JPH0353128A - ゼロ点補正回路 - Google Patents
ゼロ点補正回路Info
- Publication number
- JPH0353128A JPH0353128A JP1186088A JP18608889A JPH0353128A JP H0353128 A JPH0353128 A JP H0353128A JP 1186088 A JP1186088 A JP 1186088A JP 18608889 A JP18608889 A JP 18608889A JP H0353128 A JPH0353128 A JP H0353128A
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- JP
- Japan
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- heater
- zero point
- zero
- turning
- flow rate
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マイクロブリフジを用いた流量測定装置にお
けるゼロ点補正回路に関するものである．〔従来の技術
〕 第６図は、本発明回路が適用される流量測定センサチソ
プの一例を示す斜視図である。このようなチップ構造お
よび製法は、例えば特開昭６１−８８５３２号公報によ
り公知であって、その概要は、半導体チップ１０の上面
中央部につくりつけられたブリッジ１５の表面にヒータ
抵抗ＲＨと、これをはさんで温度センサＲＵ，ＲＤとが
設けられてなる。このようなセンサチソプを流れの中に
置き、温度センサＲＵおよびＲＤが該流れの上・下流位
置となるような姿勢を与え（例えば矢印方向の流れの下
に置く）てヒータ抵抗ＲＨに通電すると、流れによって
、上流側センサＲＵは冷却され、下流側センサＲＤはヒ
ータ熱により加熱されるため、温度差を生じる。この温
度差を電圧値として取り出し流量出力とする。
けるゼロ点補正回路に関するものである．〔従来の技術
〕 第６図は、本発明回路が適用される流量測定センサチソ
プの一例を示す斜視図である。このようなチップ構造お
よび製法は、例えば特開昭６１−８８５３２号公報によ
り公知であって、その概要は、半導体チップ１０の上面
中央部につくりつけられたブリッジ１５の表面にヒータ
抵抗ＲＨと、これをはさんで温度センサＲＵ，ＲＤとが
設けられてなる。このようなセンサチソプを流れの中に
置き、温度センサＲＵおよびＲＤが該流れの上・下流位
置となるような姿勢を与え（例えば矢印方向の流れの下
に置く）てヒータ抵抗ＲＨに通電すると、流れによって
、上流側センサＲＵは冷却され、下流側センサＲＤはヒ
ータ熱により加熱されるため、温度差を生じる。この温
度差を電圧値として取り出し流量出力とする。
従来のマイクロブリフジを用いた流量測定装置における
ゼロ点補正回路では、手動によりオフセット電圧をゼロ
としていた。しかし、このような回路では、周囲温度の
変化によりマイクロブリッジのバランスが崩れたとき、
あるいは増幅器にオフセント電圧が生じたときに発生す
るゼロ点の変動を防止できないという不具合があった。
ゼロ点補正回路では、手動によりオフセット電圧をゼロ
としていた。しかし、このような回路では、周囲温度の
変化によりマイクロブリッジのバランスが崩れたとき、
あるいは増幅器にオフセント電圧が生じたときに発生す
るゼロ点の変動を防止できないという不具合があった。
このような不具合を除去するゼロ点補正回路が実願昭６
２−１８１９４６号において提案されている。この回路
を第５図に示す。同図において、ｌはヒータ回路、点線
で示すＭＢはマイクロブリッジ、Ｒｌ．Ｒ２はセンサ負
荷抵抗、ＲＨはヒータ用抵抗、ＲＵ，ＲＤは感温抵抗、
Ｕ１〜Ｕ５は増幅器、ＶＲＩは可変抵抗、８１〜Ｓ３は
スインチ、Ｃ１はコンデンサ、Ｒ３，Ｒ４は抵抗である
。
２−１８１９４６号において提案されている。この回路
を第５図に示す。同図において、ｌはヒータ回路、点線
で示すＭＢはマイクロブリッジ、Ｒｌ．Ｒ２はセンサ負
荷抵抗、ＲＨはヒータ用抵抗、ＲＵ，ＲＤは感温抵抗、
Ｕ１〜Ｕ５は増幅器、ＶＲＩは可変抵抗、８１〜Ｓ３は
スインチ、Ｃ１はコンデンサ、Ｒ３，Ｒ４は抵抗である
。
第５図の回路はゼロ点補償モードと測定モードの２つの
動作モードをもつ。ゼロ点補償モードにおいては、スイ
ッチＳ１をａ接点側に倒し、スインチＳ２をオン、スイ
ソチＳ３をオフにし、増幅器Ｕ３に現れるオフセット電
圧Ｖ０，を増幅器Ｕ４により反転し、その出力電圧一ｖ
０，をコンデンサＣＩに蓄える。
動作モードをもつ。ゼロ点補償モードにおいては、スイ
ッチＳ１をａ接点側に倒し、スインチＳ２をオン、スイ
ソチＳ３をオフにし、増幅器Ｕ３に現れるオフセット電
圧Ｖ０，を増幅器Ｕ４により反転し、その出力電圧一ｖ
０，をコンデンサＣＩに蓄える。
測定モードにおいては、スイッチＳ１をｂ接点側に倒し
、スインチＳ２をオフ、スイッチＳ３をオンにする。こ
れにより、コンデンサＣＩに蓄えられた電圧一Ｖ。，が
増幅器Ｕ５，スイッチＳ１を通じて増幅器Ｕ３に加えら
れるため、増幅器Ｕ３の出力信号Ｘにおいては■。，は
キャンセルされることになる。
、スインチＳ２をオフ、スイッチＳ３をオンにする。こ
れにより、コンデンサＣＩに蓄えられた電圧一Ｖ。，が
増幅器Ｕ５，スイッチＳ１を通じて増幅器Ｕ３に加えら
れるため、増幅器Ｕ３の出力信号Ｘにおいては■。，は
キャンセルされることになる。
上述したように補償モードにおいてはヒータをオフとし
、マイクロプリフジに沿って流体が流れていでも、流量
ゼロの基準状態を強制的に発生させるものである。この
ような補償モードを手動または自動により測定中に定期
的に挿入することにより、流れを止めることなくゼロ点
補償を行なうことができる。
、マイクロプリフジに沿って流体が流れていでも、流量
ゼロの基準状態を強制的に発生させるものである。この
ような補償モードを手動または自動により測定中に定期
的に挿入することにより、流れを止めることなくゼロ点
補償を行なうことができる。
しかしながら、マイクロブリフジの有する２つの感温抵
抗ＲＵ．ＲＤの熱的なアンバランスや抵抗温度係数の違
いにより、ヒータオフとヒータオンとでは２つの感温抵
抗ＲＵ．ＲＤのバランス状態が異なるため、ヒータオフ
時に求めたオフセット値がヒータオン時の補正値として
適切でない場合がある．特に、測定流量が小さく増幅器
ゲインの高い場合にこのズレが問題になる。
抗ＲＵ．ＲＤの熱的なアンバランスや抵抗温度係数の違
いにより、ヒータオフとヒータオンとでは２つの感温抵
抗ＲＵ．ＲＤのバランス状態が異なるため、ヒータオフ
時に求めたオフセット値がヒータオン時の補正値として
適切でない場合がある．特に、測定流量が小さく増幅器
ゲインの高い場合にこのズレが問題になる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、実際の流量がゼロの場合に増幅
器の出力信号の値が流量ゼロを示すようにするものであ
る。
の目的とするところは、実際の流量がゼロの場合に増幅
器の出力信号の値が流量ゼロを示すようにするものであ
る。
このような課題を解決するために本発明は、自動ゼロ点
補正機能をもったゼロ点補正回路において、強制的に発
生させる基準状態と実際の測定状態とにおけるゼロ点の
ズレを補正する補正手段を備え、この補正手段により測
定状態におけるゼロ点の誤差を除去するようにした，も
のである。
補正機能をもったゼロ点補正回路において、強制的に発
生させる基準状態と実際の測定状態とにおけるゼロ点の
ズレを補正する補正手段を備え、この補正手段により測
定状態におけるゼロ点の誤差を除去するようにした，も
のである。
本発明によるゼロ点補正回路においては、流量がゼロの
場合には増幅器の出力信号の値は流量ゼロを示す。
場合には増幅器の出力信号の値は流量ゼロを示す。
第１図は、本発明によるゼロ点補正回路の一実施例を示
す回路図である。第５図と異なるところは、補正手段と
しての可変抵抗ＶＲ２によりスイフチＳ１のａ接点に電
圧ＶＡが供給されている点である。スイッチＳ１はヒー
タオフ時にａ接点側に倒れ、ヒータオン時にｂ接点側に
倒れる。ヒータオフ時に、可変抵抗ＶＲ２で発生する電
圧ＶＡをａ接点に印加することにより、ヒータオフとヒ
ータオンによって生じるオフセットの差をキャンセルす
ることができる。可変抵抗ＶＲ２の調整は、ヒータオン
、流量ゼロにして出荷時に行なう。経年変化によるオフ
セントの変化は、従来通り、流体が流れている状態でヒ
ータをオフとして行なう。
す回路図である。第５図と異なるところは、補正手段と
しての可変抵抗ＶＲ２によりスイフチＳ１のａ接点に電
圧ＶＡが供給されている点である。スイッチＳ１はヒー
タオフ時にａ接点側に倒れ、ヒータオン時にｂ接点側に
倒れる。ヒータオフ時に、可変抵抗ＶＲ２で発生する電
圧ＶＡをａ接点に印加することにより、ヒータオフとヒ
ータオンによって生じるオフセットの差をキャンセルす
ることができる。可変抵抗ＶＲ２の調整は、ヒータオン
、流量ゼロにして出荷時に行なう。経年変化によるオフ
セントの変化は、従来通り、流体が流れている状態でヒ
ータをオフとして行なう。
第２図は本発明の第２の実施例を示す回路図であり、第
１図と比べて、増幅器Ｕ６が追加されている。可変抵抗
ＶＲ２によって−ＶＡの電圧を発生し、増幅器全体のバ
イアスを動かすことによって第１の実施例と同等の機能
を得るものである。
１図と比べて、増幅器Ｕ６が追加されている。可変抵抗
ＶＲ２によって−ＶＡの電圧を発生し、増幅器全体のバ
イアスを動かすことによって第１の実施例と同等の機能
を得るものである。
第３図は本発明の第３の実施例を示す回路図であり、増
幅器Ｕ４とＵ５の代わりにＡ／Ｄ変換器２と演算装置３
を用いた例を示す。第３図において、スイソチＳ４はヒ
ータオフ時にａ接点側に倒れ、ヒータオン時にｂ接点側
に倒れる。Ａ／Ｄ変換器２はヒータオフ時とオン時に各
々データを取り込み、演算装置３はヒータオフ時とオン
時の差を計算するが、ヒータオン時のデータには可変抵
抗ＶＲ２によって発生するーＶＡが加わるため、計算結
果ではヒータオフとオンによって生じるオフセントの差
はキャンセルされる。Ｘはヒータオフ時とオン時のデー
タであり、Ｙは演算装置３で算出された流量値である． 第４図は、ゼロ点補正値を、第３図に示すような可変抵
抗の設定値とせず、デジタル値としてＰＲＯＭ４に書き
込んだ例を第４の実施例として示す回路図である。測定
においては、演算装置３にＰＲＯＭ４からのゼロ点補正
値を与え、このゼロ点補正値を測定値に加える。
幅器Ｕ４とＵ５の代わりにＡ／Ｄ変換器２と演算装置３
を用いた例を示す。第３図において、スイソチＳ４はヒ
ータオフ時にａ接点側に倒れ、ヒータオン時にｂ接点側
に倒れる。Ａ／Ｄ変換器２はヒータオフ時とオン時に各
々データを取り込み、演算装置３はヒータオフ時とオン
時の差を計算するが、ヒータオン時のデータには可変抵
抗ＶＲ２によって発生するーＶＡが加わるため、計算結
果ではヒータオフとオンによって生じるオフセントの差
はキャンセルされる。Ｘはヒータオフ時とオン時のデー
タであり、Ｙは演算装置３で算出された流量値である． 第４図は、ゼロ点補正値を、第３図に示すような可変抵
抗の設定値とせず、デジタル値としてＰＲＯＭ４に書き
込んだ例を第４の実施例として示す回路図である。測定
においては、演算装置３にＰＲＯＭ４からのゼロ点補正
値を与え、このゼロ点補正値を測定値に加える。
以上説明したように本発明は、基準状態と実際の測定状
態とのズレを補正することにより、ヒータオン時のオフ
セット電圧もゼロとすることができるので、実際の流量
がゼロの場合に増幅器の出力信号の値が流量ゼロを示す
ようにすることができる効果がある．
態とのズレを補正することにより、ヒータオン時のオフ
セット電圧もゼロとすることができるので、実際の流量
がゼロの場合に増幅器の出力信号の値が流量ゼロを示す
ようにすることができる効果がある．
第１図〜第４図は本発明によるゼロ点補正回路の第１〜
′Ｉ４４の実施例を示す回路図、第５図は従来のゼロ点
補正回路を示す回路図、第６図は本発明回路が適用され
る流量測定センサチフプの一例を示す斜視図である。 １・・・ヒータ回路、ＭＢ・・・マイクロブリフジ、Ｒ
１，Ｒ２・・・センサ負荷抵抗、ＲＨ・・・ヒータ用抵
抗、ＲＵ．ＲＤ・・・感温抵抗、Ｕ１〜Ｕ５・・・増幅
器、ＶＲｌ，ＶＲ２・・・可変抵抗、Ｓｔ−Ｓ３・・・
ス゛イッチ、Ｃ１・・・コンデンサ、Ｒ３，Ｒ４・・・
抵抗。
′Ｉ４４の実施例を示す回路図、第５図は従来のゼロ点
補正回路を示す回路図、第６図は本発明回路が適用され
る流量測定センサチフプの一例を示す斜視図である。 １・・・ヒータ回路、ＭＢ・・・マイクロブリフジ、Ｒ
１，Ｒ２・・・センサ負荷抵抗、ＲＨ・・・ヒータ用抵
抗、ＲＵ．ＲＤ・・・感温抵抗、Ｕ１〜Ｕ５・・・増幅
器、ＶＲｌ，ＶＲ２・・・可変抵抗、Ｓｔ−Ｓ３・・・
ス゛イッチ、Ｃ１・・・コンデンサ、Ｒ３，Ｒ４・・・
抵抗。
Claims (1)
- 自動ゼロ点補正機能をもったゼロ点補正回路において、
強制的に発生させる基準状態と実際の測定状態とにおけ
るゼロ点のズレを補正する補正手段を備え、この補正手
段は前記測定状態におけるゼロ点の誤差を除去するゼロ
点補正回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186088A JPH073354B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ゼロ点補正回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186088A JPH073354B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ゼロ点補正回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353128A true JPH0353128A (ja) | 1991-03-07 |
| JPH073354B2 JPH073354B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=16182161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186088A Expired - Lifetime JPH073354B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ゼロ点補正回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073354B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5311762A (en) * | 1991-12-16 | 1994-05-17 | Dxl Usa | Flow sensor calibration |
| US6756953B1 (en) | 2000-03-31 | 2004-06-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device implementing gray scale based on digital data as well as portable telephone and portable digital assistance device provided with the same |
| JP2009229097A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1186088A patent/JPH073354B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5311762A (en) * | 1991-12-16 | 1994-05-17 | Dxl Usa | Flow sensor calibration |
| US6756953B1 (en) | 2000-03-31 | 2004-06-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device implementing gray scale based on digital data as well as portable telephone and portable digital assistance device provided with the same |
| JP2009229097A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH073354B2 (ja) | 1995-01-18 |
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