は非晶質となっている。従って、逆スタガ型の薄膜トランジスタ構造をとる場合は、チャネルとなるゲート絶縁膜近傍が非晶質半導体膜になってしまう。このため、トランジスタ特性が向上せず、また半導体層中の弱接合起因による閾値電圧シフトが発生し、ゲートドライバなどの周辺駆動回路が正常に動作しなくなる。
本発明は、上記の問題を鑑みるためになされたものであり、生産性及びトランジスタ特性が向上するTFTの製造方法及びTFTを提供することを目的とする。
本発明にかかるTFTの製造方法は、絶縁性基板上に、反射性を有する材料によりゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極上に、ゲート絶縁膜を成膜する工程と、前記ゲート絶縁膜上に、非晶質半導体膜を成膜する工程と、レーザー光を前記非晶質半導体膜に対して照射し、前記ゲート電極によって反射させて再度前記非晶質半導体膜に照射することにより、前記ゲート絶縁膜との界面部の前記非晶質半導体膜を結晶性を有する半導体膜に変換する工程と、不純物濃度が前記ゲート電極とは反対側から前記ゲート電極側に向かって連続的に単調減少するように、前記半導体膜に対して不純物元素を注入する工程と、不純物元素を注入された前記半導体膜上に、ソース・ドレイン電極を形成する工程とを備える方法である。
本発明にかかるTFTは、反射性を有する材料により形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成され、前記ゲート絶縁膜との界面部が結晶化され、前記ゲート電極とは反対側から前記ゲート電極側に向かって、不純物濃度が連続的に単調減少するように不純物元素が注入された半導体膜と、前記半導体膜上に形成されたソース・ドレイン電極とを備えるものである。
本発明によれば、生産性及びトランジスタ特性が向上するTFTの製造方法及びTFTを提供することができる。
実施の形態.
始めに、図1を参照して、本実施の形態にかかる表示装置を構成するTFT基板について説明する。図1は、表示装置に用いられるTFT基板の構成を示す正面模式図である。以下、表示装置としては、アクティブマトリクス型の液晶表示装置を例として説明するが、あくまでも例示的なものである。もちろん、表示装置として、有機EL表示装置等の他の平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ)等に用いることも可能である。
始めに、図1を参照して、本実施の形態にかかる表示装置を構成するTFT基板について説明する。図1は、表示装置に用いられるTFT基板の構成を示す正面模式図である。以下、表示装置としては、アクティブマトリクス型の液晶表示装置を例として説明するが、あくまでも例示的なものである。もちろん、表示装置として、有機EL表示装置等の他の平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ)等に用いることも可能である。
液晶表示装置は、TFT基板100を有している。TFT基板100は、例えば、薄膜トランジスタ(TFT)108がアレイ状に配列したTFTアレイ基板である。TFT基板100には、表示領域101と表示領域101を囲むように設けられた額縁領域102とが設けられている。この表示領域101には、複数のゲート配線(走査信号線)110、複数の保持容量配線(不図示)、及び複数のソース配線(表示信号線)111が形成されている。複数のゲート配線110及び複数の保持容量配線は、平行に設けられている。保持容量配線は、隣接するゲート配線110間にそれぞれ設けられている。すなわち、ゲート配線110と保持容量配線とは、交互に配置されている。そして、複数のソース配線111は平行に設けられている。ゲート配線110とソース配線111とは互いに交差するように形成されている。同様に、保持容量配線とソース配線111とは互いに交差するように形成されている。ゲート配線110とソース配線111とは直交している。同様に、保持容量配線とソース配線111とは直交している。そして、隣接するゲート配線110と隣接するソース配線111とで囲まれた領域が画素105となる。すなわち、保持容量配線は、画素105を横断するように形成されている。TFT基板100では、画素105がマトリクス状に配列される。
さらに、TFT基板100の額縁領域102には、走査信号駆動回路103と表示信号駆動回路104とが設けられている。ゲート配線110は、表示領域101から額縁領域102まで延設されている。そして、ゲート配線110は、TFT基板100の端部で、走査信号駆動回路103に接続される。ソース配線111も同様に表示領域101から額縁領域102まで延設されている。そして、ソース配線111は、TFT基板100の端部で、表示信号駆動回路104と接続される。走査信号駆動回路103の近傍には、外部配線106が接続されている。また、表示信号駆動回路104の近傍には、外部配線107が接続されている。外部配線106、107は、例えば、FPC(Flexible Printed Circuit)などの配線基板である。
外部配線106、107を介して走査信号駆動回路103、及び表示信号駆動回路104に外部からの各種信号が供給される。走査信号駆動回路103は外部からの制御信号に基づいて、ゲート信号(走査信号)をゲート配線110に供給する。このゲート信号によって、ゲート配線110が順次選択されていく。表示信号駆動回路104は外部からの制御信号や、表示データに基づいて表示信号をソース配線111に供給する。これにより、表示データに応じた表示電圧を各画素105に供給することができる。なお、走査信号駆動回路103と表示信号駆動回路104は、TFT基板100上に配置される構成に限られるものではない。例えば、TCP(Tape Carrier Package)により駆動回路を接続してもよい。
画素105内には、少なくとも1つのTFT108と、TFT108と接続された保持容量109とが形成されている。TFT108はソース配線111とゲート配線110の交差点近傍に配置される。例えば、このTFT108が画素電極に表示電圧を供給するためのスイッチング素子となる。TFT108のゲート電極はゲート配線110に接続され、ゲート端子から入力されるゲート信号によってTFT108のONとOFFを制御している。TFT108のソース電極はソース配線111に接続されている。ゲート電極に電圧が印加され、TFT108がONされると、ソース配線111から電流が流れるようになる。これにより、ソース配線111から、TFT108のドレイン電極に接続された画素電極に表示電圧が印加される。そして、画素電極と、対向電極との間に、表示電圧に応じた電界が生じる。
一方、保持容量109は、TFT108だけでなく、保持容量配線を介して対向電極とも電気的に接続されている。従って、保持容量109は、画素電極と対向電極との間の容量と並列接続されていることになる。保持容量109は、対向配置される電極間に誘電体絶縁膜を形成して構成される。そして、保持容量109によって画素電極に印加される電圧を一定時間保持することができる。TFT基板100の表面には、配向膜(不図示)が形成される。TFT基板100は、以上のように構成される。
さらに、液晶表示装置の場合、TFT基板100には、対向基板が対向して配置されている。対向基板は、例えばカラーフィルタ基板であり、視認側に配置される。対向基板には、カラーフィルタ、ブラックマトリクス(BM)、対向電極、及び配向膜等が形成されている。なお、例えば、IPS方式の液晶表示装置の場合、対向電極は、TFT基板100側に配置される。そして、TFT基板100と対向基板との間に液晶層が挟持される。すなわち、TFT基板100と対向基板との間には液晶が注入されている。さらに、TFT基板100と対向基板との外側の面には、偏光板、及び位相差板等などが設けられる。また、以上のように構成された液晶表示パネルの反視認側には、バックライトユニット等が配設される。
画素電極と対向電極との間の電界によって、液晶が駆動される。すなわち、基板間の液晶の配向方向が変化する。これにより、液晶層を通過する光の偏光状態が変化する。すなわち、偏光板を通過して直線偏光となった光は液晶層によって、偏光状態が変化する。具体的には、バックライトユニットからの光及び外部から入射した外光は、TFT基板100側の偏光板によって直線偏光になる。そして、この直線偏光が液晶層を通過することによって、偏光状態が変化する。
従って、偏光状態によって、対向基板側の偏光板を通過する光量が変化する。すなわち、バックライトユニットから液晶表示パネルを透過する透過光のうち、視認側の偏光板を通過する光の光量が変化する。液晶の配向方向は、印加される表示電圧によって変化する。従って、表示電圧を制御することによって、視認側の偏光板を通過する光量を変化させることができる。すなわち、画素毎に表示電圧を変えることによって、所望の画像を表示することができる。また、TFT基板100上に形成された素子面積が小さいほど、バックライトユニットからの光を透過することができる。このため、輝度が高く、またバックライトユニットの光量を低減することができ、消費電力の低減にもつながる。なお、これら一連の動作で、保持容量109においては画素電極と対向電極との間の電界と並列に電界を形成させることにより、表示電圧の保持に寄与する。
次に、図2を参照して、TFT基板100の表示領域に設けられた画素スイッチング用のTFT108の構成について説明する。図2は、本実施の形態にかかる表示装置における画素スイッチング用のTFT108の構成を示す断面模式図である。ここでは、逆スタガ型の微結晶シリコンTFT(μc−Si TFT)の構成について説明する。
絶縁性基板1上に、ゲート電極2が形成される。ゲート電極2には、ゲート配線110を介してゲート信号が入力され、TFT108のONとOFFとを制御している。また、絶縁性基板1としては、ガラスや石英基板等の透明絶縁性基板を用いることができる。ゲート電極2としては、高反射率を有する材料が用いられる。具体的には、Alを主成分とした金属膜(合金膜)を用いることができる。そして、ゲート電極2を覆うように、ゲート絶縁膜3が形成される。ゲート絶縁膜3としては、透過性の無機絶縁膜であるシリコン窒化膜(SiN膜)、シリコン酸化膜(SiO膜)が順次積層された積層膜を用いる。そして、ゲート絶縁膜3上に、結晶性を有する半導体膜としての微結晶半導体膜4が形成される。具体的には、ゲート絶縁膜3のSiO膜と微結晶半導体膜4とが接する。また、ゲート電極2と微結晶半導体膜4とがゲート絶縁膜5を介して対向配置される。微結晶半導体膜4としては、微結晶シリコン(μc−Si)膜を用いることができる。
微結晶半導体膜4には、不純物元素が注入されている。また、微結晶半導体膜4における不純物濃度は、ゲート電極2とは反対側からゲート電極2側に向かって、連続的に単調減少している。換言すると、不純物濃度は、後述するソース・ドレイン電極5、6との界面が最も高く、ゲート絶縁膜3に向かうにつれて連続的に単調減少する。すなわち、微結晶半導体膜4の厚み方向(深さ方向)に濃度勾配を有する。また、ゲート電極2上において、微結晶半導体膜4の中央部は、膜厚が薄くなっている。すなわち、この中央部では、高濃度に不純物元素が注入された微結晶半導体膜4上層が除去され、チャネル領域4bとなる。また、チャネル領域4bを挟んで、ソース・ドレイン領域4a、4cが対向配置される。すなわち、ソース・ドレイン領域4a、4cは、微結晶半導体膜4の両端に形成される。ソース・ドレイン領域4a、4cは、不純物元素を含む導電性領域である。
このように、微結晶半導体膜4は、TFT108において、ソース領域4a、ドレイン領域4c、及びチャネル領域4bを有する。ソース・ドレイン領域4a、4cは、チャネル領域4bより低抵抗となっている。ここで、チャネル領域4bとは、ゲート電極2にゲート電圧を印加した際に、チャネルが形成される領域を示す。これにより、ゲート電極2にゲート電圧を印加すると、チャネル領域4bのゲート絶縁膜3近傍には、チャネルが形成される。そして、ソース領域4aとドレイン領域4cとの間に所定の電圧を与えた状態でゲート電圧を印加すると、ソース領域4aとドレイン領域4cの間にはゲート電圧に応じたドレイン電流が流れる。
そして、微結晶半導体膜4上にソース・ドレイン電極5、6が形成される。微結晶半導体膜4とソース・ドレイン電極5、6とは接している。具体的には、微結晶半導体膜4のソース領域4a上に、ソース電極5が形成される。そして、微結晶半導体膜4のドレイン領域4c上に、ドレイン電極6が形成される。ソース電極5には、ソース配線111を介して表示信号が供給される。ここで、ソース電極5は、ソース配線111と一体となって形成されてもよい。そして、ドレイン電極6及びソース電極5を介してTFT108のソース−ドレイン電圧が印加される。
そして、ソース電極5とドレイン電極6を覆うように、層間絶縁膜7が形成される。ドレイン電極6上の層間絶縁膜7には、コンタクトホール8が形成される。層間絶縁膜7上には、画素電極9が形成される。画素電極9は、コンタクトホール8に充填され、ドレイン電極6と接続される。すなわち、コンタクトホール8を介して、画素電極9とドレイン電極6とが電気的に接続される。そして、画素電極9によって、液晶や自発光材料等の電気光学材料(不図示)に電圧が印加されることにより表示が行われる。本実施の形態にかかるTFT基板100のTFT108は、以上のような構成である。
本実施の形態にかかるTFT108には、結晶性を有する微結晶半導体膜4が形成される。具体的には、微結晶半導体膜4は、チャネルとなる、ゲート絶縁膜3との界面部が結晶化されている。このため、ドレイン電流が高く、信頼性の良好なTFT108が得られる。また、微結晶半導体膜4を用いているため、チャネル内に存在する結晶粒のサイズや数を均一にすることができる。そして、トランジスタ特性のばらつきを抑えることができる。さらに、微結晶半導体膜4は、ソース・ドレイン電極5、6との界面に高濃度の不純物元素を含む。このため、良好なオーミックコンタクト特性が得られる。また、微結晶半導体膜4は、厚み方向に連続的に単調減少する不純物元素濃度を有する。すなわち、急峻な濃度変化は発生しないため、電界集中が抑制され、信頼性を向上することができる。
次に、図3を参照して、本実施の形態におけるTFT108の製造方法について説明する。図3は、本実施の形態にかかるTFT108の製造方法を示す断面模式図である。
まず、ガラス基板や石英基板などの光透過性を有する絶縁性基板1上に、DCマグネトロンスパッタ法を用いて、反射性を有する導電膜を成膜する。本実施の形態においては、絶縁性基板1としては、無アルカリガラス基板を用いる。また、導電膜としては、アルミニウムを主成分とする金属膜(合金膜)を用いる。本実施の形態では、導電膜として、アルミニウムにニッケルとネオジムを所定量添加した合金膜を用いる。これにより、耐熱性が向上し、後に照射されるレーザー光による変形等のダメージを軽減することができる。そして、この合金膜をおよそ200nmの膜厚に成膜する。
そして、導電膜上に、感光性樹脂であるフォトレジストをスピンコートによって塗布し、塗布したレジストを露光、現像する従前の写真製版法を行う。これにより、所望の形状にフォトレジストがパターニングされる。その後、フォトレジストをマスクとして、導電膜をウェットエッチングし、所望の形状にパターニングする。その後、フォトレジストパターンを除去する。これにより、ゲート電極2が形成される。本実施の形態では、ウェットエッチングのエッチング液として、リン酸を主成分とする薬液を用いる。なお、ゲート電極2の端面はテーパー形状とすることが望ましい。テーパー形状とすることにより、後に成膜するゲート絶縁膜3の被覆性が向上する。そして、絶縁膜耐圧が向上するという効果を奏する。以上の工程により、図3(a)に示す構成となる。
次に、形成したゲート電極2の上に、プラズマCVD法を用いてゲート絶縁膜3を成膜する。また、ゲート絶縁膜3としては、後述するレーザー光10が透過する材料を用いる。本実施の形態では、ゲート絶縁膜3として、窒化シリコン膜(SiN膜)、酸化シリコン膜(SiO膜)が順次積層された積層膜を用いる。具体的には、まず、SiN膜をおよそ300nmの膜厚に成膜する。そして、SiN膜上に、SiO膜をおよそ100nmの膜厚に成膜する。なお、ゲート絶縁膜3の膜厚は上記膜厚に限るものではなく、絶縁耐圧や絶縁膜容量などを勘案して決定すればよい。また、後に成膜される半導体膜との界面をSiO膜としているため、界面への電荷蓄積が低減され、閾値電圧の変動を抑制することができる。
その後、ゲート絶縁膜3の上に、非晶質半導体膜をプラズマCVD法により成膜する。本実施の形態では、非晶質半導体膜として非晶質シリコン(a−Si)膜を用いる。そして、a−Si膜をおよそ150nmの膜厚に成膜する。プラズマCVD法にて成膜した非晶質半導体膜は、膜中に水素が多量に含有される。このため、この水素を低減するための処理として、高温中でアニールしておくことが好ましい。本実施の形態では窒素雰囲気の低真空状態で保持したチャンバ内を400℃に加熱し、非晶質半導体膜を成膜した基板を30分間保持する。このような処理を行っておくことにより、非晶質膜を結晶化する際の温度上昇に伴う水素の急激な脱離による半導体膜表面の荒れを抑制することが可能となる。
次に、非晶質半導体膜に対して窒素などの不活性ガスを吹き付けて、非晶質半導体膜の表面の酸素濃度を低下させる。この状態でレーザー光10を非晶質半導体膜に照射する。レーザー光10は、非晶質半導体膜のゲート電極2とは反対側から照射される。この際、レーザー光10は所定の光学系を通して線状のビーム形状に成型された後、非晶質半導体膜に照射される。そして、非晶質半導体膜に対して1回の走査を行うことにより、非晶質半導体膜は溶融し、結晶性を有する微結晶半導体膜4となる。レーザー光10としては、パルスレーザー光を用いる。また、レーザー光10としては、固体を動作媒質とする固体レーザー光を用いる。本実施の形態では、レーザー光10として、YAGレーザーの第2高調波(発振波長:532nm)を用いる。以降、YAGレーザーの第2高調波をYAG−2ωレーザーと称す。また、ビーム形状は、およそ30μm×200mmの線状ビーム形状とし、照射エネルギーを250mJ/cm2とする。そして、線状ビームの長方向に対して垂直に、送りピッチ2μmとして、非晶質半導体薄膜の上を走査する。
ここで、発振波長532nmのレーザー光10のa−Si膜(非晶質半導体薄膜)への侵入長は約1μmである。また、レーザー光10の侵入長は、非晶質半導体薄膜の膜厚よりも十分に大きくなっている。本実施の形態では、非晶質半導体薄膜を150nmの膜厚で成膜するので、レーザー光10は非晶質半導体薄膜の底部にまで到達する。具体的には、レーザー光10は、非晶質半導体薄膜とゲート絶縁膜3との界面にまで到達する。さらに、レーザー光10は、ゲート絶縁膜3を透過して、高い反射特性を有するゲート電極2によって反射される。そして、反射したレーザー光10は、ゲート電極2上の非晶質半導体薄膜に再度照射される。すなわち、ゲート電極2が配置された領域上の非晶質半導体薄膜底部への照射量が、ゲート電極2が配置されない領域上の非晶質半導体薄膜への照射量より大きくなる。このため、ゲート電極2を配置された領域上では、ゲート電極2を配置しない領域上よりも確実に非晶質半導体薄膜の底部まで結晶化することが容易となる。すなわち、チャネル領域4bとなる非晶質半導体薄膜の底部は、結晶性が高くなる。また、ゲート電極2が配置されない領域では、レーザー光10は、ほとんど反射されない。このため、ソース・ドレイン領域4a、4cとなる非晶質半導体薄膜には、反射されたレーザー光10が再度照射されない。
したがって、レーザー光10の照射パワー密度を小さくしても、ゲート電極2上の非晶質半導体薄膜は全体が溶融する。このため、ゲート絶縁膜3界面まで非晶質半導体薄膜の残存をなくすことができる。すなわち、ゲート絶縁膜3との界面部を含め非晶質半導体膜全体を結晶性を有する半導体膜(微結晶半導体膜4)に変換することができる。また、半導体膜の溶融にゲート電極2からの反射成分も活用しているので、従来よりもレーザー光10の照射パワー密度を下げることができ、エネルギーの省電力化ができる。半導体膜全体を結晶化しているので、ドレイン電流の高い、信頼性の優れたTFT108を得ることができる。一方、発振波長308nmのエキシマレーザー光では、非晶質半導体薄膜への侵入長が非常に浅く、非晶質半導体薄膜全体を溶融することが困難である。このため、チャネルとなるゲート絶縁膜3界面付近では非晶質膜が残存し、良好な特性を得ることは難しい。以上の工程により、図3(b)に示す構成となる。
次に、イオンドーピング法によって、形成した微結晶半導体膜4に不純物元素11を注入する。これにより、微結晶半導体膜4にオーミックコンタクト層であるn層を形成する。本実施の形態では、不純物元素として、リンイオンを用いる。そして微結晶半導体膜4に対して2段階のドーピングを行う。具体的には、まず加速電圧3kV、ドープ量3×1015/cm2でドーピングを行う。その後、加速電圧10kV、ドープ量2×1015/cm2でドーピングを行う。このようなドーピングを行うことで、図4に示される不純物濃度プロファイルを得ることができる。図4において、縦軸が微結晶半導体膜4の深さ、横軸が微結晶半導体膜4中の不純物濃度を表す。すなわち、図4においては、縦軸の上端は、ソース・ドレイン電極5、6と微結晶半導体膜4との界面(SD/半導体膜界面20)を示す。そして、縦軸の上端から下に向かうにつれて、ゲート絶縁膜3側の微結晶半導体膜4を示す。
図4に示されるように、SD/半導体膜界面20では、不純物濃度が最も高くなっている。すなわち、微結晶半導体膜4は、ソース・ドレイン電極5、6とのコンタクト界面部において、不純物濃度が高くなっている。このため、良好なオーミックコンタクト特性が得られる。そして、SD/半導体膜界面20から微結晶半導体膜4の深さが深くなるにつれて、不純物濃度が連続的に単調減少する。換言すると、ゲート電極2とは反対側からゲート電極2側に向かって、不純物濃度が連続的に単調減少する。すなわち、SD/半導体膜界面20をピークにして、不純物濃度が徐々に減少する。このように、微結晶半導体膜4の深さ方向(厚み方向)に対して、急峻な濃度変化は発生しないため、電界集中が抑制され、信頼性を向上することが可能となる。以上の工程により、図3(c)に示す構成となる。
次に、公知の写真製版法およびドライエッチング法を用いて、微結晶半導体膜4を所望のパターンに加工する。本実施の形態では、エッチングガスとして、CF4とO2の混合ガスを用いる。そして、フォトレジストを後退させながらエッチングを行うことにより、微結晶半導体膜4のパターン端部をテーパー形状とする。このように、テーパー形状とすることにより、後に成膜する金属膜の被覆性が向上する。そして、微結晶半導体膜4のパターン段差部による断線を抑制することができるという効果を奏する。
次に、微結晶半導体膜4上に、ソース・ドレイン電極5、6を形成するための金属膜をDCマグネトロンスパッタ法を用いて成膜する。本実施の形態では、金属膜として、Cr膜を用いる。そして、Cr膜をおよそ300nmの膜厚に成膜する。次に、公知の写真製版法およびウェットエッチング法により、金属膜を所望のパターンに加工する。ウェットエッチングに用いるエッチング液としては、過塩素酸と硝酸セリウムアンモニウムからなる薬液を用いる。
次に、微結晶半導体膜4のチャネルとなる面と対向する側の微結晶半導体膜4をドライエッチング法によりエッチングする。すなわち、バックチャネルエッチ(BCE)を行う。具体的には、ソース・ドレイン電極5、6をマスクとして、微結晶半導体膜4のエッチングを行う。すなわち、ソース・ドレイン電極5、6の間の微結晶半導体膜4がエッチングされる。これにより、ゲート電極2上において、微結晶半導体膜4の厚み方向における一部が除去される。本実施の形態では、微結晶半導体膜4のエッチング量をおよそ80nmとする。すなわち、微結晶半導体膜4はおよそ150nmの膜厚に成膜していたので、チャネル領域4bの微結晶半導体膜4の膜厚はおよそ70nmとなる。つまり、チャネル領域4bでは、微結晶半導体膜4表面に不純物元素を注入して低抵抗化した層は、ほぼ完全に除去するようにエッチングされる。このように、チャネル領域4bには、n層がほぼ完全に除去される。
具体的には、図4に示されるBCE掘り込み深さ21までエッチングする。すなわち、チャネル領域4bには、不純物元素がほとんど存在しない。このため、チャネル領域4bの背面側を流れる電流は抑制され、したがってリーク電流を低減することができる。また、ソース・ドレイン電極5、6下層の微結晶半導体膜4は、エッチングされない。このため、この領域では、微結晶半導体膜4表面に不純物元素が高濃度で導入されている。これにより、n層を有するソース・ドレイン領域4a、4cが形成される。また、ソース・ドレイン電極5、6をエッチングマスクとして使用しているため、写真製版工程を増加させることはなく、生産工程を簡略化することができる。このため、写真製版工程で消費されるレジストなどの材料を減量化することができる。以上の工程により、ソース領域4a、チャネル領域4b、ドレイン領域4cが形成され、図3(d)に示す構成となる。
その後、プラズマCVD法を用いて、ソース・ドレイン電極5、6を覆うように層間絶縁膜7を成膜する。本実施の形態においては、層間絶縁膜7として、SiN膜を用いる。そして、SiN膜をおよそ300nmの膜厚に成膜する。そして、公知の写真製版法およびドライエッチング法を用いて、層間絶縁膜7を所望のパターンに加工する。これにより、ドレイン電極6上の層間絶縁膜7を除去して、コンタクトホール8を形成する。すなわち、コンタクトホール8では、ドレイン電極6が露出する。以上の工程により、図3(e)に示す構成となる。
次に、層間絶縁膜7上に、画素電極9を形成するため、ITOやIZOなどの透明性を有する導電膜を成膜する。本実施の形態においては、DCマグネトロンを用いたスパッタリング法により、加工性に優れた非晶質の透明導電膜を成膜する。なお、ここでは、Arガス、O2ガス、H2Oガスを混合したガスを用いる。そして、公知の写真製版法により所望の形状にパターニングして画素電極9を形成する。ここで、画素電極9はコンタクトホール8を介して、ドレイン電極6と接続するようにパターニングされる。本実施の形態では、導電膜のエッチングは、シュウ酸を主成分とする薬液を用いたウェットエッチング法によって行う。この後は、不要なレジストを除去後に、アニールを行う。これにより、非晶質性透明導電膜からなる画素電極9を結晶化させる。そして、図3(f)に示されるように、TFT基板100のTFT108が完成する。
本実施の形態においては、反射特性の高いアルミニウムを主成分とする膜によりゲート電極2を形成する。そして、非晶質半導体膜を結晶性を有する微結晶半導体膜4へ変換するためのレーザー光10として、YAG−2ωレーザーを用いる。レーザー光10が非晶質半導体膜に照射され、下層のゲート電極2によってレーザー光10が反射される。これにより、半導体膜の全体が微結晶構造となる。すなわち、半導体膜中、特にゲート絶縁膜3と微結晶半導体膜4の界面付近にも非晶質半導体膜の残存を抑制している。
そして、この微結晶半導体膜4を用いて作製した逆スタガ型TFTは、ドレイン電流が高く、信頼性特性が向上する。また、結晶を微結晶にするため、チャネル内に存在する結晶粒のサイズや数を均一にすることが可能となる。これにより、トランジスタ特性のばらつきを低減することができる。さらに、ソース・ドレイン電極5、6とのコンタクト界面付近において、微結晶半導体膜4は、不純物濃度が高くなっている。このため、ソース・ドレイン電極5、6と微結晶半導体膜4との電気的コンタクト性が良好となっている。また、特許文献2に示されたような従来の半導体膜では、不純物濃度のピークが半導体膜の上層部にある。これに対して、本実施の形態では、微結晶半導体膜4とソース・ドレイン電極5、6との界面において、不純物元素が最も高くなっている。そして、ソース・ドレイン電極5、6との界面からゲート絶縁膜3側に向けて、微結晶半導体膜4の不純物濃度が単調減少している。このため、従来と比較して、さらに良好な、ソース・ドレイン電極5、6と微結晶半導体膜4との電気的コンタクト特性を有する。
また、ソース・ドレイン電極5、6とのコンタクト界面からゲート絶縁膜3界面に向かって、不純物濃度に連続的な勾配を持たせている。従って、急峻な濃度変化を抑制した所謂LDD構造が形成されているため、信頼性が向上するという効果を奏する。したがって、素子信頼性が必要となる駆動回路を同一基板上に構成することができる。すなわち、外部IC点数を減らしてコスト削減を図るとともに、外部IC点数を減らすことによる資源削減を達成した半導体装置を得ることが可能となる。
また、上記のように、微結晶半導体膜4の下層においても、非晶質半導体膜の残存が抑制される。このため、ゲート電圧が印加された際、チャネルが形成される部分に、非晶質半導体膜がほとんど存在しない。このため、上記のように、逆スタガ型とした場合でも、トランジスタ特性が低下せず、半導体膜中の弱接合起因による閾値電圧シフトが抑制される。また、逆スタガ型(ボトムゲート型)は、トップゲート型と比較して製造工程が少ないため、逆スタガ型とすることにより生産性が向上する。また、本実施の形態では、微結晶半導体膜4上層を除去することにより、チャネル領域4bを形成している。このように、バックチャネルエッチ型を採用することにより、例えばエッチストッパ型と比較して、生産性が向上する。
なお、本実施の形態では、ゲート電極2として、Alを主成分とする膜を用いたが、これに限られない。Ag等の反射性を有する材料であれば、ゲート電極2として用いることができる。
1 絶縁性基板、2 ゲート電極、3 ゲート絶縁膜、4 微結晶半導体膜、
4a ソース領域、4b チャネル領域、4c ドレイン領域、5 ソース電極、
6 ドレイン電極、7 層間絶縁膜、8 コンタクトホール、9 画素電極、
10 レーザー光、11 不純物元素、
20 SD/半導体膜界面、21 BCE掘り込み深さ、
100 TFT基板、101 表示領域、102 額縁領域、
103 走査信号駆動回路、104 表示信号駆動回路、105 画素、
106 外部配線、107 外部配線、108 TFT、109 保持容量、
110 ゲート配線、111 ソース配線
4a ソース領域、4b チャネル領域、4c ドレイン領域、5 ソース電極、
6 ドレイン電極、7 層間絶縁膜、8 コンタクトホール、9 画素電極、
10 レーザー光、11 不純物元素、
20 SD/半導体膜界面、21 BCE掘り込み深さ、
100 TFT基板、101 表示領域、102 額縁領域、
103 走査信号駆動回路、104 表示信号駆動回路、105 画素、
106 外部配線、107 外部配線、108 TFT、109 保持容量、
110 ゲート配線、111 ソース配線
Claims (9)
- 絶縁性基板上に、反射性を有する材料によりゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上に、ゲート絶縁膜を成膜する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に、非晶質半導体膜を成膜する工程と、
レーザー光を前記非晶質半導体膜に対して照射し、前記ゲート電極によって反射させて再度前記非晶質半導体膜に照射することにより、前記ゲート絶縁膜との界面部の前記非晶質半導体膜を結晶性を有する半導体膜に変換する工程と、
不純物濃度が前記ゲート電極とは反対側から前記ゲート電極側に向かって連続的に単調減少するように、前記半導体膜に対して不純物元素を注入する工程と、
不純物元素を注入された前記半導体膜上に、ソース・ドレイン電極を形成する工程とを備えるTFTの製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜として、SiN膜とSiO膜とが順次積層された積層膜を用い、
前記SiO膜は、前記半導体膜と接する請求項1に記載のTFTの製造方法。 - 前記ソース・ドレイン電極を形成する工程後に、前記ゲート電極上において、前記半導体膜の厚み方向における一部を除去し、チャネル領域を形成する工程をさらに有する請求項1又は2に記載のTFTの製造方法。
- 前記レーザー光は、YAGレーザーの第2高調波である請求項1乃至3のいずれか1項に記載のTFTの製造方法。
- 前記ゲート電極は、アルミニウムに、ニッケル及びネオジムが添加された膜により形成される請求項1乃至4のいずれか1項に記載のTFTの製造方法。
- 反射性を有する材料により形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成され、前記ゲート絶縁膜との界面部が結晶化され、前記ゲート電極とは反対側から前記ゲート電極側に向かって、不純物濃度が連続的に単調減少するように不純物元素が注入された半導体膜と、
前記半導体膜上に形成されたソース・ドレイン電極とを備えるTFT。 - 前記ゲート絶縁膜は、SiN膜とSiO膜とが順次積層された積層膜であり、
前記SiO膜は、前記半導体膜と接する請求項6に記載のTFT。 - 前記半導体膜は、前記ゲート電極上において、厚み方向における一部が除去されることにより形成されたチャネル領域を有する請求項6又は7に記載のTFT。
- 前記電極は、アルミニウムに、ニッケル及びネオジムが添加された膜により形成された請求項6乃至8のいずれか1項に記載のTFT。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008131601A JP2009283522A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | Tftの製造方法及びtft |
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JP2008131601A Pending JP2009283522A (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | Tftの製造方法及びtft |
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-
2008
- 2008-05-20 JP JP2008131601A patent/JP2009283522A/ja active Pending
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