JP2003047840A - マイクロリアクタ - Google Patents

マイクロリアクタ

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JP2003047840A
JP2003047840A JP2001237843A JP2001237843A JP2003047840A JP 2003047840 A JP2003047840 A JP 2003047840A JP 2001237843 A JP2001237843 A JP 2001237843A JP 2001237843 A JP2001237843 A JP 2001237843A JP 2003047840 A JP2003047840 A JP 2003047840A
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JP2001237843A
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Nobuaki Honda
宣昭 本田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のマイクロチャネル間、および各マイク
ロチャネルの流体通流方向における温度分布を均一化し
て、各マイクロチャネルにおけるマイクロ化学反応の安
定化を図り得る簡易な構成のマイクロリアクタを提供す
る。 【解決手段】 流体の通流路をなして並列に設けられた
複数のマイクロチャネル１の流体通流方向に沿ってそれ
ぞれ所定数ずつ配設された複数のマイクロヒータ４ａ,
４ｂを備え、これらのマイクロヒータの発熱量を各マイ
クロチャネルを一つの制御単位（第１のマイクロヒータ
群）として、および／または複数のマイクロチャネルに
おける流体通流方向の互いに共通する各位置を一つの制
御単位（第２のマイクロヒータ群）としてそれぞれ制御
して、複数のマイクロチャネル間および／または各マイ
クロチャネルの流体通流方向における温度分布を均一化
するヒータ制御部５）を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、所定の反応条件下
での微小空間における化学反応（マイクロ化学反応）を
安定に実現することのできるマイクロリアクタに関す
る。
【０００２】
【関連する背景技術】マイクロリアクタは、図１にその
概略構成を示すように微小な流路断面積の流体通流路を
形成したマイクロチャネル１を備え、インレット２ａ,
２ｂを介して導入された反応性のある２種類の流体Ａ,
Ｂを上記マイクロチャネル１に導きいてこれらの流体
Ａ,Ｂを互いに接触させてマイクロ化学反応を生起し、
反応物質を含む混合流体アウトレット３から取り出すよ
うに構成される。この際、マイクロチャネル１に配設さ
れたヒータ４を用いて上記流体Ａ,Ｂを加熱し、マイク
ロ化学反応を促進したり、反応の安定化を図ることが行
われる。
【０００３】このようなマイクロリアクタは、例えばバ
イオ・ケミカル反応を伴う特定物質の検出や、マイクロ
領域での化学反応メカニズムの分析、更には化学物質の
製造に用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところでマイクロ化学
プラント等において化学物質を製造するに際しては、複
数のマイクロチャネル１を備えたマイクロリアクタを用
いて流体Ａ,Ｂのマイクロ化学反応を同時に大量に生起
することが考えられる。例えば１００〜１０００個のマ
イクロチャネル１を平面的に並べて、或いはこれらの平
面的に並べたマイクロチャネル１を積み重ねることで立
体的に配列したマイクロリアクタを用いることが考えら
れる。
【０００５】しかしながら複数のマイクロチャネル１
を、その流体通流方向を揃えて並列に設けたマイクロリ
アクタにおいては、複数のマイクロチャネル１間での伝
熱に起因して、周辺部に位置するマイクロチャネル１と
中央部に位置するマイクロチャネル１との間に温度差が
生じ、例えば図２に模式的に示すようにマイクロチャネ
ル１の並び方向に特性Ｘに示すような温度分布が生じ易
い。また各マイクロチャネル１の長さ（流体通流長）が
長い場合、そのインレット２やアウトレット３の近傍の
端部領域とその中央部領域との間でも温度差が生じ、特
性Ｙに示すような温度分布も生じ易い。このような温度
差（温度分布）は、複数のマイクロチャネル１にそれぞ
れ導かれる流体Ａ,Ｂのマイクロ化学反応に差異を生じ
させる原因となる。
【０００６】そこで上記温度分布の均一化を図るべく、
各マイクロチャネル１にそれぞれその流体通流方向に沿
って複数のヒータ４を配設し、これらのヒータ４を個別
に温度制御することが考えられる。しかしながら、これ
らの大量のヒータ４を個別に温度制御しようとすると、
その配線数が膨大化して配線コストが高くなることのみ
ならず、これらのヒータ４の温度制御が相当複雑化する
ことが否めない。
【０００７】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、複数のマイクロチャネル間での
温度差をなくし、更には各マイクロチャネルの流体通流
方向における温度分布を均一化して、各マイクロチャネ
ルにおける化学反応（マイクロ化学反応）の安定化を図
ることのできる簡易な構成のマイクロリアクタを提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係るマイクロリアクタは、流体の通流路を
なして並列に設けられた複数のマイクロチャネルを備え
たものであって、特に上記各マイクロチャネルの流体通
流方向に沿ってそれぞれ所定数ずつ配設された複数のマ
イクロヒータと、前記各マイクロチャネルにそれぞれ配
設された複数のマイクロヒータの発熱量を各マイクロチ
ャネルを一つの制御単位として、および／または複数の
マイクロチャネルにおける流体通流方向の互いに共通す
る各位置を一つの制御単位としてそれぞれ制御して、前
記複数のマイクロチャネル間および／または各マイクロ
チャネルの流体通流方向における温度分布を均一化する
ヒータ制御部とを具備したことを特徴としている。
【０００９】本発明の好ましい態様は、前記各マイクロ
チャネルにそれぞれ配設される複数のマイクロヒータ
を、前記各マイクロチャネルの流体通流方向に沿った配
列位置毎に、複数のマイクロチャネル間で共通接続され
た複数のマイクロヒータからなる第１のマイクロヒータ
群と、前記各マイクロチャネル毎にその流体通流方向に
共通接続された複数のマイクロヒータからなる第２のマ
イクロヒータ群とにより構成し、これらの各マイクロヒ
ータ群毎にその発熱量を制御することを特徴とする。
【００１０】更に本発明の好ましい態様は、前記複数の
マイクロチャネルが、その流体通流方向と直行する面方
向に縦横に立体化して並列に設けられるとき、これらの
各マイクロチャネルにそれぞれ配設される複数のマイク
ロヒータを、前記各マイクロチャネルの流体通流方向に
沿った配列位置毎に、複数のマイクロチャネル間で共通
接続された複数のマイクロヒータからなる第１のマイク
ロヒータ群と、前記各マイクロチャネル毎にその流体通
流方向に共通接続されると共に、横方向に並ぶ複数のマ
イクロチャネルがなす第１のマイクロチャネル群毎にこ
れらのマイクロチャネル間で共通接続された複数のマイ
クロヒータからなる第３のマイクロヒータ群と、更に前
記各マイクロチャネル毎にその流体通流方向に共通接続
されると共に、縦方向に並ぶ複数のマイクロチャネルが
なす第２のマイクロチャネル群毎にこれらのマイクロチ
ャネル間で共通接続された複数のマイクロヒータからな
る第４のマイクロヒータ群とにより構成し、これらの各
マイクロヒータ群毎にその発熱量を制御することを特徴
とする。
【００１１】また本発明に係るマイクロリアクタは、更
に前記各マイクロチャネル毎に、その流体通流方向に沿
って配設された複数のマイクロ温度センサを備えること
を特徴とする。ちなみにこれらの各マイクロ温度センサ
については、前記各マイクロチャネルの平均温度から前
記複数のマイクロチャネル間に亘る温度分布を求める第
１の温度センサ群と、前記各マイクロチャネルの流体通
流方向に沿った各位置における温度の前記複数のマイク
ロチャネル間での平均値から、上記流体通流方向の温度
分布を求める第２の温度センサ群とにより構成すること
が望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態に係るマイクロリアクタについて説明する。図３
は、この実施形態に係るマイクロリアクタの基本的な概
略構成を示す図である。このマイクロリアクタは、複数
のマイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）をその流体
通流方向を揃えて並列に設けたものであって、各マイク
ロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）にそれぞれ複数のマ
イクロヒータ４を配設して構成される。
【００１３】ちなみに各マイクロチャネル１（１Ａ,１
Ｂ,〜１Ｎ）は、例えばＳi半導体基板をベースとし、マ
イクロマシンニング技術を用いて上記Ｓi半導体基板上
に流体の通流路をなして並列に形成される。これらの各
マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）には、図示し
ない２つのインレットからそれぞれ導入された２種類の
流体Ａ,Ｂが所定の分岐部を介してそれぞれ分岐されて
導かれる。そして各マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜
１Ｎ）を通流した反応液は、図示しない合流部を介して
アウトレットから排出される。
【００１４】しかして各マイクロチャネル１（１Ａ,１
Ｂ,〜１Ｎ）にそれぞれ配設される複数のマイクロヒー
タ４は、前記Ｓi半導体基板上にＳiＯ2等からなる絶縁
性薄膜を介して設けられた、例えば厚みが１μｍ程度の
白金（Ｐt）薄膜からなる。具体的には上記各マイクロ
ヒータ４は所定幅の白金（Ｐt）薄膜導体をミアンダ状
に蛇行させたものからなる。
【００１５】これらの複数のマイクロヒータ４は、図３
に示すように各マイクロチャネル１毎に、その流体通流
方向に沿ってそれぞれ複数列（２列）に亘って配列され
る。特に各マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）に
は、各マイクロチャネル１の流体通流方向に沿ってそれ
ぞれ配列されて、その配列位置毎に複数のマイクロチャ
ネル１間で共通接続（直列接続）されて第１のマイクロ
ヒータ群を形成する複数のマイクロヒータ４ａと、各マ
イクロチャネル１の流体通流方向に沿ってそれぞれ配列
されて、前記各マイクロチャネル１毎にその流体通流方
向に共通接続（直列接続）されて第２のマイクロヒータ
群を形成する複数のマイクロヒータ４ｂが設けられる。
これらのマイクロヒータ４ａ,４ｂは、図３に示すよう
に前記各マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の流
体通流方向に区分された複数の加熱領域に、それぞれ１
個ずつ積層して（或いは並べて）形成される。そして各
マイクロヒータ４ａ,４ｂは、ヒータ制御部５により上
述した各マイクロチャネル群毎に発熱駆動される。
【００１６】また前記各マイクロチャネル１の下流側に
は、白金（Ｐt）からなる複数のマイクロ温度センサ６
がそれぞれ配設されている。これらのマイクロ温度セン
サ６も前述した複数のマイクロヒータ４（４ａ,４ｂ）
と同様に、各マイクロチャネル１の流体通流方向に沿っ
てそれぞれ配列されて、その配列位置毎に複数のマイク
ロチャネル１間で共通接続（直列接続）されて第１のマ
イクロ温度センサ群を形成する複数のマイクロ温度セン
サ６ａと、各マイクロチャネル１の流体通流方向に沿っ
てそれぞれ配列されて、前記各マイクロチャネル１毎に
その流体通流方向に共通接続（直列接続）されて第２の
マイクロ温度センサ群を形成する複数のマイクロ温度セ
ンサ６ｂとからなる。
【００１７】そしてヒータ制御部５は、上記複数のマイ
クロ温度センサ６ｂにより形成された第２のマイクロ温
度センサ群によりそれぞれ検出される前記各マイクロチ
ャネル１の平均温度から、前記複数のマイクロチャネル
１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）間に亘る温度分布を求めてい
る。またヒータ制御部５は、更に上記複数のマイクロ温
度センサ６ａにより形成された第１のマイクロ温度セン
サ群によりそれぞれ検出される前記各マイクロチャネル
１の流体通流方向に沿った各位置における温度の前記複
数のマイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）間での平
均値から、上記流体通流方向の温度分布を求めている。
【００１８】そしてヒータ制御部５は、これらのマイク
ロチャネル（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）間に亘る温度分布が均
一化するように前記第２のマイクロヒータ群毎にその発
熱量をそれぞれ制御し、更に各マイクロチャネル（１
Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）における流体通流方向の温度分布が均
一化するように前記第１のマイクロヒータ群毎にその発
熱量をそれぞれ制御するものとなっている。
【００１９】尚、ここではＳi半導体基板をベースとし
て複数のマイクロチャネル１を形成するものとしている
が、Ａl材やＳＵＳ鋼等の金属ベースでマイクロチャネ
ル１を形成することも可能である。但し、この場合には
金属ベース上に薄膜絶縁体層を介して前述した複数のマ
イクロヒータ４やマイクロ温度センサ６をそれぞれ配設
形成してマイクロチャネル１に集積化するようにすれば
良い。
【００２０】かくしてこのように構成されたマイクロリ
アクタによれば、各マイクロチャネル１毎にその流体通
流方向に共通接続（直列接続）されたマイクロヒータ４
ｂが形成する第２のマイクロヒータ群毎にその発熱量を
制御すれば、例えばその周辺部に配列されたマイクロチ
ャネル１に加える発熱量を高め、中央部に配列されたマ
イクロチャネル１に加える発熱量を低くすることができ
る。この結果、周辺部に配列されたマイクロチャネル１
における熱がその周囲に放散されて該マイクロチャネル
１の加熱効率が悪く、その反面、中央部に配列されたマ
イクロチャネル１においては、隣接するマイクロチャネ
ル１の熱的な影響を受けてその加熱効率が高い場合であ
っても、これらの各マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜
１Ｎ）間での温度差を無くして、その温度分布を容易に
均一化することができる。
【００２１】即ち、中央部に配列されたマイクロチャネ
ル１は、その両側に位置付けられた隣接チャネル１から
の熱的影響を受け易いが、辺部に配列されたマイクロチ
ャネル１にあっては、むしろその周囲への放熱量が大き
い。この結果、各マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１
Ｎ）の温度にバラツキが生じる虞がある場合であって
も、これらのマイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）
の温度差を容易になくすことができる。
【００２２】また各マイクロチャネル１の流体通流方向
に沿ってそれぞれ配列されて、その配列位置毎に複数の
マイクロチャネル１間で共通接続（直列接続）されたマ
イクロヒータ４ａがなす第１のマイクロヒータ群毎にそ
の発熱量を制御すれば、例えば各マイクロチャネル１
（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の入口側近傍および出口側近傍の
発熱量を高くし、その中央領域における発熱量を低くす
ることができる。この結果、マイクロチャネル１（１
Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の入口側近傍および出口側近傍におけ
る熱がその周囲に放散され、当該領域での加熱効率が悪
く、これに対してマイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１
Ｎ）の中央部領域の加熱効率が高い場合であっても、各
マイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の流体通流方
向における温度分布を容易に均一化することができる。
【００２３】従って上述した第１および第２のマイクロ
チャネル群の発熱量をそれぞれ制御することで、複数の
マイクロマイクロチャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の全
体に亘る温度分布を均一化し、各マイクロマイクロチャ
ネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）におけるマイクロ化学反応
条件を一定化して安定なマイクロ化学反応を生起するこ
とができる。
【００２４】しかも上述した構成によれば、第１および
第２のマイクロチャネル群毎にその発熱量を制御すれば
よいので、その制御系の構成が非常に簡単であり、また
その加熱駆動回路も少なくて良いので構成の大幅な簡素
化を図ることができる。ちなみに並列に設けられたＮ個
のマイクロチャネル１を、その流体通流方向にそれぞれ
Ｍ個に区分して温度制御する場合、これらの各領域にそ
れぞれ設けられた複数のマイクロヒータ４をそれぞれ個
別に制御するには、［Ｎ×Ｍ］個の制御系を必要とす
る。この点、上述した如く第１および第２のマイクロチ
ャネル群をそれぞれ形成して温度制御する本発明のマイ
クロリアクタによれば、［Ｎ＋Ｍ］個の制御系を必要と
するだけであり、その構成の大幅な簡素化を図ることが
できる。従ってその実用的利点が非常に高い等の多大な
る効果が奏せられる。
【００２５】ところでマイクロリアクタとしては、上述
したように複数のマイクロチャネル１を平面的に並べて
配列することのみならず、更にこれらの平面的に並べら
れたマイクロチャネル１を複数層に亘って積み重ねて形
成することで、図４に模式的に示すように複数のマイク
ロチャネル１を立体的に配列して実現することの考えら
れる。即ち、より大量のマイクロ化学反応を生起するべ
く、例えばＮ個のマイクロチャネル１からなるチャネル
層をＫ層に亘って積層することが考えられる。この際、
上記各マイクロチャネル１をその流体通流方向にそれぞ
れＭ個の加熱領域に分けて加熱制御しようとすると、
（Ｎ×Ｍ×Ｋ）個のマイクロヒータ４を必要とすること
のみならず、これらの各マイクロヒータ４を個別に通電
制御する為の（Ｎ×Ｍ×Ｋ）個の加熱駆動回路を必要と
する。
【００２６】そこでこのような場合には、例えば図５に
示すように各マイクロチャネル１をその流体通流方向に
区分した複数の加熱領域毎に共通に加熱する複数のマイ
クロヒータ４ｃと、複数のマイクロチャネル１を上下方
向に積層された層毎に加熱する複数のマイクロヒータ４
ｄと、更に上下方向に並ぶ複数のマイクロチャネル１の
列毎に加熱する複数のマイクロヒータ４ｅとをそれぞれ
設ける。これらの各マイクロヒータ４ｃ,４ｄ,４ｅにつ
いては、先の実施形態と同様に各加熱領域毎に、それぞ
れ１個ずつ積層して（或いは並べて）形成する。
【００２７】そしてマイクロヒータ４ｃについては、流
体通流方向に区分された各加熱領域毎にそれぞれ一括し
て通電駆動し得るように、各加熱領域毎にそれぞれ共通
（直列または並列）に接続して、複数の第１のマイクロ
ヒータ群を形成する。またマイクロヒータ４ｄについて
は、マイクロチャネルの層毎にそれぞれ一括して通電駆
動し得るように、各マイクロチャネル１毎にそれぞれ直
列に接続し、更にこれらのマイクロヒータ４ｄを層毎に
直列（または並列）に共通接続して、複数の第３のマイ
クロヒータ群を形成する。更にマイクロヒータ４ｅにつ
いては、マイクロチャネル１の上下に並ぶ列毎に一括し
て通電駆動し得るように、各チャネル１毎にそれぞれ直
列に接続し、更にこれらのマイクロヒータ４ｅを列毎に
直列（または並列）に共通接続して複数の第３のマイク
ロヒータ群を形成する。
【００２８】尚、この実施形態においても、特に図示し
ないが複数のマイクロ温度センサが前記各加熱領域にそ
れぞれ設けられる。そして複数のマイクロチャネル１間
に亘る温度分布、および各マイクロチャネル１の流体通
流方向における温度分布がそれぞれ求められる。そして
ヒータ制御部５の制御により、上述したマイクロヒータ
群毎にその発熱量が制御される。
【００２９】かくして上述したように複数のマイクロヒ
ータ４ｃ,４ｄ,４ｅをそれぞれ共通接続して第１、第３
および第４のマイクロヒータ群を形成し、これらのマイ
クロヒータ群毎にその発熱量を制御するようにしたマイ
クロリアクタによれば、各マイクロチャネル層をそれぞ
れ選択的に通電駆動するＫ個の通電加熱回路と、各加熱
領域をそれぞれ選択的に通電駆動するＭ個の通電加熱回
路と、上下に並ぶチャネル列をそれぞれ選択的に通電駆
動するＮ個の通電加熱回路とを備えるだけで十分とな
る。この結果、計（Ｎ＋Ｍ＋Ｋ）個の加熱駆動回路を用
いるだけでマイクロリアクタにおける複数のマイクロチ
ャネル１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ）の加熱温度を効果的に制
御してその温度分布を均一化することが可能となり、先
の実施形態と同様な効果が奏せられる。
【００３０】特に（Ｎ×Ｍ×Ｋ）個の加熱領域をそれぞ
れ加熱する為の、複数のマイクロヒータ４ｃ,４ｄ,４ｅ
をそれぞれ通電制御するヒータ制御部５として（Ｎ＋Ｍ
＋Ｋ）個の通電加熱回路を設けるだけで良いので、ヒー
タ制御部５の構成の大幅な簡素化を図ることができる。
しかも各加熱領域にそれぞれ３系統のマイクロヒータ４
ｃ,４ｄ,４ｅを設けることが必要となるといえども、こ
れらの各マイクロヒータ４ｃ,４ｄ,４ｅについては、集
積回路化技術を用いて各マイクロチャネル１にそれぞれ
一括して形成することができるので、その数の多さが問
題となることが殆どない。従ってその実用的利点が絶大
である。
【００３１】尚、本発明は上述した各実施形態に限定さ
れるものではない。例えばマイクロチャネル１をその流
体通流方向に区分して設定される加熱領域の数や、その
加熱領域の長さは、マイクロリアクタの仕様に応じて定
めれば良いものである。また複数のマイクロチャネル１
の数や、その配列形態についても種々変形可能なもので
あり、要は本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変
形して実施することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
イクロチャネルにおける流体通流方向に区分された加熱
領域毎に配設された複数のマイクロヒータを備え、これ
らのマイクロヒータをマイクロチャネル毎および／また
はその通流方向の各位置毎にそれぞれ通電加熱制御して
複数のマイクロチャネル間、およびその流体通流方向の
温度分布を均一化するので、複数のマイクロチャネルに
おけるマイクロ化学反応の安定化を図ることができる。
しかも複数のマイクロチャネル間に亘って、或いはその
流体通流方向に共通接続したマイクロヒータ群毎にその
発熱量を制御するので、複数のマイクロヒータを駆動す
る通電加熱回路の数を大幅に削減することができ、従っ
て簡易な構成で加熱温度の制御性の高いマイクロリアク
タを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】マイクロリアクタの基本構成図。
【図２】複数のマイクロチャネルを並列に備えたマイク
ロリアクタにおける熱的な問題点を説明する為の図。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るマイクロリアク
タの概略構成を示すものであって、複数のマイクロチャ
ネルにおける複数の加熱領域を、チャネル毎および加熱
領域毎に通電加熱する為の複数のマイクロヒータの接続
形態を示す図。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るマイクロリアク
タにおける立体的に配列された複数のマイクロチャネル
の概略構造を示す図。
【図５】図４に示すマイクロリアクタにおける複数の加
熱領域を、チャネル毎および加熱領域毎に通電加熱する
為の複数のマイクロヒータの接続形態を示す図。
【符号の説明】
１（１Ａ,１Ｂ,〜１Ｎ） マイクロチャネル ４（４ａ,４ｂ,〜４ｅ） マイクロヒータ ５ ヒータ制御部 ６（６ａ,６ｂ） マイクロ温度センサ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体の通流路をなして並列に設けられた
    複数のマイクロチャネルと、 これらの各マイクロチャネルの流体通流方向に沿ってそ
    れぞれ所定数ずつ配設された複数のマイクロヒータと、 前記各マイクロチャネルにそれぞれ配設された複数のマ
    イクロヒータの発熱量を各マイクロチャネルを一つの制
    御単位として、および／または複数のマイクロチャネル
    における流体通流方向の互いに共通する各位置を一つの
    制御単位としてそれぞれ制御して、前記複数のマイクロ
    チャネル間および／または各マイクロチャネルの流体通
    流方向における温度分布を均一化するヒータ制御部とを
    具備したことを特徴とするマイクロリアクタ。
  2. 【請求項２】 前記各マイクロチャネルにそれぞれ配設
    される複数のマイクロヒータは、 前記各マイクロチャネルの流体通流方向に沿った配列位
    置毎に、複数のマイクロチャネル間で共通接続された複
    数のマイクロヒータからなる第１のマイクロヒータ群
    と、 前記各マイクロチャネル毎にその流体通流方向に共通接
    続された複数のマイクロヒータからなる第２のマイクロ
    ヒータ群と、からなる請求項１に記載のマイクロリアク
    タ。
  3. 【請求項３】 前記複数のマイクロチャネルは、その流
    体通流方向と直行する面方向に縦横に立体化して並列に
    設けられるものであって、 これらの各マイクロチャネルにそれぞれ配設される複数
    のマイクロヒータは、 前記各マイクロチャネルの流体通流方向に沿った配列位
    置毎に、複数のマイクロチャネル間で共通接続された複
    数のマイクロヒータからなる第１のマイクロヒータ群
    と、 前記各マイクロチャネル毎にその流体通流方向に共通接
    続されると共に、横方向に並ぶ複数のマイクロチャネル
    がなす第１のマイクロチャネル群毎にこれらのマイクロ
    チャネル間で共通接続された複数のマイクロヒータから
    なる第３のマイクロヒータ群と、 前記各マイクロチャネル毎にその流体通流方向に共通接
    続されると共に、縦方向に並ぶ複数のマイクロチャネル
    がなす第２のマイクロチャネル群毎にこれらのマイクロ
    チャネル間で共通接続された複数のマイクロヒータから
    なる第４のマイクロヒータ群とからなる請求項１に記載
    のマイクロリアクタ。
  4. 【請求項４】 前記ヒータ制御部は、複数のマイクロヒ
    ータを共通接続したマイクロヒータ群毎にその発熱量を
    制御するものである請求項１に記載のマイクロリアク
    タ。
  5. 【請求項５】 請求項１に記載のマイクロリアクタにお
    いて、 更に前記各マイクロチャネル毎に、その流体通流方向に
    沿って配設された複数のマイクロ温度センサを備えるこ
    とを特徴とするマイクロリアクタ。
  6. 【請求項６】 前記複数のマイクロ温度センサは、 前記各マイクロチャネルの平均温度から前記複数のマイ
    クロチャネル間に亘る温度分布を求める第１の温度セン
    サ群と、 前記各マイクロチャネルの流体通流方向に沿った各位置
    における温度の前記複数のマイクロチャネル間での平均
    値から、上記流体通流方向の温度分布を求める第２の温
    度センサ群とからなる請求項５に記載のマイクロリアク
    タ。
JP2001237843A 2001-08-06 2001-08-06 マイクロリアクタ Pending JP2003047840A (ja)

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