JP2009246292A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】III族窒化物半導体からなる電界効果トランジスタであって、基板上に形成されたGaNからなる電子走行層と、前記電子走行層上に形成され、該電子走行層とはバンドギャップエネルギーが異なるAlxGa1−xN(0.01≦x≦0.4)からなり、該電子走行層に到る深さまで形成されたリセス部によって分離した電子供給層と、前記分離した各電子供給層上に前記リセス部を挟んで形成されたソース電極およびドレイン電極と、前記各電子供給層上にわたって前記リセス部内における前記電子走行層の表面を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、前記リセス部において前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、を備え、前記電子供給層の層厚は、5.5nm以上40nm以下である。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るMOSFETの模式的な断面図である。図1に示すように、このMOSFET100は、サファイア、SiC、ZrB2、Siなどからなる基板101上に、バッファ層102を介して形成された、アンドープのGaNからなる電子走行層103を備えている。バッファ層102は、たとえば厚さ200nm/20nmのGaN/AlN複合層を8層だけ積層したものである。また、電子走行層103は、その厚さが2μm程度のものである。
つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態2に係るMOSFETは、電子走行層が下部層と上部層とを有し、それぞれに異なる濃度のMgが添加されている。
ρ++ND +=ρ−+N2D − ・・・ (1)
ただし、式(1)において、ρ+、ρ−はそれぞれ正、負のピエゾ分極によって発現する電荷であり、ND +はAlGaN層のドナー濃度であり、N2D −は2次元電子ガスの濃度である。式(1)においては左辺がAlGaN層側の電荷、右辺がGaN層側の電荷であり、界面で境界条件が成り立つように、電荷中性条件が保たれている。
ρ++ND +=ρ−+N2D −+NA − ・・・ (2)
ただし,NA −はMgによるアクセプタイオン濃度である。式(1)、(2)において、ρ+、ND +、ρ−は同じ値である。したがって、Mgの添加によりNA −が増えるため、N2D −が減少する。
つぎに、本発明の実施の形態3について説明する。図11は、本実施の形態3に係るMOSFETの模式的な断面図である。このMOSFET300は、実施の形態2に係るMOSFET200において、対応する要素をそれぞれ電子供給層304、305、リセス部306、ゲート絶縁膜309、ゲート電極310に置き換えた構造をしている。
つぎに、本発明の実施の形態4について説明する。図12は、本実施の形態4に係るMOSFETの模式的な断面図である。このMOSFET400は、実施の形態3に係るMOSFET300において、対応する要素をそれぞれ電子供給層404、405に置き換えた構造をしている。
101 基板
102 バッファ層
103 電子走行層
103a、103b 2次元電子ガス
104、105、304、305、404、405 電子供給層
104a、304a ドレイン側領域
104b、304b ゲート側領域
106〜306 リセス部
107 ソース電極
108 ドレイン電極
109〜309 ゲート絶縁膜
110〜310 ゲート電極
111 AlGaN層
111a 薄層部
112、113 マスク層
112a、113a 開口部
203a 下部層
203b、203c 上部層
Ar1〜Ar4 矢印
C1〜C3 曲線
P1、P2 三角ポテンシャル
R1、R2 範囲
Claims (7)
- III族窒化物半導体からなる電界効果トランジスタであって、
基板上に形成されたGaNからなる電子走行層と、
前記電子走行層上に形成され、該電子走行層とはバンドギャップエネルギーが異なるAlxGa1−xN(0.01≦x≦0.4)からなり、該電子走行層に到る深さまで形成されたリセス部によって分離した電子供給層と、
前記分離した各電子供給層上に前記リセス部を挟んで形成されたソース電極およびドレイン電極と、
前記各電子供給層上にわたって前記リセス部内における前記電子走行層の表面を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、
前記リセス部において前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を備え、
前記電子供給層の層厚は、5.5nm以上40nm以下であることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記電子走行層は、アクセプタとしてMg、Be、Zn、Cのいずれかを添加したものであることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電子走行層のアクセプタの添加濃度は、1×1015cm−3以上5×1017cm−3以下であることを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電子走行層は、下部層と、該下部層上に形成した該下部層とはアクセプタの濃度が異なる上部層とを有し、前記リセス部は前記下部層に到る深さまで形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ドレイン電極直下に位置するドレイン側電子供給層は、前記ドレイン電極側から前記ゲート電極側にむかって層厚が薄くなるように形成した3段以下の階段構造を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ドレイン側電子供給層は、前記ドレイン電極側に位置するドレイン側領域と前記ゲート電極側に位置し該ドレイン側領域よりも層厚が薄いゲート側領域とを有し、前記ドレイン側領域の層厚は、前記電子走行層の界面に形成される2次元電子ガスのシートキャリア濃度が6〜8×1012cm−2となる厚さであり、前記ゲート側領域の層厚は、前記電子走行層の界面に形成される2次元電子ガスのシートキャリア濃度が2〜4×1012cm−2となる厚さであることを特徴とする請求項5に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ドレイン電極直下に位置するドレイン側電子供給層は、前記ドレイン電極側から前記ゲート電極側にむかってAl組成比が段階的に小さくなるように形成した複数の領域を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の電界効果トランジスタ。
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