JP2009194156A - 不揮発性メモリデバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る不揮発性メモリデバイスは、半導体基板と;前記半導体基板上に形成されたゲート電極と;前記半導体基板上に形成され、前記ゲート電極に近接して形成された拡散層電極と;前記ゲート電極の側面に形成され、注入された電子を保持する電荷蓄積層と;前記拡散層電極の下部に形成されたLDD領域とを備える。そして、前記電荷蓄積層は、前記ゲート電極の側面にのみ形成され、前記LDD領域に沿って延在しない構造であることを特徴とする。
【選択図】図7
Description
電荷蓄積窒化膜210のエッチング工程においては、ゲート電極205側面には窒化膜210を残す必要があるため、L字型になった窒化膜210の底部のみを除去できるようウェハに垂直方向へのエッチングレートが水平方向に比べて相対的に大きくなるよう設定する。ウェハに平行な方向へのエッチングレートが大きすぎると、L字型になった窒化膜210の底部を除去し終わる前に、ゲート電極205側面の窒化膜210が除去されてしまい、側面の窒化膜210が薄くなりすぎてしまう。逆に、ウェハに垂直方向へのエッチングレートが大きすぎると、L字型になった窒化膜210の底部を除去した後、さらにその下の半導体基板208まで削られてしまうため、微妙な制御を必要とする。例えば、RF100Wにて、CHF3,CF4,O2,Arガスを用いて、10秒程度のエッチングを行う。このようなSAC構造の形成については、特表2002−508589号公報に示されている技術を採用することができる。
205 ゲート電極
208 半導体基板
209 サイドウォール
210 電荷蓄積膜(窒化膜)
212 拡散層電極(コンタクトプラグ)
213 LDD領域
Claims (7)
- 半導体基板と;
前記半導体基板上に形成されたゲート電極と;
前記半導体基板上に形成され、前記ゲート電極に近接して形成された拡散層電極と;
前記ゲート電極の側面に形成され、注入された電子を保持する電荷蓄積層と;
前記拡散層電極の下部に形成されたLDD領域とを備え、
前記電荷蓄積層は、前記ゲート電極の側面にのみ形成され、前記LDD領域に沿って延在しない構造であることを特徴とする不揮発性メモリデバイス。 - 前記ゲート電極と前記拡散層電極との間隔が100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリデバイス。
- 前記拡散層電極がSAC工程によって形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性メモリデバイス。
- データの蓄積及び消去は、各々電子の注入及びホールの注入によって行われることを特徴とする請求項1,2又は3に記載の不揮発性メモリデバイス。
- 請求項1に記載の不揮発性メモリデバイスの製造方法において、
半導体基板上にゲート電極を形成する工程と;
前記半導体基板表面付近にLDD領域を形成する工程と;
前記ゲート電極表面に電荷蓄積層を形成する工程と;
前記電荷蓄積層をエッチングすることにより、当該電荷蓄積層が前記ゲート電極の側面にのみ形成され、前記LDD領域に沿って延在しないように成形する工程と;
前記ゲート電極に近接して拡散層電極を形成する工程とを含むことを特徴とする不揮発性メモリデバイスの製造方法。 - 前記ゲート電極と前記拡散層電極との間隔を100nm以下とすることを特徴とする請求項5に記載の不揮発性メモリデバイスの製造方法。
- 前記拡散層電極をSAC工程によって形成することを特徴とする請求項5又は6に記載の不揮発性メモリデバイスの製造方法。
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