JP2009230915A - 電力合成器およびマイクロ波導入機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電力合成器100は、筒状をなす本体容器1と、本体容器1の側面に設けられた電力を電磁波として導入する複数の電力導入ポート2と、複数の電力導入ポート2にそれぞれ設けられた複数の給電アンテナ6と、複数の給電アンテナ6から本体容器1内に放射された電磁波を空間合成する合成部10と、合成部10で合成された電磁波を出力する出力ポート11とを具備し、給電アンテナ6は、電力導入ポート2から電磁波が供給される第1の極21および供給された電磁波を放射する第2の極22を有するアンテナ本体23と、アンテナ本体23から側方へ突出するように設けられた、電磁波を反射させる反射部24とを有する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る電力合成器を示す垂直断面図、図2はその電力導入ポートでの水平断面図である。この電力合成器100は、筒状をなし、側面に電力を電磁波として導入する2つの電力導入ポート2を有する本体容器1を備えている。本体容器1の内部には筒状の内導体3が本体容器1と同軸状に設けられており、同軸線路を構成している。なお、内導体3は柱状をなしていてもよい。
図6は本発明に係る電力合成器を適用したマイクロ波導入機構が搭載されたプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図であり、図7は図6に示されたマイクロ波プラズマ源の構成を示すブロックである。
まず、ウエハWをチャンバ101内に搬入し、サセプタ111上に載置する。そして、プラズマガス供給源127から配管128およびプラズマガス導入部材126を介してチャンバ101内にプラズマガス、例えばArガスを導入しつつ、マイクロ波プラズマ源102からマイクロ波をチャンバ101内に導入してプラズマを形成する。
ここでは、有限要素法を用いた電磁波解析を用いてシミュレーションを行った。最適化にはSパラメータを用い、擬似ニュートン法により行った。具体的には、図10に示すように、2つの電力導入ポート(第1のポートおよび第2のポート)において、入力方向に進む電磁波の振幅をそれぞれa1,a2、出力方向に進む電磁波の振幅をそれぞれb1,b2とし、出力ポート(第3のポート)において、入力方向に進む電磁波の振幅をa3、出力方向に進む電磁波の振幅をb3とした場合、以下の(1)〜(3)式が成り立つ。
b1=S11a1+S12a2+S13a3 …(1)
b2=S21a1+S22a2+S23a3 …(2)
b3=S31a1+S32a2+S33a3 …(3)
そして、これらの式を行列を用いて表すと、以下の(4)式となる。
|S31|2+|S32|2=1.0 …(5)
ここで、|S31|=|S32|とすると、|S31|および|S32|の最大値は0.70となるから、シミュレーションにより|S31|が0.70に近くなる条件を求めた。なお、|S11+S12|および|S21+S22|は第3のポートから出力されない信号であるから、その値は小さい方がよい。
2;電力導入ポート
3;内導体
4;同軸線路
6;給電アンテナ
7;PCB基板
8,9;誘電体部材
10;合成部
11;出力ポート
21;第1の極
22;第2の極
23;アンテナ本体
24;反射部
100;電力合成器
101;チャンバ
102;マイクロ波プラズマ源
111;サセプタ
112;支持部材
116;排気装置
120;シャワープレート
121;ガス流路
122;ガス吐出孔
125;処理ガス供給源
126;プラズマガス導入部材
127;プラズマガス供給源
130;マイクロ波出力部
140;マイクロ波導入部
141;マイクロ波導入機構
150;マイクロ波供給部
151;本体容器
152;マイクロ波電力導入ポート
153;内導体
154;同軸線路
156;給電アンテナ
157;PCB基板
158,159;誘電体部材
160;合成部
170;チューナ
171;スラグ
180;アンテナ部
181;平面スロットアンテナ
182;遅波材
183;天板
190;制御部
200;プラズマ処理装置
Claims (25)
- 筒状をなす本体容器と、
前記本体容器の側面に設けられた電力を電磁波として導入する複数の電力導入ポートと、
前記複数の電力導入ポートにそれぞれ設けられ、供給された電磁波を前記本体容器内に放射する複数の給電アンテナと、
前記複数の給電アンテナから前記本体容器内に放射された電磁波を空間合成する合成部と、
前記合成部で合成された電磁波を出力する出力ポートと
を具備し、
前記給電アンテナは、前記電力導入ポートから電磁波が供給される第1の極および供給された電磁波を放射する第2の極を有するアンテナ本体と、前記アンテナ本体から側方へ突出するように設けられた、電磁波を反射させる反射部とを有し、前記アンテナ本体に入射された電磁波と前記反射部で反射された電磁波とで定在波を形成するように構成され、
前記各給電アンテナから放射された定在波である電磁波が前記合成部で合成されることを特徴とする電力合成器。 - 前記本体容器内に本体容器と同軸状に設けられた筒状または柱状をなす内導体をさらに具備し、前記アンテナ本体の第2の極は前記内導体に接触していることを特徴とする請求項1に記載の電力合成器。
- 前記反射部は、前記アンテナ本体の両側へ突出するように設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電力合成器。
- 前記反射部は、前記アンテナ本体の第1の極から1/4波長の位置またはその位置を基準として−10%〜+100%の範囲内の位置に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電力合成器。
- 前記反射部の長さが1/2波長またはその長さを基準として−10%〜+50%の範囲内の長さであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の電力合成器。
- 前記反射部は円弧状をなしていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電力合成器。
- 前記給電アンテナは、プリント基板上に形成され、マイクロストリップラインを構成していることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電力合成器。
- 前記給電アンテナを挟むように設けられた誘電体部材をさらに具備していることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の電力合成器。
- 前記誘電体部材は、その厚さが1/2波長の実効長さまたはその長さを基準として−20%〜+20%の範囲内の実効長さを有していることを特徴とする請求項8に記載の電力合成器。
- チャンバ内にマイクロ波プラズマを形成するためのマイクロ波プラズマ源に用いるマイクロ波導入機構であって、
筒状をなす本体容器と、
前記本体容器の側面に設けられたマイクロ波電力を電磁波であるマイクロ波として導入する複数のマイクロ波電力導入ポートと、
前記複数のマイクロ波電力導入ポートにそれぞれ設けられ、供給されたマイクロ波を前記本体容器内に放射する複数の給電アンテナと、
前記複数の給電アンテナから前記本体容器内に放射されたマイクロ波を空間合成する合成部と、
前記合成部で合成されたマイクロ波を前記チャンバ内に放射するマイクロ波放射アンテナを有するアンテナ部と
を具備し、
前記給電アンテナは、前記マイクロ波電力導入ポートからマイクロ波が供給される第1の極およびマイクロ波を放射する第2の極を有するアンテナ本体と、前記アンテナ本体の側方へ突出するように設けられた、マイクロ波を反射させる反射部とを有し、
前記アンテナ本体に入射されたマイクロ波と前記反射部で反射されたマイクロ波とで定在波を形成し、前記各給電アンテナから放射された定在波であるマイクロ波が前記合成部で合成されることを特徴とするマイクロ波導入機構。 - 前記本体容器内に本体容器と同軸状に設けられた筒状または柱状をなす内導体をさらに具備し、前記アンテナ本体の第2の極は前記内導体に接触していることを特徴とする請求項10に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記反射部は、前記アンテナ本体の両側へ突出するように設けられていることを特徴とする請求項10または請求項11に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記反射部は、前記アンテナ本体の第1の極から1/4波長の位置またはその位置を基準として−10%〜+100%の範囲内の位置に設けられていることを特徴とする請求項10から請求項12のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記反射部の長さが1/2波長またはその長さを基準として−10%〜+50%の範囲内の長さであることを特徴とする請求項10から請求項13のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記反射部は円弧状をなしていることを特徴とする請求項10から請求項14のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記給電アンテナは、プリント基板上に形成され、マイクロストリップラインを構成していることを特徴とする請求項10から請求項15のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記給電アンテナを挟むように設けられた誘電体部材をさらに具備していることを特徴とする請求項10から請求項16のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記誘電体部材は、その厚さが1/2波長の実効長さまたはその長さを基準として−20%〜+20%の範囲内の実効長さを有していることを特徴とする請求項17に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記本体容器の前記合成部と前記マイクロ波放射アンテナとの間に設けられ、マイクロ波の伝送路におけるインピーダンス調整を行うチューナをさらに具備することを特徴とする請求項10から請求項18のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記マイクロ波放射アンテナは、平面状をなし、複数のスロットが形成されていることを特徴とする請求項10から請求項19のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記スロットは扇形を有することを特徴とする請求項20に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記アンテナ部は、前記アンテナから放射されたマイクロ波を透過する誘電体からなる天板と、前記アンテナの天板とは反対側に設けられ、前記アンテナに到達するマイクロ波の波長を短くする誘電体からなる遅波材とを有することを特徴とする請求項20または請求項21に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記遅波材の厚さを調整することにより、マイクロ波の位相が調整されることを特徴とする請求項22に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記チューナと前記マイクロ波放射アンテナとは共振器として機能することを特徴とする請求項10から請求項23のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
- 前記チューナは、誘電体からなる2つのスラグを有するスラグチューナであることを特徴とする請求項10から請求項24のいずれか1項に記載のマイクロ波導入機構。
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