JP2009263534A - 砥粒分散媒、スラリー組成物、脆性材料の研磨方法およびサファイア基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】砥粒を分散させてスラリー組成物を作製するための分散媒において、ベースオイル、および研磨促進剤としてエステル基を有する化合物を含む構成とする。
【選択図】図1
Description
<スラリー組成物>
本発明のスラリー組成物は、砥粒および砥粒分散媒を含有している。砥粒分散媒は、ベースオイルおよび研磨促進剤を含有してなる。この砥粒分散媒に砥粒が分散されて、スラリー組成物が製造される。
(本発明のスラリー組成物の用途)
本発明のスラリー組成物は、脆性材料を研磨する際に使用される。脆性材料としては、例えば、サファイア、炭化珪素、窒化ガリウム、ガラス、セラミックス、シリコン、シリコン酸化膜等が挙げられる。半導体ウエハ、光学レンズ、プリズム、ミラー等を製造する工程において、これらの脆性材料の表面を研磨する必要があり、本発明のスラリー組成物は、この研磨工程において使用される。また、上記脆性材料の中でも特に加工が難しいとされている、サファイア、炭化珪素、窒化ガリウムを研磨するのに使用すると、加工速度および表面傷の防止の点で、より本発明の効果が発揮される。
本発明の研磨用組成物に含まれる砥粒としては、例えば、酸化セリウム、酸化アルミニウム、ダイヤモンド、酸化ジルコニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素等を挙げることができる。この中でも、ダイヤモンドを用いることが好ましい。ダイヤモンドを用いることにより、加工速度および表面傷の防止の点で、より本発明の効果が発揮される。
本発明のスラリー組成物は、研磨促進剤としてエステル基を有する化合物を含有している。これにより、研磨速度を向上させることができると共に、表面研磨傷を防止できる。エステル基を有する化合物としては、脂肪酸と多価アルコールのエステルを用いることが好ましく、例えば、脂肪酸としてはオレイン酸等が挙げられ、多価アルコールとしてはソルビタンやグリセリン等が挙げられる。
ベースオイルとしては、炭化水素油を用いることが好ましい。炭化水素油としては、パラフィン系、オレフィン系、芳香族系などが挙げられる。
本発明のスラリー組成物は、ベースオイル中に、砥粒および研磨促進剤を分散させることにより製造できる。分散方法としては、例えば、通常の撹拌機による方法や、ボールミル等による方法が採用できる。
本発明の砥流分散媒は、ベースオイルおよび研磨促進剤としてエステル基を有する化合物を含んでなる。この砥流分散媒中に砥粒を分散させて、上記したスラリー組成物が作製される。砥粒分散媒は、ベースオイル中にエステル基を有する化合物を添加することにより製造できる。
本発明のスラリー組成物および砥粒分散媒には、上記した砥粒、研磨促進剤、および、ベースオイル以外に、その性能を向上させるために、または、その他の目的に応じて、他の添加剤を添加することができる。このような添加剤としては、例えば、無灰分散剤、酸化防止剤、摩耗防止剤(または極圧剤)、摩擦調整剤、粘度指数向上剤、腐食防止剤、防錆剤、抗乳化剤、金属不活性化剤、消泡剤、および着色剤等の添加剤を挙げることができる。
本発明のスラリー組成物を用いた脆性材料の研磨方法は、例えば、図1に示した装置を用いて実施される。該装置については、先に研磨用組成物の用途において説明した通りである。
(実施例1)
日本油脂社製、NAソルベント(粘度3.1mPa・s、)に、コスモ石油ルブリカンツ社製の石油系炭化水素油を混合したベースオイル(粘度7.2mPa・s、)を用いた。砥粒としては、多結晶ダイヤモンド(粒径1〜2μm)を用いた。研磨促進剤としては、エステル基を有する化合物A(ソルビタンオレイン酸エステル、三洋化成工業社製)を用いた。
上記成分を、ベースオイル89.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物A10質量部の割合で混合し、撹拌機で撹拌して、スラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.4mPa・sであった。
実施例1において、研磨促進剤として、エステル基を有する化合物B(ソルビタンオレイン酸エステルエチレンオキサイド付加物、青木油脂工業社製)を用い、各添加量を、ベースオイル98.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B1質量部とした以外は、実施例1と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.2mPa・sであった。
実施例2において、各添加量を、ベースオイル89.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B10質量部とした以外は、実施例2と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.5mPa・sであった。
実施例2において、各添加量を、ベースオイル69.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B30質量部とした以外は、実施例2と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.8mPa・sであった。
実施例2において、各添加量を、ベースオイル49.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B50質量部とした以外は、実施例2と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、8.0mPa・sであった。
実施例1において、研磨促進剤として、エステル基を有する化合物D(脂肪酸トリグリセリド、(ナタネ油、リノール油脂社製))を用いた以外は、実施例1と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.5mPa・sであった。
実施例3において、 ベースオイルを日本油脂社製、NAソルベントのみとすることより、スラリー組成物の粘度を3.1mPa・sに調整した以外は、実施例3と同様にしてスラリー組成物を作製した。
実施例3において、ベースオイルの、日本油脂社製、NAソルベントと、コスモ石油ルブリカンツ社製、石油系炭化水素油の混合比を調整することにより、スラリー組成物の粘度を10.2mPa・sに調整した以外は、実施例3と同様にしてスラリー組成物を作製した。
実施例3において、ベースオイルの、日本油脂社製、NAソルベントと、コスモ石油ルブリカンツ社製、石油系炭化水素油の混合比を調整することにより、スラリー組成物の粘度を20.6mPa・sに調整した以外は、実施例3と同様にしてスラリー組成物を作製した。
実施例3において、ベースオイルの、日本油脂社製、NAソルベントと、コスモ石油ルブリカンツ社製、石油系炭化水素油の混合比を調整することにより、スラリー組成物の粘度を50.1mPa・sに調整した以外は、実施例3と同様にしてスラリー組成物を作製した。
実施例1において、研磨促進剤を加えずに、各成分の添加量を、ベースオイル99.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、とした以外は、実施例1と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.1mPa・sであった。
実施例2において、各成分の添加量を、ベースオイル99.7質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B0.1質量部とした以外は、実施例2と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.2mPa・sであった。
実施例2において、各成分の添加量を、ベースオイル39.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、エステル基を有する化合物B60質量部とした以外は、実施例2と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、8.5mPa・sであった。
実施例1において、エステル基を有する化合物を加えずに、含窒素系界面活性剤(日油社製、ナイミーンDT−203)を加え、各成分の添加量を、ベースオイル89.8質量部、多結晶ダイヤモンド0.2質量部、含窒素系界面活性剤10質量部とした以外は、実施例1と同様にしてスラリー組成物を作製した。得られたスラリー組成物の粘度は、7.6mPa・sであった。
実施例3において、ベースオイルの、日本油脂社製、NAソルベントと、コスモ石油ルブリカンツ社製、石油系炭化水素油の混合比を調整することにより、スラリー組成物の粘度を63.5mPa・sに調整した以外は、実施例3と同様にしてスラリー組成物を作製した。
図1に示した装置を用いて研磨速度の評価を行った。キャリア50に被加工材40としてサファイア基板を設置して、研磨定盤20(銅製)、およびキャリア50をそれぞれ回転数100rpmで回転させて、キャリア50を定盤20の方向(図示下方向)に29kPaで押し付けて、被加工材40(サファイア基板)の研磨を行った。本発明のスラリー組成物30は、定盤20上に、2ml/分の速度で滴下しながら研磨を行った。研磨時間は2時間とした。
以下、各実施例、比較例、および、参考例の組成および結果を表に示す。表1では、ベースオイルおよび砥粒以外の成分を変化させた例を挙げた。表2では、スラリー組成物の粘度を変化させた例を挙げた。
30 スラリー組成物
40 被加工材
50 キャリア
Claims (14)
- 砥粒を分散させてスラリー組成物を作製するための分散媒であって、ベースオイル、および研磨促進剤としてエステル基を有する化合物を含むことを特徴とする砥粒分散媒。
- ベースオイルが炭化水素油である、請求項1に記載の砥粒分散媒。
- 前記エステル基を有する化合物が、脂肪酸と多価アルコールとのエステルである請求項1または2に記載の砥粒分散媒。
- 前記エステル基を有する化合物の添加量が、砥粒分散媒全体の質量を100質量%として、0.11質量%以上51質量%以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の砥粒分散媒。
- 20℃における、B型回転粘度計により測定した粘度が、1mPa・s以上51mPa・s以下である、請求項1〜4のいずれかに記載の砥粒分散媒。
- 脆性材料を研磨加工する際に使用するスラリー組成物であって、砥粒、および、請求項1〜5のいずれかに記載の砥粒分散媒を含有してなるスラリー組成物。
- 前記砥粒が、ダイヤモンドである、請求項6に記載のスラリー組成物。
- 前記砥粒の添加量が、前記スラリー組成物全体を100質量%として、0.01質量%以上10質量%以下である、請求項6または7に記載のスラリー組成物。
- 前記砥粒の粒径が、0.05μm以上10μm以下である、請求項6〜8のいずれかに記載のスラリー組成物。
- 研磨加工する脆性材料が、サファイア、炭化珪素、窒化ガリウムのいずれかである請求項6〜9のいずれかに記載のスラリー組成物。
- 定盤上に請求項6〜10のいずれかに記載のスラリー組成物を供給する工程、被加工材である脆性材料を該定盤上に押圧して該定盤と該脆性材料とを摺動させて該脆性材料を研磨する工程、を備えた脆性材料の研磨方法。
- 前記定盤が錫または銅を主成分とするものである、請求項11に記載の脆性材料の研磨方法。
- 前記被加工材を前記定盤上に押圧する圧力が、2kPa以上200kPa以下である、請求項11または12に記載の脆性材料の研磨方法。
- 定盤上に請求項6〜10のいずれかに記載のスラリー組成物を供給する工程、サファイア基板を該定盤上に押圧して該定盤と該サファイア基板とを摺動させて該サファイア基板を研磨する工程、を備えたサファイア基板の製造方法。
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