JP2013157520A - マイクロ波放射機構および表面波プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波放射機構43は、マイクロ波を伝送する伝送路44と、マイクロ波伝送路44を伝送されてきたマイクロ波を、スロット81aを介してチャンバ1内に放射するアンテナ81と、アンテナ81から放射されたマイクロ波を透過させ、その表面に表面波が形成される誘電体部材110bと、表面波によって表面波プラズマが生成されるプラズマ生成領域に正の直流電圧を印加する直流電圧印加部材112とを具備し、直流電圧印加部材112は、表面波プラズマが広がるように前記プラズマ生成領域に正の直流電圧を印加する。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るマイクロ波放射機構を有する表面波プラズマ処理装置の概略構成を示す断面図であり、図2は図1の表面波プラズマ処理装置に用いられるマイクロ波プラズマ源の構成を示す構成図、図3はマイクロ波プラズマ源におけるマイクロ波供給部を模式的に示す平面図、図4はマイクロ波プラズマ源におけるマイクロ波放射機構を示す断面図、図5はマイクロ波放射機構の給電機構を示す図4のAA′線による横断面図、図6はチューナにおけるスラグと滑り部材を示す図4のBB′線による横断面図である。
図4、5に示すように、マイクロ波放射機構43は、マイクロ波を伝送する同軸構造の導波路(マイクロ波伝送路)44と、導波路44を伝送されたマイクロ波をチャンバ1内に放射するアンテナ部45とを有している。そして、マイクロ波放射機構43からチャンバ1内に放射されたマイクロ波がチャンバ1内の空間で合成され、チャンバ1内で表面波プラズマが形成されるようになっている。
次に、以上のように構成される表面波プラズマ処理装置100における動作について説明する。
まず、ウエハWをチャンバ1内に搬入し、サセプタ11上に載置する。そして、プラズマガス供給源27から配管28およびプラズマガス導入部材26を介してチャンバ1内にプラズマガス、例えばArガスを導入しつつ、マイクロ波プラズマ源2からマイクロ波をチャンバ1内に導入して表面波プラズマを生成する。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、直流電圧印加部材としてDCプローブを用いた例を示したが、これに限らず、ブロック状のものや、マイクロ波放射機構と同心的なリング状のもの等、他の形状であってもよい。またマイクロ波出力部30やマイクロ波供給部40の構成等は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、アンテナから放射されるマイクロ波の指向性制御を行ったり円偏波にしたりする必要がない場合には、位相器は不要である。
2;マイクロ波プラズマ源
11;サセプタ
12;支持部材
15;排気管
16;排気装置
17;搬入出口
20;シャワープレート
30;マイクロ波出力部
31;マイクロ波電源
32;マイクロ波発振器
40;マイクロ波供給部
41;アンテナモジュール
42;アンプ部
43;マイクロ波放射機構
44;導波路
45;アンテナ部
52;外側導体
53;内側導体
54;給電機構
55;マイクロ波電力導入ポート
56;同軸線路
58;反射板
60;チューナ
81;平面スロットアンテナ
82;遅波材
100;表面波プラズマ処理装置
110;天板
110b;誘電体部材
112;DCプローブ
114;直流電源
120;制御部
W;半導体ウエハ
Claims (8)
- チャンバ内に表面波プラズマを形成してプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、マイクロ波生成機構で生成されたマイクロ波をチャンバ内に放射するマイクロ波放射機構であって、
筒状をなす外側導体とその中に同軸的に設けられた内側導体とを有しマイクロ波を伝送する伝送路と、
前記マイクロ波伝送路を伝送されてきたマイクロ波を、スロットを介して前記チャンバ内に放射するアンテナと、
前記アンテナから放射されたマイクロ波を透過させ、その表面に表面波が形成される誘電体部材と、
前記表面波によって表面波プラズマが生成されるプラズマ生成領域に正の直流電圧を印加する直流電圧印加部材と
を具備し、
前記直流電圧印加部材は、前記表面波プラズマが広がるように前記プラズマ生成領域に正の直流電圧を印加することを特徴とするマイクロ波放射機構。 - 前記直流電圧印加部材は、前記プラズマ生成領域に挿入される直流電圧印加プローブであることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波放射機構。
- 前記直流電圧印加部材に印加される直流電圧を制御することにより、前記表面波プラズマの広がりを制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のマイクロ波放射機構。
- 前記チャンバ内の負荷のインピーダンスを前記マイクロ波生成機構の特性インピーダンスに整合させるチューナをさらに有し、前記チューナは、前記マイクロ波伝送路の前記外側導体と前記内側導体の間に設けられ、前記内側導体の長手方向に沿って移動可能な、誘電体からなるスラグと、前記スラグを移動させる駆動機構とを有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のマイクロ波放射機構。
- 被処理基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内にガスを供給するガス供給機構と、
マイクロ波を生成するマイクロ波生成機構と、
前記マイクロ波生成機構で生成されたマイクロ波をチャンバ内に放射する複数のマイクロ波放射機構と
を具備し、
前記マイクロ波放射機構は、
筒状をなす外側導体とその中に同軸的に設けられた内側導体とを有しマイクロ波を伝送する伝送路と、
前記マイクロ波伝送路を伝送されてきたマイクロ波を、スロットを介して前記チャンバ内に放射するアンテナと、
前記アンテナから放射されたマイクロ波を透過させ、その表面に表面波が形成される誘電体部材とを有し、
前記複数のマイクロ波放射機構から放射されたマイクロ波により前記チャンバ内に表面波プラズマを生成して被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記複数のマイクロ波放射機構の少なくとも一つは、
前記表面波によって表面波プラズマが生成されるプラズマ生成領域に正の直流電圧を印加する直流電圧印加部材を有し、
前記直流電圧印加部材は、前記表面波プラズマが広がるように前記プラズマ生成領域に正の直流電圧を印加することを特徴とする表面波プラズマ処理装置。 - 前記直流電圧印加部材は、前記プラズマ生成領域に挿入される直流電圧印加プローブであることを特徴とする請求項5に記載の表面波プラズマ処理装置。
- 前記直流電圧印加部材に印加される直流電圧を制御することにより、前記表面波プラズマの広がりを制御することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の表面波プラズマ処理装置。
- 前記直流電圧印加部材は、前記マイクロ波放射機構の2以上にそれぞれ設けられており、前記直流電圧印加部材はそれぞれ独立して電圧が印加されて、独立して表面波プラズマの広がりが制御されることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の表面波プラズマ処理装置。
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