JP2012005929A - フッ素含有化合物ガスの除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】除去剤としてカルシウム化合物とアルミナとを含む混合物を用いてフッ素含有化合物ガスを除去する方法において、少なくとも、該混合物を除去剤として用いる第1除去工程と第2除去工程を有し、さらには、該混合物中のカルシウム原子とアルミニウム原子の和に対するアルミニウム原子の質量比(Al/(Al+Ca))が、第1除去工程の混合物(第1混合物)より第2除去工程の混合物(第2混合物)の方が大きく、
フッ素含有化合物ガスを含有するガスを、第1除去工程で第1混合物と接触させ、次に第2除去工程で第2混合物と接触させることを特徴とする、フッ素含有化合物ガスの除去方法。
【選択図】 図1
Description
CF4+2CaO → 2CaF2+CO2 (1)
CF4+2CaCO3 → 2CaF2+3CO2 (2)
CF4+2Ca(OH)2 → 2CaF2+CO2 +2H2O (3)
3CF4+2Al2O3 → 4AlF3+3CO2 (4)
これら除去剤を加熱して除去する方法においては、除去処理が進むにつれて、除去剤がフッ化カルシウム(CaF2)やフッ化アルミニウム(AlF3)に変換され、フッ素含有化合物ガスの除去能力が失われるため、定期的な除去剤の交換が必要となる。
上記の実験フローにおいて、除去対象ガスとしてCF4を用い、流量を0.01L/minに、窒素ガスを1L/minに調整して、窒素希釈ガスを充填筒3に供給した。除去剤としてはCaOとアルミナの混合物を使用し、上部には混合質量比Aが0.3、下部には混合質量比Aが0.5のものを用いた。充填長さ300mmのうち、上部充填長さを240(実施例1)、270(実施例2)、285mm(実施例3)、300mm(比較例1)、0mm(比較例2)と変化させ、下部充填長さもそれに応じて調整し、それぞれについて実験を行った。
上記の実験フローにおいて、除去対象ガスとして、CF4の代わりにSF6(実施例4〜6)、C4F8(実施例7〜9)、C3F8(実施例10〜12)、C5F8(実施例13〜15)、C4F6(実施例16〜18)、C2F6(実施例19〜21)、C3F6(実施例22〜24)、CHF3(実施例25〜27)、CH3F(実施例28〜30)、CH2F2(実施例31〜33)をそれぞれ用いる以外は、実施例1〜3と同様に行った。
上部と下部の除去剤のカルシウム化合物にCaOではなく、Ca(OH)2(実施例34〜36)、CaCO3(実施例37〜39)をそれぞれ使用する以外は、実施例1〜3と同様に行った。
用いるカルシウム化合物の種類を、上部にCaOと下部にCaCO3(実施例40)、上部にCaCO3と下部にCaO(実施例41)、上部にCaOと下部にCa(OH)2(実施例42)とする以外は、実施例2と同様に行った。
CF4の流量を0.03L/min、窒素ガスの流量を3L/minとし、充填筒3中の全充填長さ300mmのうち、上部充填長さを180(実施例43)と300(比較例3)に変化させ、下部充填長さもそれに応じて調整する以外は実施例2と同様に行った。
CF4の流量を0.10L/min、窒素ガスの流量を10L/minとし、充填筒3中の全充填長さ300mmのうち、上部充填長さを60(実施例44)と300(比較例4)に変化させ、下部充填長さもそれに応じて調整する以外は実施例2と同様に行った。
CF4の流量を0.005L/min、窒素ガスの流量を1L/minとし、充填筒3中の全充填長さ300mmのうち、上部充填長さを60(実施例45)、30(実施例46)、15(実施例47)、300(比較例5)、0mm(比較例6)と変化させ、下部充填長さもそれに応じて調整する以外は実施例2と同様に行った。
CF4の流量を0.015L/min、窒素ガスの流量を1L/minとし、充填筒3中の全充填長さ300mmのうち、上部充填長さを60(実施例48)、30(実施例49)、15(実施例50)、300(比較例7)、0mm(比較例8)と変化させ、下部充填長さもそれに応じて調整する以外は実施例2と同様に行った。
上部と下部の除去剤の混合重量比Aを逆に上部より下部の方が小さくなるようにして、それぞれ混合重量比Aを上部について0.5、下部について0.3とする以外は実施例1〜3と同様に行った。
2・・・ボンベ(窒素ガス)
3・・・除去剤の充填筒
4・・・充填筒加熱ヒータ
5・・・フーリエ変換式赤外線吸光分析計
Claims (2)
- 除去剤としてカルシウム化合物とアルミナとを含む混合物を用いてフッ素含有化合物ガスを除去する方法において、
少なくとも、該混合物を除去剤として用いる第1除去工程と第2除去工程を有し、
さらには、該混合物中のカルシウム原子とアルミニウム原子の和に対するアルミニウム原子の質量比(Al/(Al+Ca))が、第1除去工程の混合物(第1混合物)より第2除去工程の混合物(第2混合物)の方が大きく、
フッ素含有化合物ガスを含有するガスを、第1除去工程で第1混合物と接触させ、次に第2除去工程で第2混合物と接触させることを特徴とする、フッ素含有化合物ガスの除去方法。 - 第1混合物と第2混合物が共に、混合物中のカルシウム原子とアルミニウム原子の和に対するアルミニウム原子の質量比(Al/(Al+Ca))が、0.1以上、0.8以下の範囲内であることを特徴とする、請求項1に記載のフッ素含有化合物ガスの除去方法。
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