JP2014135305A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、試料をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内にプラズマを生成させるための高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記試料台に印加にされた電圧と電流を検出する検出手段と、前記検出手段からの出力値を用いて前記第一の高周波電源と前記第二の高周波電源とを制御する制御装置とを備えるプラズマ処理装置において、前記制御装置は、前記検出手段により検出された電流波形のデータを用いて前記第一の高周波電源を制御するとともに前記検出手段により検出された電圧波形のデータを用いて前記第二の高周波電源を制御することを特徴とする。
【選択図】図7
Description
102 方形導波管
103 方形円形導波管変換機
104 円形導波管
105 自動整合器
106 空洞共振部
107 マイクロ波導入窓
108 シャワープレート
119 プラズマ処理室
110 ソレノイドコイル
111 ガス源
112 下部電極
113 マスフローコントローラ
114 ガスバルブ
115 ターボ分子ポンプ
116 可動弁
117 RF電源
118 RF整合器
119 光ファイバ
120 分光器
121 制御装置
122 センサ
123 測定ユニット
124 バンドパスフィルタ
201 RF電源
202 RF整合器
203 シースの抵抗成分
204 シースの容量成分
205 プラズマの抵抗成分
Claims (9)
- 試料をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内にプラズマを生成させるための高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記試料台に印加にされた電圧と電流を検出する検出手段と、前記検出手段からの出力値を用いて前記第一の高周波電源と前記第二の高周波電源とを制御する制御装置とを備えるプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記検出手段により検出された電流波形のデータを用いて前記第一の高周波電源を制御するとともに前記検出手段により検出された電圧波形のデータを用いて前記第二の高周波電源を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内にプラズマを生成させるための高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記試料台に印加にされた電圧と電流を検出する検出手段と、前記検出手段からの出力値を用いて前記第一の高周波電源と前記第二の高周波電源とを制御する制御装置とを備えるプラズマ処理装置において、
前記検出手段は、検出された電圧波形と検出された電流波形との位相差を求め、
前記制御装置は、前記検出手段により検出された電流波形のデータと前記位相差を用いて前記第一の高周波電源を制御するとともに前記検出手段により検出された電圧波形のデータを用いて前記第二の高周波電源を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記検出された電流波形の最大振幅値から最小振幅値を減じた値であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記検出された電圧波形の最大振幅値から最小振幅値を減じた値であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数と同じ周波数成分だけの電流波形であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数と同じ周波数成分だけの電圧波形であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数に対して5倍から10倍の範囲の高調波成分だけを有する電流波形であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数に対して5倍から10倍の範囲の高調波成分だけを有する電圧波形であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内にプラズマを生成させるための高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記試料台に印加にされた電圧と電流を検出する検出手段と、プラズマ発光を検出する発光検出手段と、前記検出手段からの出力値と前記発光検出手段により検出されたプラズマ発光データを用いて前記第一の高周波電源と前記第二の高周波電源とを制御する制御装置とを備えるプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記検出手段により検出された電流波形のデータと前記プラズマ発光データを用いて前記第一の高周波電源を制御するとともに前記検出手段により検出された電圧波形のデータを用いて前記第二の高周波電源を制御することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記検出された電流波形の最大振幅値から最小振幅値を減じた値であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記検出された電圧波形の最大振幅値から最小振幅値を減じた値であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数と同じ周波数成分だけの電流波形であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数と同じ周波数成分だけの電圧波形であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6記載のプラズマ処理装置において、
前記検出された電流波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数に対して5倍から10倍の範囲の高調波成分だけを有する電流波形であり、
前記検出された電圧波形のデータは、前記第二の高周波電源の周波数に対して5倍から10倍の範囲の高調波成分だけを有する電圧波形であることを特徴とするプラズマ処理装置。
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