JP2003142235A - マイクロヒータ - Google Patents
マイクロヒータInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高耐電圧、長寿命の単芯のシースヒータ３を
用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り付ける
アダプタ部１を単一のものとし、そこから一対のリード
線６ａ、６ｂを取り出すことが出来るようにする。。 【解決手段】 マイクロヒータは、シースの中に単一の
発熱線を収納したシースヒータ３と、このシースヒータ
３の端部３ａ、３ｂから導出した発熱線に接続したリー
ド線６ａ、６ｂとを有する。シースヒータ３の双方の端
部３ａ、３ｂと、これら端部３ａ、３ｂから導出した発
熱線に接続した一対のリード線６ａ、６ｂとの接続部分
を単一のアダプタ部１に収めている。
用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り付ける
アダプタ部１を単一のものとし、そこから一対のリード
線６ａ、６ｂを取り出すことが出来るようにする。。 【解決手段】 マイクロヒータは、シースの中に単一の
発熱線を収納したシースヒータ３と、このシースヒータ
３の端部３ａ、３ｂから導出した発熱線に接続したリー
ド線６ａ、６ｂとを有する。シースヒータ３の双方の端
部３ａ、３ｂと、これら端部３ａ、３ｂから導出した発
熱線に接続した一対のリード線６ａ、６ｂとの接続部分
を単一のアダプタ部１に収めている。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、単一の発熱線をシ
ースに収納したシースヒータと、このシースヒータの端
部から導出した発熱線に接続したリード線とを有するマ
イクロヒータに関し、例えば、真空チャンバ内で半導体
ウエハを加熱するための熱源として使用されるようなマ
イクロヒータに関する。 【０００２】 【従来の技術】真空チャンバ内で使用されるマイクロヒ
ータは、例えば半導体ウエハ等の基板を加熱するヒータ
熱源として使用される。このようなマイクロヒータとし
ては、高温に耐え、しかも真空雰囲気中でガスの放出が
比較的少ないシースヒータが使用される。シースヒータ
は、ステンレス等の細管の中にニッケル−クロム合金線
やタンタル線等の発熱線を収納し、さらにシースの中に
マグネシア粉末等の無機絶縁材を充填し、シースと発熱
線との絶縁を図ったものである。 【０００３】従来におけるこのようなマイクロヒータに
おいて、単一の発熱線をシースに収納した、いわゆる単
芯のシースヒータを使用したものでは、シースヒータの
両端にアダプターを取り付け、シースヒータの両端から
導出した発熱線の端部にリード線を接続していた。この
ため、２つの配線用ポートを用いて、真空チャンバから
アダプタを介してその外部にリード線を取り出してい
た。 【０００４】また、単一のシースの中に２本の発熱線を
収納した、いわゆる２芯のシースヒータを使用し、シー
スの一端側で二本の発熱線を互いに接続し、シースの他
端側で単一のアダプターにより、それぞれの発熱線にリ
ード線を接続し、真空チャンバからこのアダプタを介し
てその外部にリード線を取り出す構造のマイクロヒータ
も採用されている。 【０００５】 【発明が解決しようとしている課題】前者の単芯のシー
スヒータを用いたマイクロヒータでは、１本のシースヒ
ータについて真空チャンバから発熱線に接続したリード
線を取り出すのに、２つの配線用ポートを必要とする。
このため、真空容器の内に収納するマイクロヒータの本
数が増えると、それだけマイクロヒータのアダプタを真
空チャンバに取り付ける配線用ポートの数も増える。真
空チャンバの壁に設ける配線用ポートが多くなると、真
空チャンバの形状や構造が複雑になるという課題があっ
た。 【０００６】これに対し、２芯のシースヒータを用いた
マイクロヒータでは、真空チャンバの配線用ポートに取
り付けるアダプタは一つで済む。しかし２芯のシースヒ
ータでは、電力密度を高くすると、同じ外径のシースヒ
ータに比べて絶縁材の絶縁ギャップが狭いため、耐電圧
が低くなると共に、高温時に絶縁が低下し、寿命が短く
なるという課題がある。シースの径が同じであれば、２
芯のシースヒータに比べ、単芯のシースヒータの方が耐
電圧に優れ、寿命が長い。高温で使用する場合は特に１
芯のシースヒータを使用するのが望ましい。 【０００７】本発明では、前記従来におけるマイクロヒ
ータの課題に鑑み、高耐電圧、長寿命の単芯のシースヒ
ータを用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り
付けるアダプタを単一のものとし、そこから一対のリー
ド線を取り出すことが出来るようにし、もって真空チャ
ンバの配線用ポートを少なくすることができるようにし
たものである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、単芯のシースヒータ３を使用し、その
シースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂから導出した発
熱線とリード線とを、単一のアダプタ４の中で接続した
ものである。換言すると、シースヒータ３の双方の端部
３ａ、３ｂから導出した発熱線に接続した一対のリード
線６ａ、６ｂは、単一のアダプタ４から引き出される。 【０００９】すなわち、本発明によるマイクロヒータ
は、シースの中に単一の発熱線を収納したシースヒータ
３と、このシースヒータ３の端部３ａ、３ｂから導出し
た発熱線に接続したリード線６ａ、６ｂとを有し、シー
スヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂと、これら端部３
ａ、３ｂから導出した発熱線に接続した一対のリード線
６ａ、６ｂとの接続部分を単一のアダプタ部１に収めた
ものである。 【００１０】このような本発明によるマイクロヒータで
は、シースの中に単一の発熱線を収納した単芯のシース
ヒータ３を使用しているため、発熱線とシースとの間の
絶縁材のギャップを広くとることができる。これにより
耐電圧に優れ、寿命の長いマイクロヒータとなり得る。 【００１１】さらに、シースヒータ３の双方の端部３
ａ、３ｂと、これら端部３ａ、３ｂから導出した発熱線
に接続した一対のリード線６ａ、６ｂとを単一のアダプ
タ部１に収めているため、１本のマイクロヒータについ
て単一のアダプタ部１を真空チャンバの配線用ポートに
取り付ければよく、真空チャンバの配線用ポートを数多
く必要としない。 【００１２】 【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態によるマイクロヒータを示
すものである。このマイクロヒータは、シースヒータ３
を蛇行させて形成した加熱部２と、シースヒータ３の双
方の端部３ａ、３ｂからそれぞれ引き出された発熱線と
リード線６ａ、６ｂとを接続したアダプタ部１とを有す
る。図１に示すように、シースヒータ３の双方の端部３
ａ、３ｂを一纏めとし、それらの発熱線とリード線６
ａ、６ｂとを接続部分を一つのアダプタ４に収納してい
る。 【００１３】既に述べた通り、シースヒータ３は、ステ
ンレスパイプ状のシースの中に発熱線を挿入し、シース
の中にＭｇＯ等の無機絶縁粉末からなる絶縁材を充填
し、シースと発熱線とを絶縁したものである。なお、図
１に示した加熱部２におけるシースヒータ３の形状は一
例であって、加熱物及び加熱の目的等に応じて任意形状
を採用できることは言うまでもない。 【００１４】図２は、前記のアダプタ部１の全体を示
し、図３と図４は、それぞれ前記図２のＡ部分とＢ部分
の拡大図である。図２に示すように、前記のシースヒー
タ３の端部３ａ、３ｂにおいて、そのシースと絶縁材と
を除去し、発熱線の端部をシースから導出する。このシ
ースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂからそれぞれ導出
された発熱線の端部が、棒状の端子１１ａ、１１ｂの一
端に接続され、さらにこの端子１１ａ、１１ｂの他端に
リード線６ａ、６ｂが接続されている。そして、このシ
ースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂからリード線６
ａ、６ｂの端部に至る２組みの接続部分は、ステンレス
パイプ等からなる１本のアダプタ４の中に収められてい
る。アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ側の端部外周に
は、やはりステンレス等からなる円筒状のカラーが嵌め
込まれている。 【００１５】図３にも示すように、発熱線の端部を導出
したシースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂには、予め
スリーブ８ａ、８ｂが嵌め込まれ、カシメられている。
さらに、シースヒータ３の双方の端部が３ａ、３ｂ円柱
形の封止ブロック７に貫通した２つの通孔に前記スリー
ブ８ａ、８ｂを介して挿入される。 【００１６】一方、図４にも示すように、端子１１ａ、
１１ｂの端部には、リード線６ａ、６ｂが予め接続され
る。この端子１１ａ、１１ｂをアダプタ４に引き通し、
図３に示すように、シースヒータ３の双方の端部３ａ、
３ｂからそれぞれ導出された発熱線の端部を、この端子
１１ａ、１１ｂの端面に設けた穴に挿入し、カシメられ
た後、溶接する等の手段で接合される。 【００１７】その後、こられの接続部分をアダプタ４の
中に挿入し、そのアダプタ４の端部に封止ブロック７が
嵌め込まれ、溶接等の手段でアダプタ４の端部に気密に
固定される。さらに、アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ
側の開いた端部からマグネシア粉末等の無機物からなる
絶縁材９が充填される。十分充填したところで、アダプ
タ４の全体を径方向に加圧し、減圧し、絶縁材９の充填
密度を高める。 【００１８】絶縁材９の充填が完了したところで、図４
に示すように、アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ側の開
いた端部にエポキシ樹脂を充填し、これを加熱、硬化さ
せて樹脂封止を行う。これにより、シースヒータ３の双
方の端部３ａ、３ｂにリード線６ａ、６ｂを接続したア
ダプタ部１が完成する。 【００１９】このようなマイクロヒータでは、加熱部２
を真空チャンバ内の所定の箇所に取り付け、さらにアダ
プタ部１を真空チャンバの壁に設けた配線用ポートに気
密に貫通して取り付け、リード線６ａ、６ａを真空チャ
ンバの外に引き出して、電源回路との接続を行う。 【００２０】 【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるマイク
ロヒータでは、高耐電圧、長寿命の単芯のシースヒータ
を用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り付け
るアダプタを単一のものとし、そこから一対のリード線
を取り出すことが出来る。これにより、真空チャンバの
配線用ポートを少なくすることができる。
ースに収納したシースヒータと、このシースヒータの端
部から導出した発熱線に接続したリード線とを有するマ
イクロヒータに関し、例えば、真空チャンバ内で半導体
ウエハを加熱するための熱源として使用されるようなマ
イクロヒータに関する。 【０００２】 【従来の技術】真空チャンバ内で使用されるマイクロヒ
ータは、例えば半導体ウエハ等の基板を加熱するヒータ
熱源として使用される。このようなマイクロヒータとし
ては、高温に耐え、しかも真空雰囲気中でガスの放出が
比較的少ないシースヒータが使用される。シースヒータ
は、ステンレス等の細管の中にニッケル−クロム合金線
やタンタル線等の発熱線を収納し、さらにシースの中に
マグネシア粉末等の無機絶縁材を充填し、シースと発熱
線との絶縁を図ったものである。 【０００３】従来におけるこのようなマイクロヒータに
おいて、単一の発熱線をシースに収納した、いわゆる単
芯のシースヒータを使用したものでは、シースヒータの
両端にアダプターを取り付け、シースヒータの両端から
導出した発熱線の端部にリード線を接続していた。この
ため、２つの配線用ポートを用いて、真空チャンバから
アダプタを介してその外部にリード線を取り出してい
た。 【０００４】また、単一のシースの中に２本の発熱線を
収納した、いわゆる２芯のシースヒータを使用し、シー
スの一端側で二本の発熱線を互いに接続し、シースの他
端側で単一のアダプターにより、それぞれの発熱線にリ
ード線を接続し、真空チャンバからこのアダプタを介し
てその外部にリード線を取り出す構造のマイクロヒータ
も採用されている。 【０００５】 【発明が解決しようとしている課題】前者の単芯のシー
スヒータを用いたマイクロヒータでは、１本のシースヒ
ータについて真空チャンバから発熱線に接続したリード
線を取り出すのに、２つの配線用ポートを必要とする。
このため、真空容器の内に収納するマイクロヒータの本
数が増えると、それだけマイクロヒータのアダプタを真
空チャンバに取り付ける配線用ポートの数も増える。真
空チャンバの壁に設ける配線用ポートが多くなると、真
空チャンバの形状や構造が複雑になるという課題があっ
た。 【０００６】これに対し、２芯のシースヒータを用いた
マイクロヒータでは、真空チャンバの配線用ポートに取
り付けるアダプタは一つで済む。しかし２芯のシースヒ
ータでは、電力密度を高くすると、同じ外径のシースヒ
ータに比べて絶縁材の絶縁ギャップが狭いため、耐電圧
が低くなると共に、高温時に絶縁が低下し、寿命が短く
なるという課題がある。シースの径が同じであれば、２
芯のシースヒータに比べ、単芯のシースヒータの方が耐
電圧に優れ、寿命が長い。高温で使用する場合は特に１
芯のシースヒータを使用するのが望ましい。 【０００７】本発明では、前記従来におけるマイクロヒ
ータの課題に鑑み、高耐電圧、長寿命の単芯のシースヒ
ータを用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り
付けるアダプタを単一のものとし、そこから一対のリー
ド線を取り出すことが出来るようにし、もって真空チャ
ンバの配線用ポートを少なくすることができるようにし
たものである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、単芯のシースヒータ３を使用し、その
シースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂから導出した発
熱線とリード線とを、単一のアダプタ４の中で接続した
ものである。換言すると、シースヒータ３の双方の端部
３ａ、３ｂから導出した発熱線に接続した一対のリード
線６ａ、６ｂは、単一のアダプタ４から引き出される。 【０００９】すなわち、本発明によるマイクロヒータ
は、シースの中に単一の発熱線を収納したシースヒータ
３と、このシースヒータ３の端部３ａ、３ｂから導出し
た発熱線に接続したリード線６ａ、６ｂとを有し、シー
スヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂと、これら端部３
ａ、３ｂから導出した発熱線に接続した一対のリード線
６ａ、６ｂとの接続部分を単一のアダプタ部１に収めた
ものである。 【００１０】このような本発明によるマイクロヒータで
は、シースの中に単一の発熱線を収納した単芯のシース
ヒータ３を使用しているため、発熱線とシースとの間の
絶縁材のギャップを広くとることができる。これにより
耐電圧に優れ、寿命の長いマイクロヒータとなり得る。 【００１１】さらに、シースヒータ３の双方の端部３
ａ、３ｂと、これら端部３ａ、３ｂから導出した発熱線
に接続した一対のリード線６ａ、６ｂとを単一のアダプ
タ部１に収めているため、１本のマイクロヒータについ
て単一のアダプタ部１を真空チャンバの配線用ポートに
取り付ければよく、真空チャンバの配線用ポートを数多
く必要としない。 【００１２】 【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態によるマイクロヒータを示
すものである。このマイクロヒータは、シースヒータ３
を蛇行させて形成した加熱部２と、シースヒータ３の双
方の端部３ａ、３ｂからそれぞれ引き出された発熱線と
リード線６ａ、６ｂとを接続したアダプタ部１とを有す
る。図１に示すように、シースヒータ３の双方の端部３
ａ、３ｂを一纏めとし、それらの発熱線とリード線６
ａ、６ｂとを接続部分を一つのアダプタ４に収納してい
る。 【００１３】既に述べた通り、シースヒータ３は、ステ
ンレスパイプ状のシースの中に発熱線を挿入し、シース
の中にＭｇＯ等の無機絶縁粉末からなる絶縁材を充填
し、シースと発熱線とを絶縁したものである。なお、図
１に示した加熱部２におけるシースヒータ３の形状は一
例であって、加熱物及び加熱の目的等に応じて任意形状
を採用できることは言うまでもない。 【００１４】図２は、前記のアダプタ部１の全体を示
し、図３と図４は、それぞれ前記図２のＡ部分とＢ部分
の拡大図である。図２に示すように、前記のシースヒー
タ３の端部３ａ、３ｂにおいて、そのシースと絶縁材と
を除去し、発熱線の端部をシースから導出する。このシ
ースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂからそれぞれ導出
された発熱線の端部が、棒状の端子１１ａ、１１ｂの一
端に接続され、さらにこの端子１１ａ、１１ｂの他端に
リード線６ａ、６ｂが接続されている。そして、このシ
ースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂからリード線６
ａ、６ｂの端部に至る２組みの接続部分は、ステンレス
パイプ等からなる１本のアダプタ４の中に収められてい
る。アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ側の端部外周に
は、やはりステンレス等からなる円筒状のカラーが嵌め
込まれている。 【００１５】図３にも示すように、発熱線の端部を導出
したシースヒータ３の双方の端部３ａ、３ｂには、予め
スリーブ８ａ、８ｂが嵌め込まれ、カシメられている。
さらに、シースヒータ３の双方の端部が３ａ、３ｂ円柱
形の封止ブロック７に貫通した２つの通孔に前記スリー
ブ８ａ、８ｂを介して挿入される。 【００１６】一方、図４にも示すように、端子１１ａ、
１１ｂの端部には、リード線６ａ、６ｂが予め接続され
る。この端子１１ａ、１１ｂをアダプタ４に引き通し、
図３に示すように、シースヒータ３の双方の端部３ａ、
３ｂからそれぞれ導出された発熱線の端部を、この端子
１１ａ、１１ｂの端面に設けた穴に挿入し、カシメられ
た後、溶接する等の手段で接合される。 【００１７】その後、こられの接続部分をアダプタ４の
中に挿入し、そのアダプタ４の端部に封止ブロック７が
嵌め込まれ、溶接等の手段でアダプタ４の端部に気密に
固定される。さらに、アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ
側の開いた端部からマグネシア粉末等の無機物からなる
絶縁材９が充填される。十分充填したところで、アダプ
タ４の全体を径方向に加圧し、減圧し、絶縁材９の充填
密度を高める。 【００１８】絶縁材９の充填が完了したところで、図４
に示すように、アダプタ４のリード線６ａ、６ｂ側の開
いた端部にエポキシ樹脂を充填し、これを加熱、硬化さ
せて樹脂封止を行う。これにより、シースヒータ３の双
方の端部３ａ、３ｂにリード線６ａ、６ｂを接続したア
ダプタ部１が完成する。 【００１９】このようなマイクロヒータでは、加熱部２
を真空チャンバ内の所定の箇所に取り付け、さらにアダ
プタ部１を真空チャンバの壁に設けた配線用ポートに気
密に貫通して取り付け、リード線６ａ、６ａを真空チャ
ンバの外に引き出して、電源回路との接続を行う。 【００２０】 【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるマイク
ロヒータでは、高耐電圧、長寿命の単芯のシースヒータ
を用いながら、真空チャンバの配線用ポートに取り付け
るアダプタを単一のものとし、そこから一対のリード線
を取り出すことが出来る。これにより、真空チャンバの
配線用ポートを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるマイクロヒータの全
体を示す平面図である。 【図２】同実施形態によるマイクロヒータのアダプタ部
の全体を示す縦断側面図である。 【図３】前記図２のＡ部分の拡大図である。 【図４】前記図２のＢ部分の拡大図である。 【符号の説明】 １ アダプタ部 ３ シースヒータ ３ａ シースヒータの端部 ３ｂ シースヒータの端部 ６ａ リード線 ６ｂ リード線
体を示す平面図である。 【図２】同実施形態によるマイクロヒータのアダプタ部
の全体を示す縦断側面図である。 【図３】前記図２のＡ部分の拡大図である。 【図４】前記図２のＢ部分の拡大図である。 【符号の説明】 １ アダプタ部 ３ シースヒータ ３ａ シースヒータの端部 ３ｂ シースヒータの端部 ６ａ リード線 ６ｂ リード線
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 花園 真佐志
茨城県日立市滑川本町三丁目19番５号 助
川電気工業株式会社内
Ｆターム(参考） 3K092 PP20 QA01 QB02 QB26 QC38
QC41 QC42 QC43 RA01 VV01
VV03
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 シースの中に単一の発熱線を収納したシ
ースヒータ（３）と、このシースヒータ（３）の端部
（３ａ）、（３ｂ）から導出した発熱線に接続したリー
ド線（６ａ）、（６ｂ）とを有するマイクロヒータにお
いて、シースヒータ（３）の双方の端部（３ａ）、（３
ｂ）と、これら端部（３ａ）、（３ｂ）から導出した発
熱線に接続した一対のリード線（６ａ）、（６ｂ）との
接続部分を単一のアダプタ部（１）に収めたことを特徴
とするマイクロヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001341718A JP3914031B2 (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | マイクロヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001341718A JP3914031B2 (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | マイクロヒータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003142235A true JP2003142235A (ja) | 2003-05-16 |
| JP3914031B2 JP3914031B2 (ja) | 2007-05-16 |
Family
ID=19155698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001341718A Expired - Fee Related JP3914031B2 (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | マイクロヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3914031B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220325A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Yamari Sangyo Kk | マイクロヒータの接続構造および該マイクロヒータの製造方法 |
| JP2009238732A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロヒーターアレイ及びマイクロヒーターアレイを備えたｐｎ接合、並びにその形成方法 |
| CN101666581A (zh) * | 2008-09-01 | 2010-03-10 | 光洋热系统株式会社 | 热处理装置 |
| JP2013218947A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Alpha Oikos:Kk | 発熱部と非発熱部とを有するマイクロヒーターおよびその製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100945200B1 (ko) * | 2008-07-03 | 2010-03-03 | 한국전기연구원 | 평판형 전열장치 |
-
2001
- 2001-11-07 JP JP2001341718A patent/JP3914031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007220325A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Yamari Sangyo Kk | マイクロヒータの接続構造および該マイクロヒータの製造方法 |
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| JP2010061850A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| TWI463103B (zh) * | 2008-09-01 | 2014-12-01 | Koyo Thermo Sys Co Ltd | 熱處理裝置 |
| JP2013218947A (ja) * | 2012-04-11 | 2013-10-24 | Alpha Oikos:Kk | 発熱部と非発熱部とを有するマイクロヒーターおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3914031B2 (ja) | 2007-05-16 |
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