JP2003071244A - フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体製造工程等から排出される排ガスに含
まれるＣＦ_４等のフルオロカーボンを、短時間で分解処
理剤が失活することなく、またフッ化水素等の腐食性ガ
スを排出させることなく、１０００℃以下の比較的低い
温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な分解処理剤
及び分解処理方法を提供する。 【解決手段】 酸化アルミニウム及びリチウム化合物を
有効成分として含む分解処理剤とする。また、加熱下
で、酸化アルミニウム及び酸化リチウムと接触させてフ
ルオロカーボンを分解する。あるいは、加熱下で、酸化
アルミニウムを有効成分として含む処理剤及び酸化リチ
ウムを有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフ
ルオロカーボンを分解する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフルオロカーボンの
分解処理剤及び分解処理方法に関する。さらに詳細には
半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるＣＦ
_４等のフルオロカーボンを、１０００℃以下の比較的低
い温度で長時間効率よく分解処理することが可能な分解
処理剤及び分解処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工業においては、ドライエッ
チング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバー
クリーニングガス等として、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_４Ｆ
_６、Ｃ _５Ｆ_８等のフルオロカーボンが使用されている。
これらのフルオロカーボンは非常に安定な化合物であり
地球温暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した
場合の環境への悪影響が懸念されている。従って、半導
体製造工程から排出される排ガスに含まれるこれらのフ
ルオロカーボンは、回収するかあるいは分解して大気に
放出することが好ましい。

【０００３】従来から使用されているＣＦ_４、Ｃ
_２Ｆ_６、Ｃ_４Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８等のフルオロカーボンを、
エッチングガスやチャンバークリーニングガス等として
用いた後の排ガスは、通常は、窒素、アルゴン、ヘリウ
ム等のキャリアガスをベースガスとし、前記フルオロカ
ーボンの他、ＨＦ、Ｆ_２、ＳｉＦ_４等の酸性ガスが含ま
れることが多い。また、排ガスに含まれるこれらのフル
オロカーボンの濃度は、通常１０〜５００００ｐｐｍ程
度である。このように排ガスに含まれるフルオロカーボ
ンの濃度が比較的低いため、これらの処理には、ランニ
ングコストがより安い分解が多く試みられてきた。

【０００４】従来からフルオロカーボンを分解処理する
方法としては、例えばフルオロカーボンを含む排ガス
を、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎中
に導入して燃焼させる方法、あるいはフルオロカーボン
を含む排ガスに、空気または酸素、あるいは空気または
酸素とともに水分を含む混合ガスを添加して加熱酸化す
る方法によりフルオロカーボンの分解が行なわれてい
た。また、フルオロカーボン等のフッ素化合物を、アル
ミナ存在下で、分子状酸素と接触させる方法（特開平１
０−２８６４３４号公報）、アルミナに６Ａ族、８族、
３Ｂ族の金属及び硫酸、燐酸、ほう酸等の無機酸を担持
させた分解処理触媒と接触させる方法（特開平１１−１
６５０７１号公報）、酸素及び水共存下において、３０
０〜１０００℃に加熱された、アルミナ系触媒と含シリ
カ混合材とを混合して成る触媒層を通過させる方法（特
開２０００−１５０６０号公報）等が開発されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、燃焼法
による分解処理方法は、フルオロカーボンを分解処理し
ていない待機時にも燃焼状態を維持しなければならない
ためエネルギーコストが高い、二酸化炭素を大量に放出
するという不都合があった。空気または酸素を添加して
加熱酸化する分解処理方法は、１０００℃以上の加熱が
必要であり、ＣＦ _４の分解の場合はさらに高い温度が必
要であるため、耐熱性とともに耐腐食性の点で分解処理
装置の実用化が困難であった。

【０００６】アルミナを分解触媒として用いたフルオロ
カーボンの分解処理方法は、比較的低い温度でフルオロ
カーボンを分解できるという長所がある。しかし、この
分解処理方法においては、フルオロカーボンとの反応に
よりアルミナの表面にフッ化アルミニウムが生成し、短
時間で分解触媒が失活するという不都合があった。ま
た、アルミナに金属、無機酸、あるいはシリカを添加し
た分解処理触媒は、分解触媒の活性を比較的長時間維持
させることを目的に開発されたものであるが、分解対象
のフルオロカーボンがＣＦ_４の場合は、１０００℃以下
の温度で１００％近い分解率を維持して長時間連続で分
解処理することは困難であった。

【０００７】さらに、水の共存下でフルオロカーボンの
分解処理を行なった場合は、分解率を向上させることが
できるが、分解処理後にフッ化水素が生成するため、排
ガスを大気に放出するに先立って湿式浄化装置等により
これを除去する必要があるほか、分解処理装置から排出
される排ガスは、高温かつ腐食性であるため熱交換器を
使用することができないという不都合があった。従っ
て、本発明が解決しようとする課題は、半導体製造工程
等から排出される排ガスに含まれるＣＦ_４等のフルオロ
カーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、
またフッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、
１０００℃以下の比較的低い温度で９９．９％以上の分
解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供す
ることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、フルオロカーボン
の分解処理剤の構成成分として酸化アルミニウム及びリ
チウム化合物を用い、これらを加熱して得られる酸化ア
ルミニウム及び酸化リチウムを有効成分として含む分解
処理剤に、あるいは酸化アルミニウムを有効成分として
含む処理剤及び酸化リチウムを有効成分として含む処理
剤と交互に、フルオロカーボンを接触させることによ
り、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、
フルオロカーボンがＣＦ_４の場合であっても１０００℃
以下の比較的低い温度で９９．９％以上の分解率を維持
して長時間連続で分解処理できることを見い出し本発明
のフルオロカーボンの分解処理方法に到達した。

【０００９】すなわち本発明は、酸化アルミニウム及び
リチウム化合物を有効成分として含むことを特徴とする
フルオロカーボンの分解処理剤である。また、本発明
は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸
化アルミニウム及び酸化リチウムを有効成分として含む
分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解するこ
とを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法でもあ
る。

【００１０】また、本発明は、フルオロカーボンを含有
するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下
で、酸化アルミニウム及び酸化リチウムを有効成分とし
て含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解
することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法
でもある。さらに、本発明は、フルオロカーボンを含有
するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下
で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及び
酸化リチウムを有効成分として含む処理剤と交互に接触
させてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理方法でもある。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明のフルオロカーボンの分解
処理剤及び分解処理方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム
等のガス中に含まれる、炭化水素の全てがフッ素に置換
されたパーフルオロカーボン、一部がフッ素に置換され
たヒドロフルオロカーボンの分解処理に適用されるが、
これらのフルオロカーボンの中でも化学的に安定なＣＦ
_４の分解処理において、短時間で分解処理剤が失活する
ことなく、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させること
なく、１０００℃以下の分解温度で９９．９％以上の分
解率で分解可能な点で特に効果を発揮する。

【００１２】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤
は、酸化アルミニウム及び酸化リチウム、水酸化リチウ
ム、炭酸リチウム等のリチウム化合物を有効成分として
含む分解処理剤である。また、本発明のフルオロカーボ
ンの分解処理方法は、フルオロカーボンを含有するガス
を、加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化リチウムを有
効成分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカー
ボンを分解する分解処理方法である。また、本発明のフ
ルオロカーボンの分解処理方法は、フルオロカーボンを
含有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加
熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤
及び酸化リチウムを有効成分として含む処理剤と交互に
接触させてフルオロカーボンを分解する分解処理方法で
もある。

【００１３】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤及
び分解処理方法において、分解処理の対象となるフルオ
ロカーボンとしては、例えば、ＣＦ_４、Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_３
Ｆ_８、Ｃ_４Ｆ_１０、Ｃ_５Ｆ_１２、Ｃ_４Ｆ_８、Ｃ_４Ｆ_６、
Ｃ_５Ｆ_８等のパーフルオロカーボン及びＣＨ_３Ｆ、ＣＨ
_２Ｆ_２、ＣＨＦ_３、Ｃ_２Ｈ_４Ｆ_２、Ｃ_２Ｈ_２Ｆ_４等のヒ
ドロフルオロカーボンが挙げられる。

【００１４】以下、本発明のフルオロカーボンの分解処
理剤について詳細に説明する。本発明においてフルオロ
カーボンを分解処理する際には、酸化アルミニウムと酸
化リチウムを有効成分とする分解処理剤が必要である。
ただし、本発明においては、酸化リチウムに替えて、フ
ルオロカーボンを分解処理する温度またはその近辺の温
度で、分解されて酸化リチウムとなるリチウム化合物を
用いることができる。これらの化合物としては、リチウ
ムの水酸化物（水和物を含む）、炭酸塩、硫酸塩、硝酸
塩、有機酸塩等を挙げることができるが、容易に酸化物
に転換できる点及び有害ガス等を排出しない点で水酸化
リチウム、炭酸リチウムを用いることが好ましい。

【００１５】また、本発明に用いられる酸化アルミニウ
ムとしては、平均細孔直径が５０〜２００Åの細孔を有
するものが好ましい。平均細孔直径が５０Å未満の細孔
を有する酸化アルミニウムまたは平均細孔直径が２００
Åを越える細孔を有する酸化アルミニウムを用いた場合
は、フルオロカーボンの分解率が低下する虞を生じる。
また、比表面積が１００ｍ^２／ｇ以上の酸化アルミニウ
ムが好ましい。酸化アルミニウムの純度は９９％以上で
あることが好ましく、さらに９９．９％以上であること
がより好ましい。

【００１６】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤
は、通常は前記の酸化アルミニウムとリチウム化合物
を、混合し造粒することにより調製されるか、あるいは
酸化アルミニウムを造粒するとともにリチウム化合物を
造粒した後、これらを混合することにより調製される。
いずれの分解処理剤の調製方法においても、分解処理剤
に含まれるアルミニウムとリチウムの原子数の比が、通
常は０．１〜１０となるように、好ましくは０．２〜
５．０となるように調製される。また、いずれの調製方
法においても、通常は直径が０．１〜２０ｍｍ程度、好
ましくは直径が１〜１０ｍｍ程度の球状、これに類似す
る形状、またはこれに相当する大きさ及び形状となるよ
うに造粒して調製される。

【００１７】また、本発明のフルオロカーボンの分解処
理剤は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、
有効成分のほかにバインダーを加えてもよい。このよう
なバインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、メチル
セルロース、カルボキシメチルセルロースなどの有機系
バインダー、シリカ、珪藻土、珪酸ナトリウム、硫酸水
素ナトリウムなどの無機系バインダーを挙げることがで
きる。これらのバインダーを加える場合は、浄化剤を調
製する際に有効成分に添加、混練される。バインダーの
添加量は、成型条件などによって異なり一概には特定で
きないが、少なすぎる場合はバインダーとしての効果が
得られず、多すぎる場合は分解処理能力が低下すること
から、通常は分解処理剤全重量に対して０．１〜１０ｗ
ｔ％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。

【００１８】また、分解処理剤中にはフルオロカーボン
の分解に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含
んでいてもよい。さらに、使用前の分解処理剤は水分を
含んでいてもよいが含まない方が好ましい。従って、酸
化アルミニウムとリチウム化合物を混合し造粒する際
は、打錠成型により造粒することが好ましい。尚、これ
らのバインダー、不純物、不活性物質、水分などを含ん
だ場合においても、分解処理剤中の有効成分の含有量
は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましくは９０ｗｔ％以上
である。

【００１９】次に、本発明のフルオロカーボンの分解処
理方法を、図１乃至図３に基づいて詳細に説明するが、
本発明がこれらにより限定されるものではない。本発明
のフルオロカーボンの分解処理方法の第一の形態は、フ
ルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アル
ミニウム及び酸化リチウムを有効成分として含む分解処
理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であ
り、図１はそのための分解処理装置の例を示す断面図で
ある。また、本発明のフルオロカーボンの分解処理方法
の第二の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、
酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
ミニウムを有効成分として含む処理剤及び酸化リチウム
を有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフルオ
ロカーボンを分解する方法であり、図２はそのための分
解処理装置の例を示す断面図である。

【００２０】フルオロカーボンの分解を、本発明の分解
処理方法の第一の形態により実施する場合は、通常は前
述の本発明の分解処理剤が使用される。また、フルオロ
カーボンの分解を、本発明の分解処理方法の第二の形態
により実施する場合は、通常は酸化アルミニウムを有効
成分として含む処理剤として、酸化アルミニウムの造粒
物が使用され、酸化リチウムを有効成分として含む処理
剤として、酸化リチウムの造粒物が使用される。ただ
し、第一の形態の場合と同様に、酸化リチウムに替え
て、フルオロカーボンを分解処理する温度またはその近
辺の温度で分解されて酸化リチウムとなる水酸化リチウ
ム（水和物を含む）、炭酸リチウム等を用いることがで
きる。

【００２１】本発明の第二の形態による分解処理方法に
おいても、酸化アルミニウムとしては、平均細孔直径が
５０〜２００Åの細孔を有し、比表面積が１００ｍ^２／
ｇ以上で、純度が９９％以上のものが好ましい。また、
各々の造粒物は、通常は直径が０．１〜２０ｍｍ程度、
好ましくは１〜１０ｍｍ程度の球状、これに類似する形
状、またはこれに相当する大きさ及び形状となるように
調製される。尚、各々の処理剤中の有効成分の含有量
は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましくは９０ｗｔ％以上
である。

【００２２】本発明において、分解処理方法の第一の形
態によりフルオロカーボンの分解処理を実施する場合
は、分解処理を行なう前、分解処理装置に、例えば、図
１（Ａ）に示すように、酸化アルミニウムとリチウム化
合物を混合し造粒した造粒物１から成る分解処理剤が充
填されるか、あるいは、図１（Ｂ）に示すように、酸化
アルミニウムの造粒物２とリチウム化合物の造粒物３が
混合して成る分解処理剤が充填される。

【００２３】また、本発明において、分解処理方法の第
二の形態によりフルオロカーボンの分解処理を実施する
場合は、分解処理を行なう前、分解処理装置に、例え
ば、図２に示すように、酸化アルミニウムの造粒物２か
ら成る処理剤とリチウム化合物の造粒物３から成る処理
剤が交互に積層される。尚、分解処理方法の第二の形態
によるフルオロカーボンの分解処理において、酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤の層の厚さ、リチウム
化合物の造粒物から成る処理剤の層の厚さは、両者共通
常は２〜２００ｍｍである。

【００２４】本発明において、分解処理装置の形状は通
常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍ
ｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。分解処理装
置に充填される分解処理剤の充填長は、通常は１０〜１
０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度であ
る。分解処理剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合はフルオ
ロカーボンの分解が不充分となり、１０００ｍｍ以上の
場合は圧力損失が大きくなる。また、分解処理装置を加
熱するための手段としては、通常は図１または図２のよ
うに分解処理装置の外側にヒーターが設置され、外部の
制御装置により温度がコントロールされる。尚、分解処
理装置のヒーターとして、多段に分割したヒーターを用
いて温度制御することもできる。

【００２５】本発明においては、第一の形態によりフル
オロカーボンの分解処理を行なう場合は、図１に示す分
解処理装置のように分解処理剤を固定床として用いるほ
か、移動床、流動床として用いることができる。例え
ば、失活した分解処理剤を分解処理装置の下部に設けた
分解処理剤排出口から排出するとともに、分解処理装置
の上部に設けた分解処理剤供給口から新規分解処理剤を
反応系に供給する構成とすることにより、さらに長時間
にわたり連続してフルオロカーボンの分解処理を実施す
ることができる。

【００２６】本発明の第一の形態によるフルオロカーボ
ンの分解処理においては、フルオロカーボンがＣＦ_４の
場合は、分解処理を行なう際に、空気等の酸素を含有す
るガス、水、水蒸気またはこれらの混合物を添加しても
よいが、これらを添加しなくてもＣＯを排出することな
くＣＦ_４を分解できる。また、フルオロカーボンがＣＦ
_４以外の場合は、何も添加することなく、または水、水
蒸気のみ添加して分解処理を行なうと、フルオロカーボ
ンを分解することができるが、ＣＯを排出する虞がある
ので、分解処理を行なう際に、酸素を含有するガス、
水、水蒸気またはこれらの混合物を添加することが好ま
しい。また、本発明の第二の形態によるフルオロカーボ
ンの分解処理においては、分解処理を行なう際に、フル
オロカーボンを含有するガスに、酸素を含有するガス、
水、水蒸気、またはこれらの混合物が添加される。

【００２７】本発明によりＣＦ_４を、酸化アルミニウム
及び酸化リチウムからなる分解処理剤により、酸素及び
水蒸気を共存させることなく分解処理する場合は、次の
（式1）及び（式２）の反応が起こると推測される。ま
た、ＣＦ_４以外のフルオロカーボン、例えばＣ_２Ｆ
_６を、酸化アルミニウム及び酸化リチウムからなる分解
処理剤により、酸素の共存下で分解する場合は、次の
（式３）及び（式４）の反応が起こると推測される。ま
た、Ｃ_２Ｆ_６を、酸化アルミニウム及び酸化リチウムか
らなる分解処理剤により、水蒸気の共存下で分解する場
合は、（式５）（式６）（式７）及び（式８）の反応が
起こると推測される。

【００２８】

【化１】

【００２９】

【化２】

【００３０】

【化３】

【００３１】すなわち、本発明によりフルオロカーボン
の分解を行なう際には、酸化アルミニウムの表面にはフ
ルオロカーボンとの反応によりフッ化アルミニウムが生
成するが、フッ化アルミニウムは直ちに酸化リチウムと
反応して酸化アルミニウムが再生されるので、長時間連
続でフルオロカーボンを分解処理することができる。ま
た、酸素が共存する場合は、ＣＯの排出を防止すること
ができる。酸素を共存させずにＣＦ_４以外のフルオロカ
ーボンの分解を行なった場合は、ＣＯを排出する虞があ
るが、後段に乾式浄化装置を備えることにより容易に浄
化することができる。また、水蒸気が共存する場合は、
水蒸気がフッ化アルミニウムと反応するので、さらに酸
化リチウムのみの場合より長時間の分解処理が可能であ
る。この際は腐食性ガスであるフッ化水素が発生する
が、直ちに酸化リチウムと反応して消失するので、分解
処理装置からこの腐食性ガスが排出されることはない。
尚、本発明の第二の形態によるフルオロカーボンの分解
処理において水蒸気を共存させた場合は、ＨＦによる下
層部の酸化アルミニウムの失活を防ぐことができる。

【００３２】フルオロカーボンと分解処理剤の接触温度
は、フルオロカーボンの種類、濃度、流量等により異な
り一概に限定することはできないが、ＣＦ_４以外のフル
オロカーボンの分解処理の場合は、通常は３００〜１０
００℃であり、ＣＦ_４の分解処理の場合は、通常は７０
０〜１０００℃である。前記下限温度以下ではフルオロ
カーボンの分解率が低く、一方１０００℃以上では分解
処理装置に耐熱性の高い材料が要求される不都合があ
る。また、フルオロカーボンを分解処理する際の圧力は
通常は常圧で行われるが、減圧あるいは加圧下で行なう
こともできる。

【００３３】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スの流速に特に制限はないが、一般的にガス中に含有さ
れるフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくす
ることが好ましい。このため分解処理装置はフルオロカ
ーボンの種類、濃度等などに応じて設計されるが、通常
は空筒基準線速度（ＬＶ）が５０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範
囲となるようにされる。

【００３４】図３は、本発明のフルオロカーボンの分解
処理方法を実施するための分解処理システムの一例を示
す構成図である。図３のフルオロカーボンの分解処理シ
ステムにおいて、フルオロカーボンを含有するガス、酸
素及び／または水蒸気は、各々フルオロカーボン導入ラ
イン６、酸素及び／または水蒸気導入ライン７からフル
オロカーボンの分解処理装置９に導入され、フルオロカ
ーボンが分解処理された後、分解ガスの排出ライン１１
により排出される。尚、本発明の第一の形態によりフル
オロカーボンの分解処理を行なう場合は、酸素及び／ま
たは水蒸気導入ライン７を使用することなく分解処理を
行なうこともできる。本発明においては、腐食性ガスが
排出しないので、図３に示すように分解処理前のフルオ
ロカーボンを含有するガスと分解処理後のガスを熱交換
器により熱交換させることが可能である。また、フッ化
水素等の腐食性ガスを浄化するための装置が不要であ
る。

【００３５】

【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらにより限定されるものではない。

【００３６】実施例１ （分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％）及び酸化リチウム（純度
９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の
比（Ａｌ／Ｌｉ）が、１．０となるように混合した。混
合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧
ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で
３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕
して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し
２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを分解処理剤
とした。

【００３７】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分
解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長
が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処
理剤の温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０
ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／
ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気
（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００３８】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００３９】実施例２，３ 実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウム
と酸化リチウムの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌｉ）
が各々０．５、２．０となるように混合したほかは、実
施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分
解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分解
処理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４０】実施例４，５ 実施例１の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にし
てＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に
示す。

【００４１】実施例６〜８ 実施例１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、
各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ _８、ＣＨＦ_３に替えたほかは実施
例１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行
なった。その結果を表１に示す。

【００４２】実施例９，１０ 実施例１の分解処理剤の調製における酸化リチウムを、
各々水酸化リチウム、炭酸リチウムに替えたほかは実施
例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解
処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４３】実施例１１ 実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分
解した。

【００４４】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００４５】実施例１２〜１４ 実施例１１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４６】実施例１５ 実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を
分解した。

【００４７】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００４８】実施例１６〜１８ 実施例１５の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１５と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表１に示す。

【００４９】実施例１９ 実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２
ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理
装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３０
０ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の
温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／
ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００５０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表１に示す。

【００５１】実施例２０〜２２ 実施例１９の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例１９と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表１に示す。

【００５２】実施例２３ （分解処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直
径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化
アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化リチウ
ム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、
内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッ
キ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力で３０秒間
加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さ
らに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００
ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化リチウムの造粒
物とした。これらを原子数の比（Ａｌ／Ｌｉ）が１．０
となるように混合して分解処理剤を得た。

【００５３】（分解処理試験）前記の分解処理剤を、内
径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）
を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００５４】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００５５】実施例２４，２５ 実施例２３の分解処理剤の調製における酸化アルミニウ
ムと酸化リチウムの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌ
ｉ）が各々０．５、２．０となるように混合したほか
は、実施例２３と同様にして分解処理剤を調製した。こ
れらの分解処理剤を用いて、実施例２３と同様にしてＣ
Ｆ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示
す。

【００５６】実施例２６，２７ 実施例２３の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２３と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表２
に示す。

【００５７】実施例２８〜３０ 実施例２３の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例２３と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００５８】実施例３１，３２ 実施例２３の分解処理剤の調製における酸化リチウム
を、各々水酸化リチウム（一水和物）、炭酸リチウムに
替えたほかは実施例２３と同様にして分解処理剤を調製
した。これらの分解処理剤を用いて、実施例２３と同様
にしてＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表
２に示す。

【００５９】実施例３３ 実施例２３と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５
０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分
解した。

【００６０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００６１】実施例３４〜３６実施例３３の分解処理試
験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ
_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは実施例３３と同様にしてフ
ルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を
表２に示す。

【００６２】実施例３７ 実施例２３と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量
７３ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を
分解した。

【００６３】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００６４】実施例３８〜４０ 実施例３７の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例３７と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００６５】実施例４１ 実施例２３と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３
００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤
の温度を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ
／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００６６】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表２に示す。

【００６７】実施例４２〜４４ 実施例４１の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例４１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表２に示す。

【００６８】実施例４５ （処理剤の調製）市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１
３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アル
ミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の
酸化リチウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるま
で粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、
油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力
で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破
砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過
し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化リチ
ウムの造粒物から成る処理剤とした。

【００６９】（分解処理試験）前記の処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理装
置の内部に、図２のような構成で原子数の比（Ａｌ／Ｌ
ｉ）が１．０となるように交互に４層ずつ充填した（全
充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８
００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）
を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／
ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理
装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００７０】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表３に示す。

【００７１】実施例４６，４７ 実施例４５の分解処理試験における酸化アルミニウムの
原子数と酸化リチウムの原子数の比（Ａｌ／Ｌｉ）が、
各々０．５、２．０となるように処理剤を積層したほか
は、実施例４５と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行
なった。その結果を表３に示す。

【００７２】実施例４８，４９ 実施例４５の分解処理試験におけるＣＦ_４の濃度を各々
０．２％、２．０％に変えたほかは実施例４５と同様に
してＣＦ_４の分解処理試験を行なった。その結果を表３
に示す。

【００７３】実施例５０〜５２ 実施例４５の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例４５と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表３に示す。

【００７４】実施例５３，５４ 実施例４５の処理剤の調製における酸化リチウムを、各
々水酸化リチウム、炭酸リチウムに替えたほかは実施例
４５と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を
用いて、実施例４５と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験
を行なった。その結果を表３に示す。

【００７５】実施例５５ 実施例４５と同様にして調製した分解処理剤を、内径４
２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処
理装置の内部に、図２のような構成で充填長が３００ｍ
ｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度
を８００℃に加熱した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉ
ｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）を
分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍ
ｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ_４を分解し
た。

【００７６】この間、３０分毎に分解処理装置の排出口
から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ
（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱
伝導度検出器）によってＣＦ_４の分析を行ないＣＦ_４の
分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分
解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解
処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦ
の排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調
査した。その結果を表３に示す。

【００７７】実施例５６〜５８ 実施例５５の分解処理試験におけるフルオロカーボン
を、各々Ｃ_２Ｆ_６、Ｃ_５Ｆ_８、ＣＨＦ_３に替えたほかは
実施例５５と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試
験を行なった。その結果を表３に示す。

【００７８】実施例５９〜６１ 実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０
Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Å
の細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と
同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤
を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験
を行なった。その結果を表４に示す。

【００７９】実施例６２〜６４ 実施例２３の分解処理剤の調製における平均細孔直径１
３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直
径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例２
３と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処
理剤を用いて、実施例２３と同様にしてＣＦ_４の分解処
理試験を行なった。その結果を表５に示す。

【００８０】実施例６５〜６７ 実施例４５の処理剤の調製における平均細孔直径１３０
Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３
０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Å
の細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの
細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例４５と
同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用い
て、実施例４５と同様にしてＣＦ_４の分解処理試験を行
なった。その結果を表６に示す。

【００８１】比較例１ 市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理
装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填し
た。分解処理装置の分解処理剤の温度を８００℃に加熱
した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導
入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解
処理装置に導入してＣＦ_４を分解した。

【００８２】この間、実施例１と同様にＣＦ_４の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査し
た。その結果を表７に示す。

【００８３】比較例２ 市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９
９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒
物から成る分解処理剤とした。この分解処理剤を、内径
４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのセラミック製の分解処理
装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填し
た。分解処理装置の分解処理剤の温度を８６０℃に加熱
した後、ＣＦ_４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒
素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導
入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び
酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入し
てＣＦ_４を分解した。

【００８４】この間、実施例１と同様にＣＦ_４の分解率
が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理
剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ_４の分解処理量
（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出
の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査し
た。その結果を表７に示す。

【００８５】

【表１】

【００８６】

【表２】

【００８７】

【表３】

【００８８】

【表４】

【００８９】

【表５】

【００９０】

【表６】

【００９１】

【表７】

【００９２】

【発明の効果】本発明のフルオロカーボンの分解処理剤
及び分解処理方法により、半導体製造工程等から排出さ
れる排ガスに含まれるＣＦ_４等のフルオロカーボンを、
短時間で分解処理剤が失活することなく、フッ化水素等
の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の
比較的低い温度で、９９．９％以上の分解率で分解する
ことが可能になった。また、分解処理装置から排出する
分解ガスにフッ化水素等の腐食性ガスが含まれないた
め、これを浄化するための浄化装置が不要となるほか、
分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処
理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可能と
なり熱エネルギーの損失を抑制することができるように
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実
施するための分解処理装置の例を示す断面図

【図２】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実
施するための図１以外の分解処理装置の例を示す断面図

【図３】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実
施するための分解処理システムの例を示す構成図

【符号の説明】

１ 酸化アルミニウムとリチウム化合物を混合し造粒し
て成る造粒物 ２ 酸化アルミニウムの造粒物 ３ リチウム化合物の造粒物 ４ ヒーター ５ 温度センサー ６ フルオロカーボン導入ライン ７ 酸素及び／または水蒸気導入ライン ８ 熱交換器 ９ フルオロカーボンの分解処理装置 １０ 温度制御器 １１ 分解ガスの排出ライン １２ 冷却器 １３ ブロワー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 友久 神奈川県平塚市田村5181番地 日本パイオ ニクス株式会社平塚研究所内 (72)発明者 越智 幸史 神奈川県平塚市田村5181番地 日本パイオ ニクス株式会社平塚研究所内 Ｆターム(参考） 4D002 AA22 AC10 BA12 BA20 CA07 DA01 DA08 DA11 DA12 DA16 EA03 GA01 GB03 HA08 4G069 AA02 AA03 AA08 BA01A BA01B BB06A BB06B BC04A BC04B CA02 CA10 CA19 DA06 EA02Y FB64

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 酸化アルミニウム及びリチウム化合物を
   有効成分として含むことを特徴とするフルオロカーボン
   の分解処理剤。
2. 【請求項２】 酸化アルミニウムとリチウム化合物を混
   合し造粒して成る請求項１に記載のフルオロカーボンの
   分解処理剤。
3. 【請求項３】 酸化アルミニウムの造粒物とリチウム化
   合物の造粒物を混合して成る請求項１に記載のフルオロ
   カーボンの分解処理剤。
4. 【請求項４】 分解処理剤に含まれるアルミニウムとリ
   チウムの原子数の比が、０．１〜１０である請求項１に
   記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
5. 【請求項５】 酸化アルミニウムが、平均細孔直径５０
   〜２００Åの細孔を有する酸化アルミニウムである請求
   項１に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
6. 【請求項６】 リチウム化合物が、酸化リチウム、水酸
   化リチウム、または炭酸リチウムである請求項１に記載
   のフルオロカーボンの分解処理剤。
7. 【請求項７】 分解処理剤中の重量割合として、有効成
   分が７０％以上含まれる請求項１に記載のフルオロカー
   ボンの分解処理剤。
8. 【請求項８】 フルオロカーボンがパーフルオロカーボ
   ンである請求項１に記載のフルオロカーボンの分解処理
   剤。
9. 【請求項９】 フルオロカーボンがＣＦ_４である請求項
   １に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
10. 【請求項１０】 フルオロカーボンを含有するガスを、
    加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化リチウムを有効成
    分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボン
    を分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処
    理方法。
11. 【請求項１１】 フルオロカーボンを含有するガスを、
    酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
    ミニウム及び酸化リチウムを有効成分として含む分解処
    理剤と接触させてフルオロカーボンを分解することを特
    徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。
12. 【請求項１２】 加熱する前の分解処理剤が、酸化アル
    ミニウムとリチウム化合物を混合し造粒して成る分解処
    理剤である請求項１０または請求項１１に記載のフルオ
    ロカーボンの分解処理方法。
13. 【請求項１３】 加熱する前の分解処理剤が、酸化アル
    ミニウムの造粒物とリチウム化合物の造粒物を混合して
    成る分解処理剤である請求項１０または請求項１１に記
    載のフルオロカーボンの分解処理方法。
14. 【請求項１４】 フルオロカーボンを含有するガスと分
    解処理剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求
    項１０または請求項１１に記載のフルオロカーボンの分
    解処理方法。
15. 【請求項１５】 失活した分解処理剤を順次反応系から
    排出するとともに、新規分解処理剤を反応系に供給する
    請求項１０または請求項１１に記載のフルオロカーボン
    の分解処理方法。
16. 【請求項１６】 フルオロカーボンを含有するガスを、
    酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アル
    ミニウムを有効成分として含む処理剤及び酸化リチウム
    を有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフルオ
    ロカーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボ
    ンの分解処理方法。
17. 【請求項１７】 加熱する前の酸化リチウムを有効成分
    として含む処理剤が、リチウム化合物の造粒物から成る
    処理剤である請求項１６に記載のフルオロカーボンの分
    解処理方法。
18. 【請求項１８】 フルオロカーボンを含有するガスと処
    理剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求項１
    ６に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
19. 【請求項１９】 リチウム化合物が、酸化リチウム、水
    酸化リチウム、または炭酸リチウムである請求項１２、
    請求項１３、または請求項１７に記載のフルオロカーボ
    ンの分解処理方法。
20. 【請求項２０】 分解処理前のフルオロカーボンを含有
    するガスと分解処理後のガスを熱交換させる請求項１
    ０、請求項１１または請求項１６に記載のフルオロカー
    ボンの分解処理方法。
21. 【請求項２１】 フルオロカーボンがＣＦ_４である請求
    項１０に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
22. 【請求項２２】 フルオロカーボンがパーフルオロカー
    ボンである請求項１１または請求項１６に記載のフルオ
    ロカーボンの分解処理方法。