JP2009238732A - マイクロヒーターアレイ及びマイクロヒーターアレイを備えたpn接合、並びにその形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による一実施の形態によるマイクロヒーターアレイは、基板上に互いに交差して設けられる、または互いに並設される第1及び第2マイクロヒーターを含む。また、一実施の形態によるpn接合の形成方法は、上記マイクロヒーターアレイに電圧を印加し第1及び第2加熱部からの発熱を利用して第1及び第2加熱部の間にpn接合を形成する。このようにマイクロヒーターを利用してpn接合を形成する場合、ガラス基板上の大面積にわたって高品質のpn接合を形成することができる。
【選択図】図1a
Description
21、25 第1加熱部、
22、26 第1支持体、
30、30’ 第2マイクロヒーター、
31、35 第2加熱部、
32、36 第2支持体、
40 pn接合、
41 p−型物質層、
42 n−型物質層、
45 InXGa1-XN層、
51 触媒層、
101〜103 マイクロヒーターアレイ。
Claims (29)
- 基板と、
第1方向に並設された一つ以上の第1マイクロヒーターと、
第2方向に並設された一つ以上の第2マイクロヒーターと、を含むマイクロヒーターアレイであって、
前記一つ以上の第1マイクロヒーターの各々は、前記第1方向に延びる第1加熱部と、前記基板上に設置され前記第1加熱部を支持する第1支持体と、を含み、
前記一つ以上の第2マイクロヒーターの各々は、前記第2方向に延びる第2加熱部と、前記基板上に設置され前記第2加熱部を支持する第2支持体と、を含むことを特徴とするマイクロヒーターアレイ。 - 前記第1方向は前記第2方向に対し直交し、前記一つ以上の第1マイクロヒーターは前記一つ以上の第2マイクロヒーターと交差することを特徴とする請求項1に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部は前記第2加熱部と交差することを特徴とする請求項2に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部または前記第2加熱部の各々は、前記第1または第2支持体にそれぞれ支持され接触している領域に対応する第1領域と、隣り合う前記第1領域の間に対応する第2領域と、をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域において、前記第1加熱部と前記基板間の間隔は、前記第2加熱部と前記基板間の間隔より小さいことを特徴とする請求項2に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域において、前記第2加熱部に開口部が形成されることを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第2加熱部は、透明電極物質を含んでなることを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域以外において、前記第1支持体は前記基板と第1加熱部との間に位置し、前記第2支持体は前記基板と第2加熱部との間に位置することを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域以外において、前記一つ以上の第1マイクロヒーターの前記第1加熱部の両側から前記第1加熱部の長手方向に沿ってそれぞれ延びる第1連結部と、前記一つ以上の第2マイクロヒーターの前記第2加熱部の両側から前記加熱部の長手方向に沿ってそれぞれ延びる第2連結部と、をさらに含み、
前記第1支持体は、前記基板と前記第1連結部との間に位置して前記第1加熱部及び第1連結部を支持し、前記第2支持体は、前記基板と前記第2連結部との間に位置して前記第2加熱部及び第2連結部を支持することを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。 - 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域以外において、前記一つ以上の第1マイクロヒーターの前記第1加熱部の両側から前記第1加熱部の長手方向に沿ってそれぞれ延びる第1連結部をさらに含み、
前記第1支持体は、前記基板と前記第1連結部との間に位置して前記第1加熱部及び第1連結部を支持し、前記第2支持体は、前記基板と第2加熱部との間に位置して前記第2加熱部を支持することを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。 - 前記第1加熱部と前記第2加熱部とが交差する領域以外において、前記一つ以上の第2マイクロヒーターの前記第2加熱部の両側から前記第2加熱部の長手方向に沿ってそれぞれ延びる第2連結部をさらに含み、
前記第2支持体は、前記基板と前記第2連結部との間に位置して前記第2加熱部及び第2連結部を支持し、前記第1支持体は、前記基板と第1加熱部との間に位置して前記第1加熱部を支持することを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。 - 前記一つ以上の第1及び第2マイクロヒーターは、独立して駆動されることを特徴とする請求項5に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 前記第1方向は前記第2方向と同じであることを特徴とする請求項1に記載のマイクロヒーターアレイ。
- 請求項1に記載のマイクロヒーターアレイを提供する段階と、
前記マイクロヒーターアレイに電圧を印加して前記第1加熱部と前記第2加熱部との間にpn接合を形成する段階と、を含んでなることを特徴とするpn接合の形成方法。 - 前記第1方向は前記第2方向に対し直交し、前記一つ以上の第1マイクロヒーターは前記一つ以上の第2マイクロヒーターと交差することを特徴とする請求項14に記載のpn接合の形成方法。
- 前記マイクロヒーターアレイをチャンバ内に備える段階と、
前記一つ以上の第1及び第2マイクロヒーターの少なくとも一つに電圧を印加する段階と、
前記チャンバ内部へソースガス及びp−型ドーピングガスを注入する段階と、
電圧を印加した前記第1加熱部及び第2加熱部の少なくとも一つにp−型物質層を成長させる段階と、
前記チャンバ内部へソースガス及びn−型ドーピングガスを注入する段階と、
前記p−型物質層上にn−型物質層を成長させる段階と、を含むことを特徴とする請求項15に記載のpn接合の形成方法。 - 触媒層及びバッファー層の少なくとも一つを前記第1及び第2加熱部の少なくとも一つに形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のpn接合の形成方法。
- 前記p−型物質層及びn−型物質層の間にInXGa1−XN層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のpn接合の形成方法。
- 前記第1及び第2加熱部の少なくとも一つに電圧を印加して前記p−型物質層とn−型物質層を加熱する段階をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のpn接合の形成方法。
- 前記第1方向は前記第2方向と同じであり、前記一つ以上の第1及び第2マイクロヒーターは互いに交互に配置されることを特徴とする請求項14に記載のpn接合の形成方法。
- 前記pn接合を形成する段階は、前記第1加熱部または前記第2加熱部の一つにp−型物質層と、前記第1加熱部または前記第2加熱部の残りの一つにn−型物質層と、をそれぞれ形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載のマイクロヒーターアレイを利用したpn接合の形成方法。
- 前記マイクロヒーターアレイを真空チャンバ内に備える段階と、
前記一つ以上の第1マイクロヒーターに電圧を印加する段階と、
前記チャンバ内部へソースガス及びp−型ドーピングガスを注入する段階と、
前記第1加熱部にp−型物質層を成長させる段階と、
前記一つ以上の第2マイクロヒーターに電圧を印加する段階と、
前記チャンバ内部へソースガス及びn−型ドーピングガスを注入する段階と、
前記p−型物質層と接するようにn−型物質層を前記第2加熱部に成長させる段階と、を含むことを特徴とする請求項21に記載のpn接合の形成方法。 - 前記第1加熱部または第2加熱部の各々は、前記第1または第2支持体に支持され接触している領域に対応する第1領域と、隣り合う前記第1領域の間に対応する第2領域と、に区画する段階と、
前記第1加熱部の第2領域にそれぞれp−型物質層を形成する段階と、
前記第2加熱部の第2領域にそれぞれn−型物質層を形成する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項22に記載のpn接合の形成方法。 - 前記第1及び第2加熱部の少なくとも一つに電圧を印加して前記p−型物質層とn−型物質層を加熱する段階をさらに含むことを特徴とする請求項23に記載のpn接合の形成方法。
- 請求項1に記載のマイクロヒーターアレイと、前記一つ以上の第1マイクロヒーターと第2マイクロヒーターとの間に形成される一つ以上のpn接合と、を含み、
前記一つ以上のpn接合は、前記一つ以上の第1加熱部と第2加熱部との間に形成されるp−型物質層及びn−型物質層を含むことを特徴とするpn接合素子。 - 前記第1方向は前記第2方向に対し直交し、前記一つ以上の第1マイクロヒーターは前記一つ以上の第2マイクロヒーターと交差することを特徴とする請求項25に記載のpn接合素子。
- 前記第1及び第2加熱部は、前記p−型及びn−型物質層の各々に電圧を印加する電極として使用されることを特徴とする請求項26に記載のpn接合素子。
- 前記第1方向は前記第2方向と同じであることを特徴とする請求項25に記載のpn接合素子。
- 前記第1及び第2加熱部は、前記p−型及びn−型物質層の各々に電圧を印加する電極として使用されることを特徴とする請求項28に記載のpn接合素子。
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---|---|---|---|---|
WO2018187377A1 (en) * | 2017-04-03 | 2018-10-11 | Board Of Trustees Of The University Of Arkansas | Selective resistive sintering - a new additive manufacturing method |
CN116046089B (zh) * | 2023-03-23 | 2023-07-18 | 东南大学 | 一种基于碳化硅pn结测温的高温MEMS热式流量传感器及制备方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4730553U (ja) * | 1971-04-13 | 1972-12-06 | ||
JPS63282274A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 化学的気相成長装置およびその使用方法 |
JPH0220017U (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-09 | ||
JPH06302530A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Nec Kansai Ltd | 半導体装置の製造装置 |
JPH09190871A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Canon Inc | 加熱装置及びその温度制御方法 |
JPH09237903A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Nikon Corp | フローティング構造の形成方法 |
JP2003503297A (ja) * | 1999-06-29 | 2003-01-28 | エイーシーティー オプティクス アンド エンジニヤリング,インコーポレーテッド | 結晶成長炉のヒーター装置 |
JP2003047840A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-18 | Yamatake Corp | マイクロリアクタ |
US20030047450A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-13 | Yang Hae Sik | Microelectrode, microelectrode array and method for manufacturing the microelectrode |
JP2003094395A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | アレイ化マイクロ流体素子 |
JP2003142235A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Sukegawa Electric Co Ltd | マイクロヒータ |
JP2005209734A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Nichia Chem Ind Ltd | 電極及び半導体発光素子 |
JP2007027625A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機太陽電池及びその製造方法 |
JP2007221016A (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2007242445A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Alps Electric Co Ltd | マイクロヒータ及びそれを用いたフローセンサ |
JP2007305851A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2008010207A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Optrex Corp | 電極基板及びその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1244453C (zh) * | 2003-02-20 | 2006-03-08 | 祥群科技股份有限公司 | 热转印元件的结构及制造方法 |
CN100376683C (zh) * | 2005-01-14 | 2008-03-26 | 北京大学 | 聚合酶链式反应芯片微系统 |
CN100336068C (zh) * | 2005-04-21 | 2007-09-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 用于驱动聚合酶链式反应微芯片阵列的温度控制方法及装置 |
CN101086009B (zh) * | 2006-06-06 | 2010-05-12 | 北京大学 | 一种带温控矩阵的生物芯片及其加工方法 |
KR20090095314A (ko) * | 2008-03-05 | 2009-09-09 | 삼성전자주식회사 | 비정질막의 결정화 방법 및 이를 적용한 박막 태양전지 및박막 태양 전지의 제조 방법 |
KR20090106750A (ko) * | 2008-04-07 | 2009-10-12 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 히터 어레이를 이용한 멀티 스택형 태양 전지 및이의 제조 방법 |
KR20100086735A (ko) * | 2009-01-23 | 2010-08-02 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 막 형성 방법, pn 접합 형성 방법 및 이를 이용하여 형성된 pn 접합 |
US7952599B2 (en) * | 2009-05-29 | 2011-05-31 | Xerox Corporation | Heating element incorporating an array of transistor micro-heaters for digital image marking |
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2008
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Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4730553U (ja) * | 1971-04-13 | 1972-12-06 | ||
JPS63282274A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 化学的気相成長装置およびその使用方法 |
JPH0220017U (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-09 | ||
JPH06302530A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Nec Kansai Ltd | 半導体装置の製造装置 |
JPH09190871A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Canon Inc | 加熱装置及びその温度制御方法 |
JPH09237903A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-09 | Nikon Corp | フローティング構造の形成方法 |
JP2003503297A (ja) * | 1999-06-29 | 2003-01-28 | エイーシーティー オプティクス アンド エンジニヤリング,インコーポレーテッド | 結晶成長炉のヒーター装置 |
JP2003047840A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-18 | Yamatake Corp | マイクロリアクタ |
US20030047450A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-13 | Yang Hae Sik | Microelectrode, microelectrode array and method for manufacturing the microelectrode |
JP2003094395A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | アレイ化マイクロ流体素子 |
JP2003142235A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | Sukegawa Electric Co Ltd | マイクロヒータ |
JP2005209734A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Nichia Chem Ind Ltd | 電極及び半導体発光素子 |
JP2007027625A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機太陽電池及びその製造方法 |
JP2007221016A (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2007242445A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Alps Electric Co Ltd | マイクロヒータ及びそれを用いたフローセンサ |
JP2007305851A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体発光素子 |
JP2008010207A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Optrex Corp | 電極基板及びその製造方法 |
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