JP2009034662A - フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平均粒子径60μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することを特徴とするフッ素固定剤の調製方法及び当該調製方法により得られるフッ素固定剤。
【選択図】なし
Description
上記複合酸化物における非晶質Al2O3とCaOとの含有比は、モル比でAl2O3:CaO=1:10.5〜1:12.5であるのが、フッ素固定剤としての活性維持の点で好ましく、1:10.5〜1:12であるのが更に好ましい。
CF4→C+4F
の分解反応が進み、(O_Ca)部分からの酸素(O)とカルシウム(Ca)とにより
C+2O→CO2
4F+2Ca→2CaF2
の酸化還元反応が進むと考えられる。
以下、実施例により、本発明を更に具体的に説明する。以下の記載は、本発明の技術思想を具現化する幾つかの実施例を例示するものであり、本発明はこれらの記載によって限定されるものではない。
以下の調製例は、いずれも発生する水分を焼成容器内から速やかに排出させ、Al(OH)3とCa(OH)2との混合物と水分との接触を回避する調製方法を採用した。
得られたフッ素固定剤又はPFC分解処理剤(表1の試料No.1−3)のXRD分析チャートを図5に示す。上段のピークデータは得られたフッ素固定剤又はPFC分解処理剤(試料No.1−3)の生データからの解析ピークであり、下段のカードピークはライブラリーデータからのCaOの特性ピークである。得られたフッ素固定剤又はPFC分解処理剤(試料No.1−3)のピークはCaOのライブラリーデータピークと完全に一致する。参考として図6に結晶性アルミナの標準X線回折スペクトルを示すが、本実施例で得られたフッ素固定剤又はPFC分解処理剤(試料No.1−3)にはAl2O3の特性ピークが見られない。また、後述する比較例のXRDチャートではCa(OH)2のピークが観察されることとの対比から、Ca(OH)2は全量が焼成によりCaOに変化しているといえる。これらのことから、本発明によるフッ素固定剤又はPFC分解処理剤には、焼成により発生する水分がすべて除かれ、水熱反応が進まないため、結晶性Al2O3が生じていないと考えられる。
[フッ素固定剤2]
図2に示すように、箱体の内部に収納棚を有する直接燃焼炉を用いて、各収納棚にAl(OH)3とCa(OH)2との混合物を厚さ10mmに広げて20kgとなるように充填し、空気を20m3/minで流し、100℃/hrの昇温速度で6時間かけて600℃まで昇温させ、さらに600℃で6時間焼成し、フッ素固定剤2を得た。得られたフッ素固定剤2の水分含有率は2.8wt%であった。
[フッ素固定剤3]
図11に示すようにロ−タリキルンは片側に投入口を設け、反対側に排出口を設けた円筒形の内筒(径約60cm×長さ4〜5m)を有し、これの下側の半周に内筒に接することなく、隙間を設けてヒ−タ−を設置している。内筒は投入口から排出口に向かって緩やかな下降傾斜があり、内筒を回転させることで、投入した剤を排出口に移動させている。移動する間に、剤はヒ−タで加熱された内筒の内側で、間接的に加熱される。内筒の中にはガスの強制送気は行わず、内部で発生したガスの上昇気流により、大気が排出口から自然吸引され、剤の流れとは逆方向に排気される構造となっている。このようなロ−タリ−キルンに、Al(OH)3とCa(OH)2との混合物(Al(OH)3の平均粒子径90μm、Ca(OH)2の平均粒子径5μm、Al(OH)3とCa(OH)2との混合割合3:7)を20kg/minの量で投入し、620℃±20℃で約1時間焼成して、フッ素固定剤3を得た。ロータリーキルンを用いて間接的に加熱することによって燃料から発生するCO2の過吸着を避けた。得られたフッ素固定剤3の水分含有率は2.6wt%であった。
[フッ素固定試験]
実施例1でミニカラムにより焼成したフッ素固定剤(表1の試料No.1−3)を図3に示すガス処理装置に充填し、ここにCF4、C4F8、CHF3、CO、COF2、SiF4、HF、F2を含む模擬ガスを通ガスした。図3に示すガス処理装置は、カラム外周と中心部にヒーターを具備し、焼成カラム内に均一な温度に昇温しやすく構成されている。フッ素固定剤層の処理温度は750℃に制御し、排ガス流量は150L/minとした。入口ガス組成及び8時間処理後の出口ガス組成を表2に示す。
上記ガスを処理した後に、フッ素固定剤(試料No.1−3)のXRD分析を行った。図7に示すXRDチャートから、CaOの特性ピークのほかにCaF2のX線回折ピークが出現しており、フッ素固定剤1にFが固定されたことが確認された。
図4に示す構成のガス処理システムを用いて、750℃で1.5時間焼成した本発明のPFC分解処理剤(フッ素固定剤)の性能を調べた。外周にセラミックス製管状炉を取り付けたSUS製ミニカラム(径22mm×高さ300mm)2本を直列に接続させて、各ミニカラムに本発明のPFC分解処理剤49mlを充てんし、PFC分解処理剤層が750℃で安定したところでCF4流入濃度:1.0%、ガス流量:410ml/minでCF4の通ガスを開始した。性能の比較は、ミニカラムの2筒目の出口でCF4除去率が95%を下回るまでの処理時間を計測し、処理時間が長いほど性能が良好であると判断した。表4には、平均粒子径120μmのAl(OH)3を用いた場合のAl(OH)3対Ca(OH)2のモル比を変数として性能を比較した結果を示す。
次に、図4に示すガス処理システムを用いて、同じ処理条件にて、Al(OH)3:Ca(OH)2のモル比を3:7として750℃で1.5時間焼成した場合のAl(OH)3の平均粒子径とCF4処理性能との関係を調べた。その際に、Ca(OH)2は平均粒子径(メディアン径)5μmのもの用いた。結果を表5に示す。
上述の各試験例の結果から、性能上はAl(OH)3:Ca(OH)2のモル比が3:7でAl(OH)3の平均粒子径が120μmである場合に最も高いCF4処理性能が得られることがわかる。しかし、工業ベースでこの組成を用いて量産すると、粉末品の回収率が悪く、コスト高になるため、同じモル比で平均粒子径を90μmにして製品化を図った。この組成で同じ条件で性能評価したところ、CF4除去率が95%時の処理時間は34.8時間となり、最適組成と比較して大きな差がないことを確認した。さらに、Al(OH)3を篩いにかけずに使用した場合には、平均粒子径が55μmであったが、CF4除去率が95%時の処理時間は31.2時間であることが確認できた。この処理時間は、Al(OH)3を篩いにかけて得られる平均粒子径60μmの処理時間31.5時間と差がない。CF4除去率が95%時の処理時間は30時間以上であれば実用に耐えることから、製造コスト(篩い分け)と性能とのバランスを考慮すれば、Al(OH)3は平均粒子径55μm以上でよいことになる。
表7より、本発明のフッ素固定剤は、未焼成の対照混合物と異なり実排ガス処理中に水分を発生せず、F吸着量(CF4処理量)で約2倍強の処理量を行うことができたことがわかる。
Na含有量とCF4処理性能の関係を求めるため、PFC分解処理剤を次の条件で焼成し、Na含有量の異なる処理剤を調製した。表8に、Na含有量の異なるPFC分解処理剤による処理能力の比較を示す。PFC分解処理剤は、Al(OH)3の平均粒子径90μm、Ca(OH)2の平均粒子径5μmを、Al(OH)3とCa(OH)2との配合比率3対7として混合し、ミニカラム(径22 mm×高さ300mm)に充てんし、これをセラミックス製管状炉に装着し、N2 410 mL/minを送気しながら、600℃で5 時間焼成した。これらPFC分解処理剤の各49 mLを図4に示すガス処理システム(ただし、ミニカラムは1筒目だけとした)のミニカラムに充てんし、CF4 流入濃度:1.0%,ガス流量:410 mL/min、処理温度:750℃で3〜4時間通ガスした後に、窒素のみで410mL/min、750℃で加熱し、再度CF4流入濃度:1.0%、ガス流量:410 mL/min、処理温度:750℃で、CF4除去率が95%に低下するまでの処理時間を求めた。Na含有量が少ないほど処理時間が長くなる傾向があり、Na含有量とCF4処理性能の間に相関がみられた。
このような処理剤を得るために、原料として、0.03wt%以下、好ましくは0.01wt%以下Naを含むAl(OH)3と、0.03wt%以下、好ましくは0.01wt%以下のNaを含むCa(OH)2を用いるとよい。
Claims (21)
- 平均粒子径(メディアン径)60μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することを特徴とするフッ素固定剤の調製方法。
- 平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することを特徴とするフッ素固定剤の調製方法。
- 前記混合物を、燃料の燃焼により発生するCO2と直接接触しない状態で焼成する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記混合物を、ロータリーキルンを用いて、滞留時間1時間〜2時間、焼成温度600〜640℃で焼成する、請求項3に記載の方法。
- 平均粒子径(メディアン径)60μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得られることを特徴とするフッ素固定剤。
- 平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得られることを特徴とするフッ素固定剤。
- 前記焼成されたフッ素固定剤は、水含有量が5wt%よりも低い、請求項5又は6に記載のフッ素固定剤。
- 前記焼成されたフッ素固定剤は、非晶質アルミナを一部に含むAl2O3と、CaOとの複合酸化物である、請求項5〜7のいずれかに記載のフッ素固定剤。
- 前記焼成されたフッ素固定剤は、Na含有量が0.03wt%以下であることを特徴とする請求項5〜8に記載のフッ素固定剤。
- さらにZrO2、Laから選択される耐熱性向上剤を含む、請求項5〜9のいずれかに記載のフッ素固定剤。
- さらにPd、Pt、Rh、Ruから選択される酸化力向上助剤を含む、請求項5〜10のいずれかに記載のフッ素固定剤。
- 請求項5〜11のいずれかに記載のフッ素固定剤と、フッ素含有化合物を含む被処理ガスとを接触させることを特徴とする、フッ素固定方法。
- 請求項5〜11のいずれかに記載のフッ素固定剤と、フッ素含有化合物を含む被処理ガスとを550℃〜850℃の温度で接触させる、請求項12に記載の方法。
- 前記フッ素含有化合物を含む被処理ガスはPFC(パーフルオロカーボン)含有ガスである、請求項12又は13に記載の方法。
- 平均粒子径(メディアン径)60μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することを特徴とするPFC(パーフルオロカーボン)分解処理剤の調製方法。
- 平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することを特徴とするPFC(パーフルオロカーボン)分解処理剤の調製方法。
- 燃料の燃焼により発生するCO2と直接接触しない状態で焼成する、請求項15又は16に記載の方法。
- ロータリーキルンを用いて、滞留時間1時間〜2時間、焼成温度600〜640℃で焼成する、請求項17に記載の方法。
- 平均粒子径(メディアン径)60μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得られることを特徴とするPFC(パーフルオロカーボン)分解処理剤。
- 平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)3と、Ca(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得られることを特徴とするPFC(パーフルオロカーボン)分解処理剤。
- 請求項19又は20に記載のPFC(パーフルオロカーボン)分解処理剤と、フッ素含有化合物を含む被処理ガスとを接触させることを特徴とする、フッ素含有化合物を含む被処理ガスの処理方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009034671A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-02-19 | Ebara Corp | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
JP2010158620A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Ebara Corp | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理用反応槽 |
JP2010162475A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Ebara Corp | Sf6を含む排ガスの処理方法 |
JP2010281482A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Ebara Corp | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び装置 |
JP2012005929A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Central Glass Co Ltd | フッ素含有化合物ガスの除去方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5297208B2 (ja) * | 2009-01-08 | 2013-09-25 | 株式会社荏原製作所 | フッ素含有化合物処理剤及び排ガスの処理方法 |
JP5350809B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2013-11-27 | 株式会社荏原製作所 | 予備処理槽を備えた排ガス処理装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001219031A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Air Liquide Japan Ltd | パーフルオロ化合物の分解方法及び分解装置 |
JP2002224565A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-08-13 | Japan Pionics Co Ltd | フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法 |
JP2002370013A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Japan Pionics Co Ltd | フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法 |
JP2004330058A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Denki Kagaku Kogyo Kk | フロンガスの分解処理方法 |
JP2005262128A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ebara Corp | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 |
JP2005270790A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Toda Kogyo Corp | フッ素及び/又はホウ素を吸着する吸着剤 |
JP2005279444A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Kyocera Corp | 水酸化物粒子の製造方法 |
WO2009008454A1 (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Ebara Corporation | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
JP2009034671A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-02-19 | Ebara Corp | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
-
2008
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001219031A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Air Liquide Japan Ltd | パーフルオロ化合物の分解方法及び分解装置 |
JP2002224565A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-08-13 | Japan Pionics Co Ltd | フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法 |
JP2002370013A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Japan Pionics Co Ltd | フッ化硫黄の分解処理剤及び分解処理方法 |
JP2004330058A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Denki Kagaku Kogyo Kk | フロンガスの分解処理方法 |
JP2005262128A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ebara Corp | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 |
JP2005270790A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Toda Kogyo Corp | フッ素及び/又はホウ素を吸着する吸着剤 |
JP2005279444A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Kyocera Corp | 水酸化物粒子の製造方法 |
WO2009008454A1 (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Ebara Corporation | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
JP2009034671A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-02-19 | Ebara Corp | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009034671A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-02-19 | Ebara Corp | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 |
JP2010158620A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Ebara Corp | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理用反応槽 |
JP2010162475A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Ebara Corp | Sf6を含む排ガスの処理方法 |
JP2010281482A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Ebara Corp | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び装置 |
JP2012005929A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Central Glass Co Ltd | フッ素含有化合物ガスの除去方法 |
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