JP2009268962A - フッ素化合物の分解処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 分解処理剤の下流側に酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤、さらに該処理剤の下流側にフッ化水素の検知手段を配置し、該上流側の分解処理剤を破過したフッ素化合物が下流側に流出する場合に、該フッ素化合物が、水蒸気の存在下、該下流側の処理剤に含まれる酸化アルミニウムと接触することにより生成するフッ化水素を、該検知手段により検知して該分解処理剤の破過を検知する分解処理システムとする。
【選択図】 図1
Description
本発明のフッ素化合物の分解処理システムにおいて、分解処理の対象となる有害成分として、具体的には、CF4、C2F6、C3F8、C4F10、C5F12、C4F8、C4F6、C5F8等のパーフルオロカーボン、CH3F、CH2F2、CHF3、C2H4F2、C2H2F4等のハイドロフルオロカーボン、S2F2、SF2、SF4、SF5、SF6等のフッ化硫黄を例示することができる。排ガスには、前記成分のほか、フッ素、フッ化水素等が含まれていてもよい。
本発明に用いられるアルミニウム化合物としては、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウムが挙げられる。ランタン化合物としては、酸化ランタン、水酸化ランタン、炭酸ランタンが挙げられる。また、アルカリ土類金属としては、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムが挙げられ、アルカリ土類金属化合物としては、前記アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩が挙げられる。
(分解処理システムの製作)
内径42mm、高さ400mmのステンレス製の分解処理筒3、フッ化水素の検知手段4(バイオニクス機器(株)製ガス検知器SH−2703)、ヒーター5、温度センサー6、フッ素化合物を含む排ガスの導入ライン7、水蒸気(及び酸素)導入ライン8、冷却器9、フッ化水素の除害筒10、及びブロワー11等を用い、これらを接続して、図1に示すような分解処理システムを製作した。また、フッ素化合物を検知するために、フッ化水素の検知手段のラインと並列に赤外線を利用したガス分析装置を設けた。
分解処理筒の内部の温度を800℃に加熱した後、C2F6(流量10ml/min)を含有する窒素(合計流量950ml/min)を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気(流量30ml/min)及び酸素(流量40ml/min)を分解処理装置に導入してC2F6を分解した。
この間、分解処理筒の排出口から排出されるガスの一部を、連続してガス検知器4及び赤外線を利用したガス分析装置を用いて分析した。
その結果、560分後に、ガス検知器4によりフッ化水素が検出された。また、その後30分間分解処理試験を継続して行なったが、C2F6は検出されなかった。
実施例1と同様にして、分解処理システムを製作した。また、実施例1と同様にして、分解処理剤及び処理剤を分解処理筒に充填した。さらに、実施例1と同様にして、フッ化水素の除害剤を除害筒に充填した。次に、分解処理筒の内部の温度を800℃に加熱した後、CF4(流量10ml/min)を含有する窒素(合計流量950ml/min)を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気(流量30ml/min)及び酸素(流量40ml/min)を分解処理装置に導入してCF4を分解した。
この間、分解処理筒の排出口から排出されるガスの一部を、連続してガス検知器4及び赤外線を利用したガス分析装置を用いて分析した。
その結果、870分後に、ガス検知器4によりフッ化水素が検出された。また、その後30分間分解処理試験を継続して行なったが、CF4は検出されなかった。
実施例1と同様にして、分解処理システムを製作した。また、実施例1と同様にして、分解処理剤及び処理剤を分解処理筒に充填した。さらに、実施例1と同様にして、フッ化水素の除害剤を除害筒に充填した。次に、分解処理筒の内部の温度を800℃に加熱した後、CHF3(流量10ml/min)を含有する窒素(合計流量950ml/min)を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気(流量30ml/min)及び酸素(流量40ml/min)を分解処理装置に導入してCHF3を分解した。
この間、分解処理筒の排出口から排出されるガスの一部を、連続してガス検知器4及び赤外線を利用したガス分析装置を用いて分析した。
その結果、1120分後に、ガス検知器4によりフッ化水素が検出された。また、その後30分間分解処理試験を継続して行なったが、CHF3は検出されなかった。
実施例1と同様にして、分解処理システムを製作した。また、実施例1と同様にして、分解処理剤及び処理剤を分解処理筒に充填した。さらに、実施例1と同様にして、フッ化水素の除害剤を除害筒に充填した。次に、分解処理筒の内部の温度を800℃に加熱した後、SF6(流量10ml/min)を含有する窒素(合計流量950ml/min)を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気(流量30ml/min)及び酸素(流量40ml/min)を分解処理装置に導入してSF6を分解した。
この間、分解処理筒の排出口から排出されるガスの一部を、連続してガス検知器4及び赤外線を利用したガス分析装置を用いて分析した。
その結果、480分後に、ガス検知器4によりフッ化水素が検出された。また、その後30分間分解処理試験を継続して行なったが、SF6は検出されなかった。
実施例1において、分解処理筒に酸化アルミニウムからなる処理剤を充填しなかったほかは、実施例1と同様に分解処理システムを製作し、C2F6の分解処理試験を行なった。
その結果、560分後に、赤外線を利用したガス分析装置によりC2F6が検出された。尚、その時点で、フッ化水素は検出されなかった。
実施例2において、分解処理筒に酸化アルミニウムからなる処理剤を充填しなかったほかは、実施例1と同様に分解処理システムを製作し、CF4の分解処理試験を行なった。
その結果、860分後に、赤外線を利用したガス分析装置によりCF4が検出された。尚、その時点で、フッ化水素は検出されなかった。
実施例3において、分解処理筒に酸化アルミニウムからなる処理剤を充填しなかったほかは、実施例1と同様に分解処理システムを製作し、CHF3の分解処理試験を行なった。
その結果、1100分後に、赤外線を利用したガス分析装置によりCHF3が検出された。尚、その時点で、フッ化水素は検出されなかった。
実施例4において、分解処理筒に酸化アルミニウムからなる処理剤を充填しなかったほかは、実施例1と同様に分解処理システムを製作し、SF6の分解処理試験を行なった。
その結果、480分後に、赤外線を利用したガス分析装置によりSF6が検出された。尚、その時点で、フッ化水素は検出されなかった。
2 処理剤
3 分解処理筒
4 フッ化水素の検知手段
5 ヒーター
6 温度センサー
7 フッ素化合物を含む排ガスの導入ライン
8 水蒸気(及び酸素)導入ライン
9 冷却器
10 フッ化水素の除害筒
11 ブロワー
Claims (4)
- フルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、及びフッ化硫黄から選ばれる少なくとも1種のフッ素化合物を有害成分として含む排ガスを、水蒸気の存在下、酸化アルミニウムと、酸化ランタン及び/またはアルカリ土類金属化合物の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させて該有害成分を除去する分解処理システムであって、該分解処理剤の下流側に酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤、さらに該処理剤の下流側にフッ化水素の検知手段を配置し、該上流側の分解処理剤を破過した該フッ素化合物が下流側に流出する場合に、該フッ素化合物が、水蒸気の存在下、該下流側の処理剤に含まれる酸化アルミニウムと接触することにより生成するフッ化水素を、該検知手段により検知して該分解処理剤の破過を検知することを特徴とするフッ素化合物の分解処理システム。
- 酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤が、酸化アルミニウムを70wt%以上含む請求項1に記載のフッ素化合物の分解処理システム。
- フッ化水素の検知手段が、ガス検知器、またはフッ化水素と接触して変色する検知剤である請求項1に記載のフッ素化合物の分解処理システム。
- フッ素化合物の分解処理を、水蒸気のほか酸素の存在下で行なう請求項1に記載のフッ素化合物の分解処理システム。
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