JP2009234057A - ガスバリア性積層フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のガスバリア性積層フィルムは、基材層の少なくとも一方の面上に、ガスバリア層と被膜層とを順次積層してなるガスバリア性積層フィルムであって、前記ガスバリア層は、前記基材層上に第1層から第n層(nは2以上の整数)まで順次積層してなり、前記第1層から第n−1層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、前記第n層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0.5以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、前記第n層の厚さは、5nm以上、かつ、前記ガスバリア層の厚さの5%以上95%以下であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
前記ガスバリア層は、前記基材層上に第1層から第n層(nは2以上の整数)まで順次積層してなり、
前記第1層から第n−1層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、
前記第n層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0.5以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、前記第n層の厚さは、5nm以上、かつ、前記ガスバリア層の厚さの5%以上95%以下である
ことを特徴とするガスバリア性積層フィルムである。
また、本発明におけるガスバリア層2は、一般式SiOxCyで表すことができる。
性は低下する傾向がある。
硬化収縮率が0.2%未満であると被膜層3形成時の硬化収縮による内部応力が僅かに生じるだけで、ガスバリア層2を十分に引き締めることができないため、上記ガスバリア性向上機能が期待できない。また、硬化収縮率が10%を超えると被膜層3形成時の硬化収縮による内部応力が過度に働き、ガスバリア層2の密着性が低下する可能性が高くなる。
硬化収縮率 = (硬化後の密度−硬化前の密度)/硬化後の密度×100
以下の実施例1、2、3においては、基材層1上に、ガスバリア層2と被膜層3とを順次積層したガスバリア性積層フィルムを作製した。
基材層1として厚さ25μmのニ軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意し、真空蒸着装置内に設置した。プラズマCVD法を用い、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)/酸素=5/100sccmの混合ガスを電極間に導入し、13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化し、基材層1上に一般式SiOxCy(x=1.9,y=0.1)で表される厚さ100nmの第1層(ガスバリア層)を積層し、連続して、HMDSO=5sccmを電極間に導入し、同様に13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化し、上記ガスバリア層上に一般式SiOxCy(x=1.8,y=1.0)で表される厚さ50nmの第2層(ガスバリア層)を積層し、酸化珪素からなるガスバリア層2を形成した。続いて、フラッシュ蒸着法により、ガスバリア層2上に2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレートとプロポキシ化ネオペンチルグリコールジアクリレートとエトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレートとの60/30/10(重量%)の混合物(硬化収縮率:6.3%)からなる、厚さ5μmの未硬化のフラッシュ蒸着被膜層を積層した。フラッシュ蒸着被膜層に電子線を照射して硬化させ、被膜層3を形成した。こうして実施例1のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、酸化珪素からなるガスバリア層2を、プラズマCVD法を用い、HMDSO/酸素=5/100sccmの混合ガスを電極間に導入し、13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化を開始し、その後、高周波を印加したまま導入している酸素を0sccmまで連続的に減少させ、基材層1上に一般式SiOxCyで表される厚さ150nmのガスバリア層として形成した。このとき、ガスバリア層2の表面から基材層1に向う深さ約10nmでは一般式SiOxCyにおいてx=1.8,y=0.8、表面から基材1に向う深さ約140nmではx=1.9,y=0.1であった。その他の条件は実施例1と同様であった。こうして実施例2のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、酸化珪素からなるガスバリア層2を、電子線加熱方式で酸化珪素を蒸発させて、基材層1上に一般式SiOxCy(x=1.6,y=0)で表される厚さ100nmの第1層(ガスバリア層)を積層し、連続して、プラズマCVD法を用い、HMDSO=5sccmを電極間に導入し、同様に13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化し、上記ガスバリア層上に一般式SiOxCy(x=1.8,y=1.0)で表される厚さ50nmの第2層(ガスバリア層)を積層して形成した。その他の条件は実施例1と同様であった。こうして実施例3のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、酸化珪素からなるガスバリア層2を、プラズマCVD法を用い、HMDSO/酸素=5/100sccmの混合ガスを電極間に導入し、13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化し、基材層1上に一般式SiOxCy(x=1.9,y=0.1)で表される厚さ150nmのガスバリア層を積層して形成した。その他の条件は実施例1と同様であった。こうして比較例1のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、酸化珪素からなるガスバリア層2を、プラズマCVD法を用い、HMDSO=5sccmの混合ガスを電極間に導入し、13.56MHzの高周波を0.5kW印加してプラズマ化し、基材層1上に一般式SiOxCy(x=1.8,y=1.0)で表される厚さ150nmのガスバリア層を積層して形成した。その他の条件は実施例1と同様であった。こうして比較例2のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、基材層1上に、実施例1と同様にして酸化珪素からなるガスバリア層2のみを積層し、被膜層3は積層しなかった。こうして比較例3のガスバリア性積層フィルムを作製した。
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、酸化珪素からなるガスバリア層2を、電子線加熱方式で酸化珪素を蒸発させて、基材層1上に一般式SiOxCy(x=1.6,y=0)で表される厚さ150nmのガスバリア層を積層して形成した。その他の条件は実施例1と同様であった。こうして比較例4のガスバリア性積層フィルムを作製した。
1.酸素透過度
実施例1、2、3および比較例1、2、3、4の単体フィルムおよび印刷フィルムについて、モダンコントロール社製の酸素透過度計(MOCON OX−TRAN 2/21)により、30℃−70%RH雰囲気下での酸素透過度(cc/m2・24h・MPa)を測定した。
実施例1、2、3および比較例1、2、3、4の単体フィルムについて、モダンコントロール社製の水蒸気透過度計(MOCON PERMATRAN−W 3/31)により、40℃−90%RH雰囲気下での水蒸気透過度(g/m2・24h)を測定した。
実施例1、2、3および比較例1、2、3、4の積層フィルムから15mm幅にスリットした試験片について、通常のテンシロン型万能試験機により、ラミネート強度(N/15mm)を測定した。
これらの測定結果を表1に示す。
Claims (8)
- 透明なプラスチックフィルムからなる基材層の少なくとも一方の面上に、酸化珪素を含み、かつ、厚さが10nm以上500nm以下であるガスバリア層と、重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を含み、かつ、厚さが0.1μm以上10μm以下である被膜層と、を順次積層してなるガスバリア性積層フィルムであって、
前記ガスバリア層は、前記基材層上に第1層から第n層(nは2以上の整数)まで順次積層してなり、
前記第1層から第n−1層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、
前記第n層は、SiOxCy(xは0.1以上2.1以下、yは0.5以上3.0以下)で表される酸化珪素からなり、前記第n層の厚さは、5nm以上、かつ、前記ガスバリア層の厚さの5%以上95%以下である
ことを特徴とするガスバリア性積層フィルム。 - 前記第1層から第n−1層のうち少なくともいずれか1層以上の層は、SiOxCy(xは1.5以上2.0以下、yは0.2以下)で表される酸化珪素からなることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記第1層から第n−1層のうち少なくともいずれか1層は、SiOxCy(xは1.5以上2.0以下、yは0.2以下)で表される酸化珪素からなり、その厚さは、5nm以上、かつ、前記ガスバリア層の厚さの5%以上95%以下であることを特徴とする請求項2に記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記第1層から第n層に向ってyの値が連続的に増加していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記ガスバリア層は、プラズマ化学蒸着(CVD)法により形成されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記被膜層は、フラッシュ蒸着法を用いて形成されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物の硬化収縮率は、0.2%以上10%以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。
- 前記重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物は、モノアクリレートまたはジアクリレートまたはその両方を含有しており、前記モノアクリレートまたはジアクリレートまたはその両方の含有率は前記重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物の50重量%以上であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のガスバリア性積層フィルム。
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