JP2016050825A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空間の熱伝導の違いによる温度変化をもとに対象ガスを検出するセンサであって、対象ガスによる温度変化を測定する第1の感熱素子と前記第1の感熱素子を加熱する第1のヒータと、環境による温度変化を測定する第2の感熱素子と前記第2の感熱素子を加熱する第2のヒータとを備え、前記第1、第2の感熱素子は直列に接続されており、前記第1、第2のヒータにより前記第1、第2の感熱素子を加熱し、前記第1の感熱素子の温度変化を測定する第1の測定、前記第2の感熱素子の温度変化を測定する第2の測定を行う。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施形態のガスセンサを説明するための断面構造図である。本実施形態によるガスセンサ1は、対象ガスによる温度変化を検出する第1の感熱素子2と、第1の感熱素子2の基準抵抗となる第2の感熱素子3を有し、測定環境に暴露された同じ空間に配置される。本実施例では、セラミックパッケージ4に第1の感熱素子2と第2の感熱素子3を配置し、測定環境に暴露させるために通気口6を備えたリッド5によりガスセンサ1を形成した。なお、図面は、模式的なものであり、説明の便宜上、厚みと平面寸法との関係、及びデバイス相互間の厚みの比率は、本実施形態の効果が得られる範囲内で現実のセンサ構造とは異なっていてもよい。
図6は、第2の実施形態のガスセンサを説明するための等価回路図である。本実施形態によるガスセンサ1は、対象ガス濃度を検出する第1の感熱素子2と、第1の感熱素子2の基準抵抗および周囲環境温度を検出する第2の感熱素子3を有する部分は同じであり、同一基板上に環境温度を検知するための第3の感熱素子20を備えたことが異なる。別の感熱素子を用いることで第2の感熱素子3の出力信号と比較することが出来、検出誤差を補正することができる。
別の感熱素子を用いることで第2の感熱素子3の出力信号と比較することが出来、検出誤差を補正することができる。
(数式1)
R_TH=R_0 exp{B(1/T-1/T_0 )}
式中のRTHは温度Tに於けるサーミスタの抵抗値、R0は温度T0に於けるサーミスタ抵抗値で、Bは温度TとT0に於けるサーミスタ抵抗値RTH、R0の関係を表す定数である。第1の感熱素子2は、25℃で2000kΩを示し、150℃で65kΩを示し、B定数は3400である。第2の感熱素子3は、25℃で65kΩを示し、150℃で2.2kΩを示し、B定数は3400である。第1の感熱素子2の加熱時の抵抗値と第2の感熱素子の非加熱時の抵抗値はおおよそ等しくなっている。
2第1の感熱素子
3第2の感熱素子
4セラミックパッケージ
5リッド
6通気口
7基板
8絶縁膜
9A、9B ヒータ
10ヒータ保護膜
11薄膜サーミスタ電極
12薄膜サーミスタ
13薄膜サーミスタ保護膜
14キャビティ
15A、15B メンブレン
16電極パッド
17ワイヤー
18セラミックパッケージ電極
20第3の感熱素子
50検知装置
51MPU
52A/Dコンバータ
53D/Aコンバータ
54アンプ
55電源
Claims (8)
- 空間の熱伝導の違いによる温度変化をもとに対象ガスを検出するセンサであって、対象ガスによる温度変化を測定する第1の感熱素子と前記第1の感熱素子を加熱する第1のヒータと、環境による温度変化を測定する第2の感熱素子と前記第2の感熱素子を加熱する第2のヒータとを備え、前記第1、第2の感熱素子は直列に接続されており、前記第1、第2のヒータにより前記第1、第2の感熱素子を加熱し、前記第1の感熱素子の温度変化を測定する第1の測定、前記第2の感熱素子の温度変化を測定する第2の測定を行うことを特徴とするガスセンサ。
- 前記第1の測定は前記第1のヒータにより加熱された状態で行い、前記第2の測定は前記第1、第2のヒータにより加熱されていない状態で行い、前記第1、第2のヒータへの印加電力の積算量がおおよそ等しいことを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記第1の感熱素子の加熱が行われている状態では、前記第2の感熱素子の加熱が行われないことを特徴とする請求項1または2に記載のガスセンサ。
- 前記第1の測定は、前記第1のヒータ通電後の一定時間後に前記第1のヒータにより加熱された状態で行い、前記第2の測定は、前記第2のヒータ通電停止後の一定時間後に前記第2のヒータにより加熱されていない状態で行うことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記第1および第2のヒータによる加熱はパルス電圧の印加により行い、パルス電圧の印加時間は、印加していない時間より短いことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記第1の感熱素子の前記第1のヒータにより加熱された時の抵抗値と、前記第2の感熱素子の前記第2のヒータにより加熱されていないときの抵抗値は、おおよそ等しいことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記第1、第2の感熱素子、前記第1、第2のヒータはメンブレン構造の上に形成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記第1、第2の感熱素子が形成された基板と、前記基板の同一基板上に環境温度を検知するための第3の感熱素子を更に備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のガスセンサ。
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