JP2009229097A - 熱式流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサ、前記ガスの温度を検出する温度検出素子、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路、および前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備え、特に前記センサ回路の駆動を周期的に停止させて一対の感熱素子の自己発熱を抑制するセンサ電源と、このセンサ電源の動作に同期して前記センサ回路の駆動開始直後であって、前記一対の感熱素子が自己発熱した熱により温度上昇する前に前記センサ回路の出力を抽出するサンプリング回路とを備える。
【選択図】図1
Description
特に前記センサ回路の駆動を周期的に停止させて前記一対の感熱素子の自己発熱を抑制するセンサ電源と、このセンサ電源の動作に同期して前記センサ回路の駆動開始直後に前記センサ回路の出力を抽出するサンプリング回路とを具備したことを特徴としている。
図1は本発明に係る熱式流量計の概略構成図であり、1はシリコン等の半導体基板(センサチップ)上に一対の感熱素子Ru,Rdと発熱素子(ヒータ素子)Rh、および温度検出素子Rrを形成した、例えば前述した特許文献1に示されるような素子構造の熱式流量センサである。ちなみに前記一対の感熱素子Ru,Rd、発熱素子(ヒータ素子)Rh、および温度検出素子Rrは、前記センサチップ1上に白金(Pt)を蒸着する等して形成した薄膜抵抗体からなる。特にこれらの感熱素子Ru,Rd、発熱素子(ヒータ素子)Rh、および温度検出素子Rrを同一素材の抵抗体を用いて形成することで、これらの素子Ru,Rd,Rh,Rr間における抵抗値の温度変化特性が揃えられており、またセンサチップ1上に一括して形成することで前記素子Ru,Rd,Rh,Rr間における上記温度変化特性のバラツキ自体も抑えられている。
3 ヒータ回路
3b ヒータ電源
4 センサ回路
4b センサ電源
6 サンプリング回路
7 計測制御部
Rh 発熱素子
Rr 温度検出素子
R1,R2 固定抵抗
Ru,Rd 感熱素子
Rx,Ry 固定抵抗
Claims (4)
- ガスの通流方向に発熱素子を挟んで一対の感熱素子を設けた熱式流量センサ、前記ガスの温度を検出する温度検出素子、この温度検出素子の出力に応じて前記発熱素子の発熱温度を制御するヒータ回路、および前記一対の感熱素子の出力から前記ガスの流量を求めるセンサ回路とを備えた熱式流量計であって、
前記センサ回路の駆動を周期的に停止させて前記一対の感熱素子の自己発熱を抑制するセンサ電源と、このセンサ電源の動作に同期して前記センサ回路の駆動開始直後に前記センサ回路の出力を抽出するサンプリング回路とを具備したことを特徴とする熱式流量計。 - 前記センサ電源は、前記センサ回路にて求められたガス流量に基づいて動作する制御機器の制御周期に同期して、前記一対の感熱素子に蓄積された熱エネルギの放熱に要する時間に亘って前記センサ回路に対する駆動電源の供給を停止するものである請求項1に記載の熱式流量計。
- 請求項1または2に記載の熱式流量計において、
前記温度検出素子に蓄積された熱エネルギの放熱に要する時間に亘って前記ヒータ回路の駆動を停止させるヒータ電源と、前記ヒータ回路の動作停止時に前記サンプリング回路により抽出されたセンサ出力をゼロ点補正値として求める手段と、前記ヒータ回路の動作時に前記サンプリング回路により抽出されるセンサ出力を上記ゼロ点補正値を用いて補正するゼロ点補正手段とを具備したことを特徴とする熱式流量計。 - 前記ヒータ電源は、前記センサ回路の出力が安定しているときにだけ前記ヒータ回路の駆動を停止するものである請求項3に記載の熱式流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008071383A JP5178264B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 熱式流量計 |
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JP2008071383A JP5178264B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 熱式流量計 |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2015151638A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量測定方法、当該方法を使用する熱式質量流量計、及び当該熱式質量流量計を使用する熱式質量流量制御装置 |
Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPH0353128A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-07 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ゼロ点補正回路 |
JPH08247814A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-09-27 | Ricoh Co Ltd | 感熱式流量センサ |
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JP2004117157A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
-
2008
- 2008-03-19 JP JP2008071383A patent/JP5178264B2/ja active Active
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