JP2003181286A

JP2003181286A - フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法

Info

Publication number: JP2003181286A
Application number: JP2002269818A
Authority: JP
Inventors: Kenji Otsuka; 健二大塚; Yoji Nawa; 洋二名和; Tomohisa Ikeda; 友久池田; Yukifumi Ochi; 幸史越智
Original assignee: Japan Pionics Ltd
Current assignee: Japan Pionics Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2002-09-17
Publication date: 2003-07-02
Anticipated expiration: 2022-09-17
Also published as: JP4156312B2

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造工程等から排出される排ガスに含
まれるＣＦ_４等のフルオロカーボンを、短時間で分解処
理剤が失活することなく、またフッ化水素等の腐食性ガ
スを排出させることなく、１０００℃以下の比較的低い
温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な分解処理剤
及び分解処理方法を提供する。【解決手段】アルミニウム化合物及びランタノイド化
合物を有効成分として含む分解処理剤、あるいはアルミ
ニウム化合物、ランタノイド化合物及びアルカリ土類金
属化合物を有効成分として含む分解処理剤とする。ま
た、フルオロカーボンを、加熱下で、前記分解処理剤と
接触させてフルオロカーボンを分解するか、あるいは、
加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理
剤と接触させた後、ランタノイドの酸化物、アルカリ土
類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させ
てフルオロカーボンを分解する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフルオロカーボンの
分解処理剤及び分解処理方法に関する。さらに詳細には
半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるＣＦ
_４等のフルオロカーボンを、１０００℃以下の比較的低
い温度で長時間効率よく分解処理することが可能な分解
処理剤及び分解処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工業においては、ドライエッ
チング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバー
クリーニングガス等として、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_４Ｆ
_６、Ｃ _５Ｆ_８等のフルオロカーボンが使用されている。
これらのフルオロカーボンは非常に安定な化合物であり
地球温暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した
場合の環境への悪影響が懸念されている。従って、半導
体製造工程から排出される排ガスに含まれるこれらのフ
ルオロカーボンは、回収するかあるいは分解して大気に
放出することが好ましい。

【０００３】従来から使用されているＣＦ_４、Ｃ
_２Ｆ_６、Ｃ_４Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８等のフルオロカーボンを、
エッチングガスやチャンバークリーニングガス等として
用いた後の排ガスは、通常は、窒素、アルゴン、ヘリウ
ム等のキャリアガスをベースガスとし、前記フルオロカ
ーボンの他、ＨＦ、Ｆ_２、ＳｉＦ_４等の酸性ガスが含ま
れることが多い。また、排ガスに含まれるこれらのフル
オロカーボンの濃度は、通常１０〜５００００ｐｐｍ程
度である。このように排ガスに含まれるフルオロカーボ
ンの濃度が比較的低いため、これらの処理には、ランニ
ングコストがより安い分解が多く試みられてきた。

【０００４】従来からフルオロカーボンを分解処理する
方法としては、例えばフルオロカーボンを含む排ガス
を、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎中
に導入して燃焼させる方法、あるいはフルオロカーボン
を含む排ガスに、空気または酸素、あるいは空気または
酸素とともに水分を含む混合ガスを添加して加熱酸化す
る方法によりフルオロカーボンの分解が行なわれてい
た。また、フルオロカーボン等のフッ素化合物を、アル
ミナ存在下で、分子状酸素と接触させる方法（特開平１
０−２８６４３４号公報）、アルミナに６Ａ族、８族、
３Ｂ族の金属及び硫酸、燐酸、ほう酸等の無機酸を担持
させた分解処理触媒と接触させる方法（特開平１１−１
６５０７１号公報）、酸素及び水共存下において、３０
０〜１０００℃に加熱された、アルミナ系触媒と含シリ
カ混合材とを混合して成る触媒層を通過させる方法（特
開２０００−１５０６０号公報）等が開発されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、燃焼法
による分解処理方法は、フルオロカーボンを分解処理し
ていない待機時にも燃焼状態を維持しなければならない
ためエネルギーコストが高い、二酸化炭素を大量に放出
するという不都合があった。空気または酸素を添加して
加熱酸化する分解処理方法は、１０００℃以上の加熱が
必要であり、ＣＦ _４の分解の場合はさらに高い温度が必
要であるため、耐熱性とともに耐腐食性の点で分解処理
装置の実用化が困難であった。

【０００６】アルミナを分解触媒として用いたフルオロ
カーボンの分解処理方法は、比較的低い温度でフルオロ
カーボンを分解できるという長所がある。しかし、この
分解処理方法においては、フルオロカーボンとの反応に
よりアルミナの表面にフッ化アルミニウムが生成し、短
時間で分解触媒が失活するという不都合があった。ま
た、アルミナに金属、無機酸、あるいはシリカを添加し
た分解処理触媒は、分解触媒の活性を比較的長時間維持
させることを目的に開発されたものであるが、分解対象
のフルオロカーボンがＣＦ_４の場合は、１０００℃以下
の温度で１００％近い分解率を維持して長時間連続で分
解処理することは困難であった。

【０００７】さらに、水の共存下でフルオロカーボンの
分解処理を行なった場合は、分解率を向上させることが
できるが、分解処理後にフッ化水素が生成するため、排
ガスを大気に放出するに先立って湿式浄化装置等により
これを除去する必要があるほか、分解処理装置から排出
される排ガスは、高温かつ腐食性であるため熱交換器を
使用することができないという不都合があった。従っ
て、本発明が解決しようとする課題は、半導体製造工程
等から排出される排ガスに含まれるＣＦ_４等のフルオロ
カーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、
またフッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、
１０００℃以下の比較的低い温度で９９．９％以上の分
解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供す
ることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、アルミニウム化合
物及びランタノイド化合物を有効成分として含む分解処
理剤、あるいはアルミニウム化合物、ランタノイド化合
物に、さらにアルカリ土類金属化合物を有効成分として
含ませた分解処理剤が、前記課題を解決し得る分解処理
剤であることを見い出し本発明のフルオロカーボンの分
解処理剤に到達した。

【０００９】また、本発明者らは、フルオロカーボン
を、加熱下で、酸化アルミニウム及びランタノイドの酸
化物を有効成分として含む分解処理剤、あるいはこの分
解処理剤にさらにアルカリ土類金属の酸化物を有効成分
として含ませた分解処理剤と接触させることにより、前
記課題を解決できることを見い出した。さらに、フルオ
ロカーボンを、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分
として含む処理剤と接触させた後、ランタノイドの酸化
物を有効成分として含む処理剤と接触させることによ
り、あるいは、フルオロカーボンを、加熱下で、酸化ア
ルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた
後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理
剤、アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処
理剤と接触させること等により、前記課題を解決できる
ことを見い出し本発明のフルオロカーボンの分解処理方
法に到達した。

【００１０】すなわち本発明は、アルミニウム化合物及
びランタノイド化合物を有効成分として含むことを特徴
とするフルオロカーボンの分解処理剤である。また、本
発明は、アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、及
びアルカリ土類金属化合物を有効成分として含むことを
特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤である。

【００１１】また、本発明は、フルオロカーボンを含有
するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム及びランタノ
イドの酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触さ
せてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフル
オロカーボンの分解処理方法である。また、本発明は、
フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化ア
ルミニウム、ランタノイドの酸化物、及びアルカリ土類
金属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触さ
せてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフル
オロカーボンの分解処理方法である。

【００１２】また、本発明は、フルオロカーボンを含有
するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接
触させた後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含
む処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解すること
を特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。
また、本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、
ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤
と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴と
するフルオロカーボンの分解処理方法である。さらに、
本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを、酸素及
び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウ
ムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、ランタ
ノイドの酸化物及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成
分として含む処理剤と接触させてフルオロカーボンを分
解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方
法である。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明のフルオロカーボンの分解
処理剤及び分解処理方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム
等のガス中に含まれる、炭化水素の全てがフッ素に置換
されたパーフルオロカーボン、一部がフッ素に置換され
たヒドロフルオロカーボンの分解処理に適用されるが、
これらのフルオロカーボンの中でも化学的に安定なＣＦ
_４の分解処理において、短時間で分解処理剤が失活する
ことなく、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させること
なく、１０００℃以下の分解温度で９９．９％以上の分
解率で分解可能な点で特に効果を発揮する。

【００１４】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤及
び分解処理方法において、分解処理の対象となるフルオ
ロカーボンとしては、例えば、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_３
Ｆ_８、Ｃ_４Ｆ_１０、Ｃ_５Ｆ_１２、Ｃ_４Ｆ_８、Ｃ_４Ｆ_６、
Ｃ_５Ｆ_８等のパーフルオロカーボン及びＣＨ_３Ｆ、ＣＨ
_２Ｆ_２、ＣＨＦ_３、Ｃ_２Ｈ_４Ｆ_２、Ｃ_２Ｈ_２Ｆ_４等のヒ
ドロフルオロカーボンが挙げられる。

【００１５】以下、本発明のフルオロカーボンの分解処
理剤について詳細に説明する。本発明の分解処理剤は、
アルミニウム化合物及びランタノイド化合物を有効成分
として含む分解処理剤、または、アルミニウム化合物、
ランタノイド化合物、及びアルカリ土類金属化合物を有
効成分として含む分解処理剤である。ただし、アルミニ
ウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土類金属化
合物が、各々酸化物以外である場合は、フルオロカーボ
ンを分解処理する温度またはその近辺の温度で分解され
て、各々酸化アルミニウム、ランタノイドの酸化物、ア
ルカリ土類金属の酸化物となる化合物を用いることが好
ましい。

【００１６】ランタノイドの酸化物としては、酸化ラン
タン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化ネオジ
ム、酸化プロメチウム、酸化サマリウム、酸化ユーロピ
ウム、酸化ガドリウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロ
シウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウ
ム、酸化イッテルビウム、酸化ルテチウムを挙げること
ができる。また、前記酸化物以外のランタノイド化合物
としては、ランタノイドの水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、
硝酸塩、有機酸塩等を挙げることができるが、容易に酸
化物に転換できる点で水酸化物、炭酸塩または硝酸塩が
好ましく、この中でも有害ガスを排出しない点で水酸化
物または炭酸塩を用いることが好ましい。

【００１７】ランタノイドの水酸化物としては、例え
ば、水酸化ランタン（１水和物を含む）、水酸化セリウ
ム（５水和物、８水和物、９水和物を含む）、水酸化プ
ラセオジム（８水和物を含む）、水酸化ネオジム（８水
和物を含む）、水酸化サマリウムを挙げることができ
る。また、ランタノイドの炭酸塩としては、例えば、炭
酸ランタン、炭酸セリウム、炭酸プラセオジム、炭酸ネ
オジム、炭酸サマリウムを挙げることができる。

【００１８】これらのランタノイド化合物の中では、ラ
ンタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウ
ム、またはユーロピウムの化合物が容易に入手しやすい
点で好ましい。また、これらのランタノイド化合物は単
独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。例え
ば、２種類以上のランタノイドを含む金属として「ミッ
シュメタル」が市販されているので、これを用いて本発
明のフルオロカーボンの分解処理剤を調製することがで
きる。

【００１９】アルカリ土類金属の酸化物としては、酸化
ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化
ストロンチウム、酸化バリウムを挙げることができる
が、酸化ベリリウムは昇華開始温度が８００℃であり、
酸化バリウムは有毒性が懸念されるため、酸化マグネシ
ウム、酸化カルシウム、または酸化ストロンチウムを用
いることが好ましい。

【００２０】また、前記以外のアルカリ土類金属化合物
としては、アルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩、硫酸
塩、硝酸塩、有機酸塩等を挙げることができるが、容易
に酸化物に転換できる点で水酸化物、炭酸塩、または硝
酸塩が好ましく、この中でも有害ガスを排出しない点で
水酸化物または炭酸塩を用いることが好ましい。また、
前記と同様な理由により、マグネシウム、カルシウム、
またはストロンチウムの化合物を用いることが好まし
い。尚、これらのアルカリ土類金属化合物は単独で用い
てもよく２種類以上を併用してもよい。

【００２１】また、本発明に用いられるアルミニウム化
合物としては、例えば酸化アルミニウム、水酸化アルミ
ニウム等が挙げられる。酸化アルミニウムとしては、ア
ルミニウム平均細孔直径が５０〜２００Åの細孔を有す
るものが好ましく、その中でもγアルミナが好ましい。
平均細孔直径が５０Å未満の細孔を有する酸化アルミニ
ウムまたは平均細孔直径が２００Åを越える細孔を有す
る酸化アルミニウムを用いた場合は、フルオロカーボン
の分解率が低下する虞を生じる。また、比表面積が１０
０ｍ^２／ｇ以上の酸化アルミニウムが好ましい。酸化ア
ルミニウムの純度は９９％以上であることが好ましく、
さらに９９．９％以上であることがより好ましい。ま
た、水酸化アルミニウムとしては、ベーマイトが好まし
い。

【００２２】本発明のアルミニウム化合物、ランタノイ
ド化合物を含む分解処理剤は、通常は前記のアルミニウ
ム化合物とランタノイド化合物を、混合し造粒すること
により調製されるか、あるいはアルミニウム化合物を造
粒するとともにランタノイド化合物を造粒した後、これ
らを混合することにより調製される。また、本発明のア
ルミニウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土類
金属化合物を含む分解処理剤は、通常は前記のアルミニ
ウム化合物、ランタノイド化合物、及びアルカリ土類金
属化合物を、混合し造粒することにより調製されるか、
アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、及びアルカ
リ土類金属化合物を別々に造粒した後、これらを混合す
ることにより調製されるか、あるいはアルミニウム化合
物の造粒物と、ランタノイド化合物及びアルカリ土類金
属化合物を混合して造粒したものを混合して調製され
る。そのほか、アルミニウム化合物と残りの１有効成分
を混合して造粒物したものと、残りの他の有効成分の造
粒物を混合して調製することもできる。

【００２３】いずれの分解処理剤の調製方法において
も、分解処理剤に含まれるアルミニウムの原子数と、ラ
ンタノイドの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合
せた原子数の比が、通常は１：０．１〜１０となるよう
に、好ましくは１：０．２〜５．０となるように調製さ
れる。また、分解処理剤に含まれるランタノイドの原子
数と、アルカリ土類金属の原子数については、ランタノ
イドの原子数が多いほど分解処理能力（分解処理剤単位
量当たりに対するフルオロカーボンの分解処理量）が向
上し、その比（ランタノイドの原子数：アルカリ土類金
属化合物の原子数）は、通常は（１：２以下）となるよ
うに、好ましくは（２：１以下）となるように調製され
る。さらに、前述のいずれの調製方法においても、通常
は直径が０．１〜２０ｍｍ程度、好ましくは直径が１〜
１０ｍｍ程度の球状、これに類似する形状、またはこれ
に相当する大きさ及び形状となるように造粒して調製さ
れる。

【００２４】また、本発明のフルオロカーボンの分解処
理剤は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、
有効成分のほかにバインダーを加えてもよい。このよう
なバインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、メチル
セルロース、カルボキシメチルセルロースなどの有機系
バインダー、シリカ、珪藻土、珪酸ナトリウム、硫酸水
素ナトリウムなどの無機系バインダーを挙げることがで
きる。これらのバインダーを加える場合は、浄化剤を調
製する際に有効成分に添加、混練される。バインダーの
添加量は、成型条件などによって異なり一概には特定で
きないが、少なすぎる場合はバインダーとしての効果が
得られず、多すぎる場合は分解処理能力が低下すること
から、通常は分解処理剤全重量に対して０．１〜１０ｗ
ｔ％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。

【００２５】また、分解処理剤中にはフルオロカーボン
の分解に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含
んでいてもよい。さらに、使用前の分解処理剤は水分を
含んでいてもよいが含まない方が好ましく、通常は分解
処理剤中の水分が２ｗｔ％以下となるように調製され
る。従って、有効成分を造粒する際は、打錠成型により
造粒することが好ましい。尚、これらのバインダー、不
純物、不活性物質、水分などを含んだ場合においても、
分解処理剤中の有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％
以上、好ましくは９０ｗｔ％以上である。

【００２６】次に、本発明のフルオロカーボンの分解処
理方法を、図１乃至図６に基づいて詳細に説明するが、
本発明がこれらにより限定されるものではない。本発明
のフルオロカーボンの分解処理方法における第１の形態
は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸
化アルミニウム及びランタノイドの酸化物を有効成分と
して含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分
解する方法であり、図１はそのための分解処理装置の例
を示す断面図である。本発明のフルオロカーボンの分解
処理方法における第２の形態は、フルオロカーボンを含
有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム、ランタノ
イドの酸化物、及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成
分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボン
を分解する方法であり、図２はそのための分解処理装置
の例を示す断面図である。

【００２７】フルオロカーボンの分解を、第１の形態ま
たは第２の形態により実施する場合は、通常は前述の本
発明の分解処理剤が使用される。尚、アルミニウム化合
物、ランタノイド化合物、アルカリ土類金属化合物とし
て、各々酸化物以外のものを用いる場合は、フルオロカ
ーボンを分解処理する温度またはその近辺の温度で分解
されて、各々容易に酸化アルミニウム、ランタノイドの
酸化物、アルカリ土類金属の酸化物となる化合物を用い
ることが好ましい。

【００２８】フルオロカーボンの分解処理を、第１の形
態により実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処
理装置に、例えば、図１（Ａ）に示すように、アルミニ
ウム化合物及びランタノイド化合物を混合し造粒した造
粒物４から成る分解処理剤が充填されるか、図１（Ｂ）
に示すように、アルミニウム化合物の造粒物１及びラン
タノイド化合物の造粒物２を混合して成る分解処理剤が
充填される。

【００２９】フルオロカーボンの分解処理を、第２の形
態により実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処
理装置に、例えば、図２（Ａ）に示すように、アルミニ
ウム化合物、ランタノイド化合物、及びアルカリ土類金
属化合物を混合し造粒した造粒物５から成る分解処理剤
が充填されるか、図２（Ｂ）に示すように、アルミニウ
ム化合物の造粒物１、ランタノイド化合物の造粒物２、
及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３を混合して成る
分解処理剤が充填されるか、あるいは、図２（Ｃ）に示
すように、アルミニウム化合物の造粒物１と、ランタノ
イド化合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物６
を混合して成る分解処理剤が充填される。

【００３０】また、フルオロカーボンの分解を、第１の
形態または第２の形態により実施する場合は、図１、図
２に示す分解処理装置のように分解処理剤を固定床とし
て用いるほか、移動床、流動床として用いることができ
る。例えば、失活した分解処理剤を分解処理装置の下部
に設けた分解処理剤排出口から排出するとともに、分解
処理装置の上部に設けた分解処理剤供給口から新規分解
処理剤を反応系に供給する構成とすることにより、さら
に長時間にわたり連続してフルオロカーボンの分解処理
を実施することができる。

【００３１】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法
における第３の形態は、フルオロカーボンを含有するガ
スを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸
化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させ
た後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理
剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であ
り、図３はそのための分解処理装置の例を示す断面図で
ある。

【００３２】フルオロカーボンの分解を、第３の形態に
より実施する場合は、通常はアルミニウム化合物の造粒
物及びランタノイド化合物の造粒物が使用される。例え
ば、分解処理を行なう前、分解処理装置に、図３に示す
ように、アルミニウム化合物の造粒物１から成る処理剤
及びランタノイド化合物の造粒物２から成る処理剤が積
層される。尚、本発明においては、これらの２処理剤層
を１単位層として、単数または複数の単位層を積層させ
て分解処理を行なうことが可能である。図３は３単位層
を積層させた構成のものである。

【００３３】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法
における第４の形態は、フルオロカーボンを含有するガ
スを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸
化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させ
た後、ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理
剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む
処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法で
あり、図４はそのための分解処理装置の例を示す断面図
である。尚、本発明においては、処理対象ガスを、ラン
タノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤、アルカ
リ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤に接触
させる順について特に制限されることがない。

【００３４】フルオロカーボンの分解を、第４の形態に
より実施する場合は、通常はアルミニウム化合物の造粒
物、ランタノイド化合物の造粒物、及びアルカリ土類金
属化合物の造粒物が使用される。例えば、分解処理を行
なう前、分解処理装置に、図４（Ａ）または図４（Ｂ）
に示すように、アルミニウム化合物の造粒物１から成る
処理剤、ランタノイド化合物の造粒物２から成る処理
剤、及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３から成る処
理剤が積層される。尚、本発明においては、これらの３
処理剤層を１単位層として、単数または複数の単位層を
積層させて分解処理を行なうことが可能である。

【００３５】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法
における第５の形態は、フルオロカーボンを含有するガ
スを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸
化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させ
た後、ランタノイドの酸化物及びアルカリ土類金属の酸
化物を有効成分として含む処理剤と接触させてフルオロ
カーボンを分解する方法であり、図５はそのための分解
処理装置の例を示す断面図である。

【００３６】フルオロカーボンの分解を、第５の形態に
より実施する場合は、通常は酸化アルミニウムを有効成
分として含む処理剤の源としてアルミニウム化合物の造
粒物が、ランタノイドの酸化物とアルカリ土類金属の酸
化物を有効成分として含む処理剤の源として、ランタノ
イド化合物及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒し
たもの、あるいはランタノイド化合物の造粒物及びアル
カリ土類金属化合物の造粒物を混合したものが使用され
る。例えば、分解処理を行なう前、分解処理装置に、図
５（Ａ）に示すように、アルミニウム化合物の造粒物１
から成る処理剤、ランタノイド化合物及びアルカリ土類
金属化合物の混合造粒物６から成る処理剤が積層される
か、図５（Ｂ）に示すように、アルミニウム化合物の造
粒物１から成る処理剤、ランタノイド化合物の造粒物２
及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３から成る処理剤
が積層される。尚、本発明においては、これらの２処理
剤層を１単位層として、単数または複数の単位層を積層
させて分解処理を行なうことが可能である。

【００３７】尚、第３の形態、第４の形態、第５の形態
においても、第１の形態、第２の形態の場合と同様に、
アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土
類金属化合物として、各々酸化物以外のものを用いる場
合は、フルオロカーボンを分解処理する温度またはその
近辺の温度で分解されて、各々容易に酸化アルミニウ
ム、ランタノイドの酸化物、アルカリ土類金属の酸化物
となる化合物を用いることが好ましい。これらのアルミ
ニウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土類金属
化合物は、各々前述の本発明の分解処理剤におけるアル
ミニウム化合物、ランタノイド化合物、アルカリ土類金
属化合物と同様のものである。また、各々の造粒物の大
きさ、形状、調製方法、有効成分の含有量、不純物等も
前述の本発明の分解処理剤と同様である。

【００３８】本発明において、分解処理装置の形状は通
常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍ
ｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。分解処理装
置に充填される分解処理剤の充填長は、通常は１０〜１
０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度であ
る。分解処理剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合はフルオ
ロカーボンの分解が不充分となり、１０００ｍｍ以上の
場合は圧力損失が大きくなる。また、処理剤の各層の厚
さは、通常は２〜２００ｍｍである。分解処理装置を加
熱するための手段としては、通常は図１乃至図５のよう
に分解処理装置の外側にヒーターが設置され、外部の制
御装置により温度がコントロールされる。

【００３９】本発明の第１の形態または第２の形態によ
るフルオロカーボンの分解処理においては、フルオロカ
ーボンがＣＦ_４の場合は、分解処理を行なう際に、空気
等の酸素を含有するガス、水、水蒸気またはこれらの混
合物を添加してもよいが、これらを添加しなくてもＣＯ
を排出することなくＣＦ_４を分解できる。また、フルオ
ロカーボンがＣＦ_４以外の場合は、何も添加することな
く、または水、水蒸気のみ添加して分解処理を行なう
と、フルオロカーボンを分解することができるが、ＣＯ
を排出する虞があるので、分解処理を行なう際に、酸素
を含有するガス、水、水蒸気またはこれらの混合物を添
加することが好ましい。また、本発明の第３の形態、第
４の形態、または第５の形態によるフルオロカーボンの
分解処理においては、分解処理を行なう際に、フルオロ
カーボンを含有するガスに、酸素を含有するガス、水、
水蒸気、またはこれらの混合物が添加される。

【００４０】本発明によりＣＦ_４を、酸化アルミニウ
ム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムからなる分解処
理剤により、酸素及び水蒸気を共存させることなく分解
処理する場合は、次の（式1）〜（式３）の反応が起こ
ると推測される。また、ＣＦ_４以外のフルオロカーボ
ン、例えばＣ_２Ｆ_６を、酸化アルミニウム、酸化ランタ
ン、及び酸化カルシウムからなる分解処理剤により、酸
素の共存下で分解する場合は、次の（式４）〜（式６）
の反応が起こると推測される。また、Ｃ_２Ｆ_６を酸化ア
ルミニウム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムからな
る分解処理剤により、水蒸気の共存下で分解する場合
は、（式７）〜（式１２）の反応が起こると推測され
る。

【００４１】

【化１】

【００４２】

【化２】

【００４３】

【化３】

【００４４】すなわち、本発明によりフルオロカーボン
の分解を行なう際には、酸化アルミニウムの表面にはフ
ルオロカーボンとの反応によりフッ化アルミニウムが生
成するが、フッ化アルミニウムは直ちにランタノイドの
酸化物、アルカリ土類金属の酸化物と反応して酸化アル
ミニウムが再生されるので、長時間連続でフルオロカー
ボンを分解処理することができる。尚、前記反応式から
明らかなように、分解処理剤には、アルカリ土類金属化
合物よりランタノイド化合物を多く含ませた方が、分解
処理能力（分解処理剤単位量当たりに対するフルオロカ
ーボンの分解処理量）が向上する。

【００４５】また、本発明の分解処理方法において、酸
素が共存する場合は、ＣＯの排出を防止することができ
る。酸素を共存させずにＣＦ_４以外のフルオロカーボン
の分解を行なった場合は、ＣＯを排出する虞があるが、
後段に乾式浄化装置を備えることにより容易に浄化する
ことができる。また、水蒸気が共存する場合は、水蒸気
がフッ化アルミニウムと反応するので、さらに長時間の
分解処理が可能である。この際は腐食性ガスであるフッ
化水素が発生するが、直ちにランタノイドの酸化物、ア
ルカリ土類金属の酸化物と反応して消失するので、分解
処理装置からこの腐食性ガスが排出されることはない。
尚、本発明の第３の形態、第４の形態、第５の形態によ
るフルオロカーボンの分解処理において水蒸気を共存さ
せた場合は、ＨＦによる下層部の酸化アルミニウムの失
活を防ぐことができる。

【００４６】フルオロカーボンと分解処理剤の接触温度
は、フルオロカーボンの種類、濃度、流量等により異な
り一概に限定することはできないが、ＣＦ_４以外のフル
オロカーボンの分解処理の場合は、通常は３００〜１０
００℃であり、ＣＦ_４の分解処理の場合は、通常は７０
０〜１０００℃である。前記下限温度以下ではフルオロ
カーボンの分解率が低く、一方１０００℃以上では分解
処理装置に耐熱性の高い材料が要求される不都合があ
る。また、フルオロカーボンを分解処理する際の圧力は
通常は常圧で行われるが、１ＫＰａのような減圧あるい
は０．２ＭＰａ（絶対圧力）のような加圧下で行なうこ
ともできる。

【００４７】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スの流速に特に制限はないが、一般的にガス中に含有さ
れるフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくす
ることが好ましい。このため分解処理装置はフルオロカ
ーボンの種類、濃度等などに応じて設計されるが、通常
は空筒基準線速度（ＬＶ）が５０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範
囲となるようにされる。

【００４８】図６は、本発明のフルオロカーボンの分解
処理方法を実施するための分解処理システムの一例を示
す構成図である。図６のフルオロカーボンの分解処理シ
ステムにおいて、フルオロカーボンを含有するガス、酸
素及び／または水蒸気は、各々フルオロカーボン導入ラ
イン９、酸素及び／または水蒸気導入ライン１０からフ
ルオロカーボンの分解処理装置１２に導入され、フルオ
ロカーボンが分解処理された後、分解ガスの排出ライン
１４により排出される。尚、本発明の第１の形態、第２
の形態によりフルオロカーボンの分解処理を行なう場合
は、酸素及び／または水蒸気導入ライン１０を使用する
ことなく分解処理を行なうこともできる。本発明におい
ては、腐食性ガスが排出しないので、図６に示すように
分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処
理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可能で
ある。また、フッ化水素等の腐食性ガスを浄化するため
の装置が不要である。

【００４９】

【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらにより限定されるものではない。

【００５０】実施例１（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）及び酸化ランタン（純度
９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の
比（Ａｌ／Ｌａ）が、０．５となるように混合した。混
合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧
ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で
３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕
して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し
２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを分解処理剤
とした。

【００５１】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００５２】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００５３】実施例２，３実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）
が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、
実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの
分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分
解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５４】実施例４，５実施例１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にし
てＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に
示す。

【００５５】実施例６〜８実施例１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、
各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ _８、ＣＨＦ_３に替えたほかは実施
例１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行
なった。その結果を表１に示す。

【００５６】実施例９，１０実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解
処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５７】実施例１１実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分
解した。

【００５８】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００５９】実施例１２，１３実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）
が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、
実施例１１と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例１１と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６０】実施例１４，１５実施例１１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表１
に示す。

【００６１】実施例１６〜１８実施例１１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６２】実施例１９，２０実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解
処理剤を用いて、実施例１１と同様にしてＣＦ_４の分解
処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６３】実施例２１実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００６４】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００６５】実施例２２，２３実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）
が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、
実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの
分解処理剤を用いて、実施例２１と同様にしてＣＦ_４の
分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６６】実施例２４，２５実施例２１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表１
に示す。

【００６７】実施例２６〜２８実施例２１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例２１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６８】実施例２９，３０実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解
処理剤を用いて、実施例２１と同様にしてＣＦ_４の分解
処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００６９】実施例３１（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタ
ン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、
内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッ
キ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間
加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さ
らに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００
ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒
物とした。これらを原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が０．５
となるように混合して分解処理剤を得た。

【００７０】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００７１】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００７２】実施例３２，３３実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌ
ａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほか
は、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。こ
れらの分解処理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示
す。

【００７３】実施例３４，３５実施例３１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例３１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２
に示す。

【００７４】実施例３６〜３８実施例３１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例３１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００７５】実施例３９，４０実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。

【００７６】実施例４１実施例３１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分
解した。

【００７７】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００７８】実施例４２，４３実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌ
ａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほか
は、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。こ
れらの分解処理剤を用いて、実施例４１と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示
す。

【００７９】実施例４４，４５実施例４１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例４１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２
に示す。

【００８０】実施例４６〜４８実施例４１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例４１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００８１】実施例４９，５０実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例４１と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。

【００８２】実施例５１実施例３１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００８３】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００８４】実施例５２，５３実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌ
ａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほか
は、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。こ
れらの分解処理剤を用いて、実施例５１と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示
す。

【００８５】実施例５４，５５実施例５１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例５１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２
に示す。

【００８６】実施例５６〜５８実施例５１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例５１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００８７】実施例５９，６０実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例５１と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。

【００８８】実施例６１（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の
酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるま
で粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、
油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力
で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破
砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過
し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ラン
タンの造粒物から成る処理剤とした。

【００８９】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図３のような構成で原子数の比（Ａｌ
／Ｌａ）が０．５となるように交互に４層ずつ充填した
（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度
を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を
分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍ
ｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００９０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表３に示す。

【００９１】実施例６２，６３実施例６１の分解処理試験における酸化アルミニウムの
原子数と酸化ランタンの原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が、
各々０．２５、１．０となるように処理剤を積層したほ
かは、実施例６１と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を
行なった。その結果を表３に示す。

【００９２】実施例６４，６５実施例６１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例６１と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表３
に示す。

【００９３】実施例６６〜６８実施例６１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例６１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表３に示す。

【００９４】実施例６９，７０実施例６１の処理剤の調製における酸化ランタンを、各
々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例
６１と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を
用いて、実施例６１と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験
を行なった。その結果を表３に示す。

【００９５】実施例７１〜７３実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験
を行なった。その結果を表４に示す。

【００９６】実施例７４〜７６実施例３１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直
径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例３
１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処
理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表５に示す。

【００９７】実施例７７〜７９実施例６１の処理剤の調製における平均細孔直径１３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Å
の細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの
細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例６１と
同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用い
て、実施例６１と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行
なった。その結果を表６に示す。

【００９８】実施例８０（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）、酸化ランタン（純度９
９％）、及び酸化カルシウム（純度９９％）を１００μ
ｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃ
ａ）が５：９：１となるように混合した。混合物を内径
２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを
用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間加
圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さら
に篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍ
ｍの目の開きを通過しないものを分解処理剤とした。

【００９９】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１００】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表７に示す。

【０１０１】実施例８１，８２実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様
にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用
いて、実施例８０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を
行なった。その結果を表７に示す。

【０１０２】実施例８３，８４実施例８０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例８０と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表７
に示す。

【０１０３】実施例８５〜８７実施例８０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例８０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１０４】実施例８８，８９実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例８０と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１０５】実施例９０実施例８０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分
解した。

【０１０６】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表７に示す。

【０１０７】実施例９１，９２実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様
にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用
いて、実施例９０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を
行なった。その結果を表７に示す。

【０１０８】実施例９３，９４実施例９０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例９０と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表７
に示す。

【０１０９】実施例９５〜９７実施例９０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例９０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１０】実施例９８，９９実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例９０と同様にしてＣＦ_４
の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１１】実施例１００実施例８０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１１２】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表７に示す。

【０１１３】実施例１０１，１０２実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様
にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用
いて、実施例１００と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験
を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１４】実施例１０３，１０４実施例１００の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１００と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表７に示す。

【０１１５】実施例１０５〜１０７実施例１００の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１００と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１６】実施例１０８，１０９実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これら
の分解処理剤を用いて、実施例１００と同様にしてＣＦ
_４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。

【０１１７】実施例１１０（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタ
ン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、
内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッ
キ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間
加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さ
らに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００
ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒
物とした。さらに、市販の酸化カルシウム（純度９９
％）を前記と同様に成型し篩分けしたものを酸化カルシ
ウムの造粒物とした。これらを原子数の比（Ａｌ：Ｌ
ａ：Ｃａ）が５：９：１となるように混合して分解処理
剤を得た。

【０１１８】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１１９】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表８に示す。

【０１２０】実施例１１１，１１２実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１１０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１２１】実施例１１３，１１４実施例１１０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１１０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表８に示す。

【０１２２】実施例１１５〜１１７実施例１１０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１１０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１２３】実施例１１８，１１９実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これ
らの分解処理剤を用いて、実施例１１０と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示
す。

【０１２４】実施例１２０実施例１１０と同様にして調製した分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長が
３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理
剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍ
ｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量
５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を
分解した。

【０１２５】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表８に示す。

【０１２６】実施例１２１，１２２実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１２０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１２７】実施例１２３，１２４実施例１２０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１２０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表８に示す。

【０１２８】実施例１２５〜１２７実施例１２０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１２０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１２９】実施例１２８，１２９実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これ
らの分解処理剤を用いて、実施例１２０と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示
す。

【０１３０】実施例１３０実施例１１０と同様にして調製した分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長が
３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理
剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍ
ｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１３１】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表８に示す。

【０１３２】実施例１３１，１３２実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１３０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１３３】実施例１３３，１３４実施例１３０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１３０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表８に示す。

【０１３４】実施例１３５〜１３７実施例１３０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１３０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表８に示す。

【０１３５】実施例１３８，１３９実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化カルシウ
ムを、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替
えたほかは実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製
した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１３０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表８に示す。

【０１３６】実施例１４０（分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタ
ン（純度９９％）、及び酸化カルシウム（純度９９％）
を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｌ
ａ：Ｃａ）が９：１となるように混合した。混合物を内
径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ
を用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間
加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さ
らに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００
ｍｍの目の開きを通過しないものを混合造粒物とした。
さらに、酸化アルミニウムの造粒物と、酸化ランタン及
び酸化カルシウムの混合造粒物を、原子数の比（Ａｌ：
Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように混合して分解処
理剤を得た。

【０１３７】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１３８】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表９に示す。

【０１３９】実施例１４１，１４２実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１４０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１４０】実施例１４３，１４４実施例１４０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１４０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表９に示す。

【０１４１】実施例１４５〜１４７実施例１４０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１４０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１４２】実施例１４８，１４９実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これ
らの分解処理剤を用いて、実施例１４０と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示
す。

【０１４３】実施例１５０実施例１４０と同様にして調製した分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長が
３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理
剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍ
ｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量
５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を
分解した。

【０１４４】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表９に示す。

【０１４５】実施例１５１，１５２実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１５０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１４６】実施例１５３，１５４実施例１５０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１５０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表９に示す。

【０１４７】実施例１５５〜１５７実施例１５０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１５０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１４８】実施例１５８，１５９実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化ランタン
を、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは
実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これ
らの分解処理剤を用いて、実施例１５０と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示
す。

【０１４９】実施例１６０実施例１４０と同様にして調製した分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長が
３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理
剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍ
ｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１５０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表９に示す。

【０１５１】実施例１６１，１６２実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１
０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０
と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理
剤を用いて、実施例１６０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１５２】実施例１６３，１６４実施例１６０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１６０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表９に示す。

【０１５３】実施例１６５〜１６７実施例１６０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１６０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表９に示す。

【０１５４】実施例１６８，１６９実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化カルシウ
ムを、各々水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムに替
えたほかは実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製
した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１６０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表９に示す。

【０１５５】実施例１７０（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の
酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるま
で粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、
油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力
で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破
砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過
し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ラン
タンの造粒物から成る処理剤とした。さらに、市販の酸
化カルシウム（純度９９％）を前記と同様に成型し篩分
けしたものを酸化カルシウムの造粒物から成る処理剤と
した。

【０１５６】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図４（Ａ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
２層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解し
た。

【０１５７】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１０に示す。

【０１５８】実施例１７１，１７２実施例１７０の分解処理試験における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１
７０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。そ
の結果を表１０に示す。

【０１５９】実施例１７３，１７４実施例１７０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１７０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表１０に示す。

【０１６０】実施例１７５〜１７７実施例１７０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１７０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表１０に示す。

【０１６１】実施例１７８，１７９実施例１７０の処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１７０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理
剤を用いて、実施例１７０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１０に示す。

【０１６２】実施例１８０実施例１７０と同様にして調製した処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図４（Ｂ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
２層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９２７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入し
てＣＦ_４を分解した。

【０１６３】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１１に示す。

【０１６４】実施例１８１，１８２実施例１８０の分解処理試験における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１
８０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。そ
の結果を表１１に示す。

【０１６５】実施例１８３，１８４実施例１８０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１８０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表１１に示す。

【０１６６】実施例１８５〜１８７実施例１８０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１８０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表１１に示す。

【０１６７】実施例１８８，１８９実施例１７０の処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１７０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理
剤を用いて、実施例１８０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１１に示す。

【０１６８】実施例１９０（処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の
酸化ランタン（純度９９％）、及び酸化カルシウム（純
度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数
の比（Ｌａ：Ｃａ）が９：１となるように混合した。混
合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧
ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で
３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕
して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し
２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを混合造粒物
から成る処理剤とした。

【０１６９】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図５（Ａ）のような構成で原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に
３層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装
置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流
量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７
ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水
蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ
／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解し
た。

【０１７０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１２に示す。

【０１７１】実施例１９１，１９２実施例１９０の分解処理試験における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１
９０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。そ
の結果を表１２に示す。

【０１７２】実施例１９３，１９４実施例１９０の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１９０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表１２に示す。

【０１７３】実施例１９５〜１９７実施例１９０の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１９０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１７４】実施例１９８，１９９実施例１９０の処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例１９０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理
剤を用いて、実施例１９０と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１２に示す。

【０１７５】実施例２００実施例１７０と同様にして調製した酸化アルミニウムの
造粒物から成る処理剤、及び、実施例１７０と同様にし
て調製した酸化ランタンの造粒物と酸化カルシウムの造
粒物を混合した処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００
ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図５
（Ｂ）のような構成で原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）
が５：９：１となるように交互に３層ずつ充填した（全
充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８
６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）
を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１７６】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１３に示す。

【０１７７】実施例２０１，２０２実施例２００の分解処理試験における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：
９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例２
００と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。そ
の結果を表１３に示す。

【０１７８】実施例２０３，２０４実施例２００の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各
々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２００と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表１３に示す。

【０１７９】実施例２０５〜２０７実施例２００の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ _５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例２００と同様にしてフルオロカーボンの分解処理
試験を行なった。その結果を表１３に示す。

【０１８０】実施例２０８，２０９実施例２００の処理剤の調製における酸化ランタンを、
各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施
例２００と同様にして処理剤を調製した。これらの処理
剤を用いて、実施例２００と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１３に示す。

【０１８１】実施例２１０〜２１３実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々（５：７：３）、（５：５：
５）、（５：３：７）、（５：１：９）となるように混
合したほかは、実施例８０と同様にして分解処理剤を調
製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例８０と同
様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を
表１４に示す。

【０１８２】実施例２１４〜２１７実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比
（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々（５：７：３）、（５：
５：５）、（５：３：７）、（５：１：９）となるよう
に混合したほかは、実施例１１０と同様にして分解処理
剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１
１０と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。そ
の結果を表１５に示す。

【０１８３】実施例２１８〜２２１実施例１４０の分解処理試験における原子数の比（Ａ
ｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々（５：７：３）、（５：５：
５）、（５：３：７）、（５：１：９）となるように混
合したほかは、実施例１４０と同様にして分解処理剤を
調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１４０
と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結
果を表１６に示す。

【０１８４】比較例１市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充
填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８６０℃に
加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有す
る窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置
に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を
分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【０１８５】この間、実施例１と同様にＣＦ_４の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査し
た。その結果を表１７に示す。

【０１８６】比較例２市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解
処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充
填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８６０℃に
加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有す
る窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置
に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）
及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導
入してＣＦ_４を分解した。

【０１８７】この間、実施例１と同様にＣＦ_４の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査し
た。その結果を表１７に示す。

【０１８８】

【表１】

【０１８９】

【表２】

【０１９０】

【表３】

【０１９１】

【表４】

【０１９２】

【表５】

【０１９３】

【表６】

【０１９４】

【表７】

【０１９５】

【表８】

【０１９６】

【表９】

【０１９７】

【表１０】

【０１９８】

【表１１】

【０１９９】

【表１２】

【０２００】

【表１３】

【０２０１】

【表１４】

【０２０２】

【表１５】

【０２０３】

【表１６】

【０２０４】

【表１７】

【０２０５】

【発明の効果】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤
及び分解処理方法により、半導体製造工程等から排出さ
れる排ガスに含まれるＣＦ_４等のフルオロカーボンを、
短時間で分解処理剤が失活することなく、フッ化水素等
の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の
比較的低い温度で、９９．９％以上の分解率で分解する
ことが可能になった。また、分解処理装置から排出する
分解ガスにフッ化水素等の腐食性ガスが含まれないた
め、これを浄化するための浄化装置が不要となるほか、
分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処
理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可能と
なり熱エネルギーの損失を抑制することができるように
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第
１の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断
面図

【図２】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第
２の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断
面図

【図３】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第
３の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断
面図

【図４】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第
４の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断
面図

【図５】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第
５の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断
面図

【図６】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実
施するための分解処理システムの例を示す構成図

【符号の説明】

１アルミニウム化合物の造粒物２ランタノイド化合物の造粒物３アルカリ土類金属化合物の造粒物４アルミニウム化合物及びランタノイド化合物を混合
し造粒して成る造粒物５アルミニウム化合物、ランタノイド化合物、及びア
ルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る造粒物６ランタノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物を
混合し造粒して成る造粒物７ヒーター８温度センサー９フルオロカーボン導入ライン１０酸素及び／または水蒸気導入ライン１１熱交換器１２フルオロカーボンの分解処理装置１３温度制御器１４分解ガスの排出ライン１５冷却器１６ブロワー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０７Ｃ 19/08 Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４ＥＣ０９Ｋ 3/00 53/36 Ｇ (72)発明者越智幸史神奈川県平塚市田村5181番地日本パイオニクス株式会社平塚研究所内Ｆターム(参考） 4D002 AA22 AC10 BA05 BA12 CA07 CA08 DA04 DA11 DA12 DA21 DA46 DA70 GA01 GA02 GB02 GB08 GB11 4D048 AA11 AB03 BA01Y BA02X BA03X BA15X BA18X BA42X BB01 4G069 AA02 AA08 BA01B BB06B BC08A BC09B BC38A BC42B CA02 CA10 CA19 DA06 EA02Y 4H006 AA05 AC13 AC26 EA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アルミニウム化合物及びランタノイド化
合物を有効成分として含むことを特徴とするフルオロカ
ーボンの分解処理剤。
【請求項２】アルミニウム化合物とランタノイド化合
物を混合し造粒して成る請求項１に記載のフルオロカー
ボンの分解処理剤。
【請求項３】アルミニウム化合物の造粒物とランタノ
イド化合物の造粒物を混合して成る請求項１に記載のフ
ルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項４】分解処理剤に含まれるアルミニウムとラ
ンタノイドの原子数の比が１：０．１〜１０である請求
項１に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項５】アルミニウム化合物、ランタノイド化合
物、及びアルカリ土類金属化合物を有効成分として含む
ことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項６】アルミニウム化合物、ランタノイド化合
物、及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る
請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項７】アルミニウム化合物の造粒物、ランタノ
イド化合物の造粒物、及びアルカリ土類金属化合物の造
粒物を混合して成る請求項５に記載のフルオロカーボン
の分解処理剤。
【請求項８】アルミニウム化合物の造粒物と、ランタ
ノイド化合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物
を混合して成る請求項５に記載のフルオロカーボンの分
解処理剤。
【請求項９】分解処理剤に含まれるアルミニウムの原
子数と、ランタノイドの原子数及びアルカリ土類金属の
原子数を合せた原子数の比が、１：０．１〜１０である
請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１０】分解処理剤に含まれるランタノイドの
原子数と、アルカリ土類金属の原子数の比が、（１：２
以下）である請求項５に記載のフルオロカーボンの分解
処理剤。
【請求項１１】ランタノイドが、ランタン、セリウ
ム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、及びユーロ
ピウムから選ばれる少なくとも１種である請求項１また
は請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１２】ランタノイド化合物が、ランタノイド
の酸化物、水酸化物、炭酸塩、及び硝酸塩から選ばれる
少なくとも１種である請求項１または請求項５に記載の
フルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１３】アルカリ土類金属化合物が、アルカリ
土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、及び硝酸塩から
選ばれる少なくとも１種である請求項５に記載のフルオ
ロカーボンの分解処理剤。
【請求項１４】アルミニウム化合物が、酸化アルミニ
ウムまたは水酸化アルミニウムである請求項１または請
求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１５】酸化アルミニウムが、平均細孔直径５
０〜２００Åの細孔を有する酸化アルミニウムである請
求項１４に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１６】分解処理剤中の重量割合として、有効
成分が７０％以上含まれる請求項１または請求項５に記
載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項１７】フルオロカーボンがパーフルオロカー
ボンである請求項１または請求項５に記載のフルオロカ
ーボンの分解処理剤。
【請求項１８】フルオロカーボンがＣＦ_４である請求
項１または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処
理剤。
【請求項１９】フルオロカーボンを含有するガスを、
加熱下で、酸化アルミニウム及びランタノイドの酸化物
を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフルオロ
カーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボン
の分解処理方法。
【請求項２０】フルオロカーボンを含有するガスを、
加熱下で、酸化アルミニウム、ランタノイドの酸化物、
及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む分
解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解すること
を特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項２１】フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、分解処理剤と接触さ
せてフルオロカーボンを分解する請求項１９または請求
項２０に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項２２】フルオロカーボンを含有するガスと分
解処理剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求
項１９または請求項２０に記載のフルオロカーボンの分
解処理方法。
【請求項２３】失活した分解処理剤を順次反応系から
排出するとともに、新規分解処理剤を反応系に供給する
請求項１９または請求項２０に記載のフルオロカーボン
の分解処理方法。
【請求項２４】フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、
ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤と接
触させてフルオロカーボンを分解することを特徴とする
フルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項２５】フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、
ランタノイドの酸化物を有効成分として含む処理剤及び
アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤
と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴と
するフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項２６】フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、
ランタノイドの酸化物及びアルカリ土類金属の酸化物を
有効成分として含む処理剤と接触させてフルオロカーボ
ンを分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解
処理方法。
【請求項２７】フルオロカーボンを含有するガスと処
理剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求項２
４乃至請求項２６のいずれかの１項に記載のフルオロカ
ーボンの分解処理方法。
【請求項２８】分解処理前のフルオロカーボンを含有
するガスと分解処理後のガスを熱交換させる請求項１
９、請求項２０、請求項２４、請求項２５、または請求
項２６のいずれかの１項に記載のフルオロカーボンの分
解処理方法。
【請求項２９】フルオロカーボンがパーフルオロカー
ボンである請求項１９、請求項２０、請求項２４、請求
項２５、または請求項２６のいずれかの１項に記載のフ
ルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項３０】フルオロカーボンがＣＦ_４である請求
項１９、請求項２０、請求項２４、請求項２５、または
請求項２６のいずれかの１項に記載のフルオロカーボン
の分解処理方法。