JP2018080352A - ダイヤモンドを合成する方法、マイクロ波発生装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ダイヤモンドを合成する方法であって、以下を含む:
発振器からマイクロ波を発生させること;
前記発振器から発生したマイクロ波をソリッドステートパワーアンプによって増幅すること;
処理室に炭素含有ガスを供給し、前記ソリッドステートパワーアンプから出力されたマイクロ波を前記処理室に送り、前記処理室内でプラズマを発生させること。
マイクロ波を発生可能な発振器と、
前記発振器から発生したマイクロ波を複数のマイクロ波に分配する分配器と、
前記分配器によって分配された複数のマイクロ波をそれぞれ増幅する複数のソリッドステートパワーアンプと、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を合成する合成器と、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を前記合成器にそれぞれ向ける複数のアイソレータと、
を備えるマイクロ波発生装置が提供される。
マイクロ波発生装置と、
処理室と、
を備え、
前記マイクロ波発生装置は、
マイクロ波を発生可能な発振器と、
前記発振器から発生したマイクロ波を複数のマイクロ波に分配する分配器と、
前記分配器によって分配された複数のマイクロ波をそれぞれ増幅する複数のソリッドステートパワーアンプと、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を合成する合成器と、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を前記合成器にそれぞれ向ける複数のアイソレータと、
を備え、
前記処理室にガスを供給し、前記合成器から出力されたマイクロ波を前記処理室に送り、前記処理室内でプラズマを発生させるプラズマ処理装置が提供される。
図1は、実施形態1に係るプラズマ処理装置20を示す図である。
図2は、実施形態2に係るプラズマ処理装置20を示す図であり、実施形態1の図1に対応する。本実施形態に係るプラズマ処理装置20は、以下の点を除いて、実施形態1に係るプラズマ処理装置20と同様である。
図3は、実施形態3に係るプラズマ処理装置20を示す図であり、実施形態2の図2に対応する。本実施形態に係るプラズマ処理装置20は、以下の点を除いて、実施形態2に係るプラズマ処理装置20と同様である。
図5は、実施形態4に係るマイクロ波発生装置10を示す図である。本実施形態に係るマイクロ波発生装置10は、以下の点を除いて、実施形態3に係るマイクロ波発生装置10と同様である。
図5に示したマイクロ波発生装置10を作製した。
上述したマイクロ波発生装置10を用いて図6に示したプラズマ処理装置20を作製した。
(1)VSWR 1.1以下
(2)冷却機構
(1)VSWR 1.2以下
(2)順方向損失 0.3dB以下
(3)逆方向損失 20dB以上
(1)負荷整合範囲 VSWR 10以下
(2)整合 VSWR 1.1以下
(3)整合精度 定格電力の1%以下
(4)整合速度 2秒以内(試験回路で判定した)
20 プラズマ処理装置
110 発振器
120 アッテネータ
130 増幅器
140 分配器
150 増幅ユニット
152 SSPA
154 ISO
154a サーキュレータ
154b ダミーロード
160 合成器
170 制御回路
200 接続部
210 同軸導波管変換器
220 ストレート導波管
230 ISO
240 方向性結合器
250 テーパ導波管
260 自動整合器
270 テーパ導波管
300 処理装置
310 処理室
320 立体回路
Claims (9)
- ダイヤモンドを合成する方法であって、以下を含む:
発振器からマイクロ波を発生させること;
前記発振器から発生したマイクロ波をソリッドステートパワーアンプによって増幅すること;
処理室に炭素含有ガスを供給し、前記ソリッドステートパワーアンプから出力されたマイクロ波を前記処理室に送り、前記処理室内でプラズマを発生させること。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記処理室に前記炭素含有ガスとともに窒素含有ガスを供給することを含む。 - 請求項2に記載の方法であって、
ここで、前記炭素含有ガスはメタンガスであり、前記窒素含有ガスは窒素ガスである。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載の方法であって、以下を含む:
前記発振器から発生したマイクロ波を分配器によって複数のマイクロ波に分配すること;
前記分配器によって分配された複数のマイクロ波のそれぞれを複数のソリッドステートパワーアンプのそれぞれによって増幅すること;
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を合成器によって合成すること、
ここで、前記処理室には、前記合成器から出力されたマイクロ波が送られる。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記複数のソリッドステートパワーアンプによって増幅された複数のマイクロ波のそれぞれを、複数のアイソレータのそれぞれを経由させて前記合成器に送ることを含む。 - 請求項4又は5に記載の方法であって、
前記発振器から発生したマイクロ波を、増幅器を経由させて前記分配器に送ることを含む。 - 請求項6に記載の方法であって、
前記発振器から発生したマイクロ波を、アッテネータを経由させて前記増幅器に送ることを含む。 - マイクロ波を発生可能な発振器と、
前記発振器から発生したマイクロ波を複数のマイクロ波に分配する分配器と、
前記分配器によって分配された複数のマイクロ波をそれぞれ増幅する複数のソリッドステートパワーアンプと、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を合成する合成器と、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を前記合成器にそれぞれ向ける複数のアイソレータと、
を備えるマイクロ波発生装置。 - マイクロ波発生装置と、
処理室と、
を備え、
前記マイクロ波発生装置は、
マイクロ波を発生可能な発振器と、
前記発振器から発生したマイクロ波を複数のマイクロ波に分配する分配器と、
前記分配器によって分配された複数のマイクロ波をそれぞれ増幅する複数のソリッドステートパワーアンプと、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を合成する合成器と、
前記複数のソリッドステートパワーアンプからそれぞれ出力された複数のマイクロ波を前記合成器にそれぞれ向ける複数のアイソレータと、
を備え、
前記処理室にガスを供給し、前記合成器から出力されたマイクロ波を前記処理室に送り、前記処理室内でプラズマを発生させるプラズマ処理装置。
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