JP2009190917A - シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】漏洩弾性表面波速度VLSAWと仮想温度Tfを本発明に係る式(1)に代入して得られる線膨張係数CTEが22℃において−50ppb/K以上50ppb/K以下であり、かつ、仮想温度Tfの範囲が700(℃)≦Tf≦1300(℃)であるようにしたシリカ・チタニアガラスである。
【選択図】図3
Description
(但し、前記式(1)において、CTEは線膨張係数(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tfは仮想温度(℃)である。)
また、本発明のシリカ・チタニアガラスのTiO2濃度は6wt%以上8.5wt%以下であると望ましい。
(但し、前記式(1)において、CTEは線膨張係数(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tfは仮想温度(℃)である。)
本発明の測定方法は、従来考慮されていなかった、仮想温度TfがCTEに及ぼす影響を加味した方法であり、これにより、正確なCTEを求めることが可能となった。加えて、本発明の測定手段であるLSAW速度VLSAWの測定、仮想温度Tfの測定のいずれも、非破壊試験であり、特定の試料寸法を要求しないため、実装されるシリカ・チタニア基板のCTE評価に好適に用いられるものである。
(前記式(2)において、CTEminは目標とする線膨張係数の最小値(ppb/K)、CTEmaxは目標とする線膨張係数の最大値(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tf’は設定仮想温度(℃)である。)
本発明のシリカ・チタニアガラスの製造方法において、設定仮想温度Tf’の範囲を算出するために用いるCTEの範囲が、CTEminが−50ppb/K以上であり、CTEmaxが+50ppb/K以下であると良い。
なお、上記(1)において、CTEの単位はppb/K、VLSAWの単位はm/s、Tfの単位は℃である。式(1)の導出方法を第1項と第2項に分けて以下に説明する。
〈式(1)の第1項:4.436×(VLSAW−3308.95)〉
式(1)の第1項は、LSAW速度がCTEに及ぼす影響を表す項である。特許文献4に開示されているように、LSAW速度はシリカ・チタニアガラスのTiO2濃度の変化に対して線形に変化することがわかっており、LSAW速度の測定結果から、TiO2濃度を算出でき、さらにはTiO2濃度に起因するCTEの値を求めることが出来る。特許文献4記載のLSAW速度VLSAW[m/s]とTiO2濃度C(VLSAW)[wt%]の関係式を下記式(3)に示した。
(但し、式(3)において、C(VLSAW)はTiO2濃度(wt%)、VLSAWはLSAW速度(m/s)である。)
〈式(1)の第2項:(1068−Tf)/2.84〉
式(1)の第2項は、仮想温度TfがCTEに及ぼす影響を表す項であり、TiO2濃度がほぼ等しく、仮想温度Tfが異なるシリカ・チタニアガラスのCTEの測定結果から導かれる。導出方法を後述する実施例1に示した。
前記式(4)において、VI(z)(LSAW)はLSAWの干渉成分であり、この成分からLSAW速度VLSAWを求める。VL(z)は超音波デバイスの特性を反映した成分であり、LSAWが励振されない試料(例えばテフロン(登録商標))のV(z)を測定することで得られる。VI(z)(LSAW)はV(z)からVL(z)成分を除くことにより求められる。図2に超音波周波数225MHzにおけるシリカ・チタニアガラスのV(z)曲線の一例を示す。
測定に用いる超音波の周波数は、直線集束ビーム超音波材料解析装置に用いられるLFB音響レンズに併せて適宜設定されるが、通常測定に用いられる200MHz帯の超音波デバイス(開口半径が1mm)の場合、超音波周波数は通常100MHz以上300MHz以下に設定する。周波数を100MHz未満および300MHz以上にすると、超音波デバイスのS/N比が悪くなるため好ましくない。本発明では、S/N比が優れ、測定再現性のよい周波数225MHzを用いた。
工程(2):前記測定された漏洩弾性表面波速度VLSAW値と、目標とする線膨張係数の最小値CTEminと最大値CTEmaxを、下記式(2)に代入して、設定仮想温度Tf’の範囲を算出する工程;
CTEmin≦4.436×(VLSAW−3308.95)+(1068−Tf')/2.84≦CTEmax ・・・(2)
(前記式(2)において、CTEminは目標とする線膨張係数の最小値(ppb/K)、CTEmaxは目標とする線膨張係数の最大値(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tf’は設定仮想温度(℃)である。)
工程(3):シリカ・チタニアガラスの仮想温度Tfを測定する工程;
工程(4):前記工程(3)にて測定した仮想温度Tfが前記工程(2)で算出された設定仮想温度Tf’の範囲内にあるかどうかを判別する工程;
工程(5):前記工程(3)にて測定した仮想温度Tfが前記工程(4)の条件を満たさない場合に、仮想温度Tfが前記算出された設定仮想温度Tf’の範囲内に収まるように熱処理を行う工程;
工程(6):得られたガラスを所望の用途に選別する工程。
(実施例1)
加熱によりガス化した四塩化ケイ素及び四塩化チタンを、等間隔に並んだ6本の酸水素火炎バーナー中に導入し、火炎中で加水分解反応により生じるシリカ・チタニア微粒子を、水平に設置され回転している外径80mmのセラミックターゲット上に堆積することにより、外径210mm、内径80mm、長さ700mmのシリカ・チタニア多孔質体を得た。
Claims (7)
- 漏洩弾性表面波速度VLSAWと仮想温度Tfを以下の式(1)に代入して得られる線膨張係数CTEが22℃において−50ppb/K以上50ppb/K以下であり、かつ、仮想温度Tfの範囲が700(℃)≦Tf≦1300(℃)であることを特徴とするシリカ・チタニアガラス。
CTE=4.436×(VLSAW−3308.95)+(1068−Tf)/2.84 ・・・(1)
(但し、前記式(1)において、CTEは線膨張係数(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tfは仮想温度(℃)である。) - TiO2濃度が6wt%以上8.5wt%以下であることを特徴とする請求項1記載のシリカ・チタニアガラス。
- 前記シリカ・チタニアガラスの表面を、走査長を2mmとして走査測定した時の漏洩弾性表面波速度VLSAWの最大値と最小値との差が2m/s以内であることを特徴とする請求項1又は2記載のシリカ・チタニアガラス。
- EUVリソグラフィー用反射光学部材として用いられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラス。
- シリカ・チタニアガラスの漏洩弾性表面波速度VLSAWを測定する工程と、
シリカ・チタニアガラスの仮想温度Tfを測定する工程と、
測定した漏洩弾性表面波速度VLSAW及び仮想温度Tfの値を下記式(1)に代入することにより、シリカ・チタニアガラスの22℃における線膨張係数CTEを求める工程と、
を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの線膨張係数測定方法。
CTE=4.436×(VLSAW−3308.95)+(1068−Tf)/2.84 ・・・(1)
(但し、前記式(1)において、CTEは線膨張係数(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tfは仮想温度(℃)である。) - (1)シリカ・チタニアガラスの漏洩弾性表面波速度VLSAWを測定する工程と、
(2)前記測定された漏洩弾性表面波速度VLSAW値と、目標とする線膨張係数の最小値CTEminと最大値CTEmaxを、下記式(2)に代入して、設定仮想温度Tf’の範囲を算出する工程と、
(3)シリカ・チタニアガラスの仮想温度Tfを測定する工程と、
(4)前記工程(3)にて測定した仮想温度Tfが前記工程(2)で算出された設定仮想温度Tf’の範囲内にあるかどうかを判別する工程と、
(5)前記工程(3)にて測定した仮想温度Tfが前記工程(4)の条件を満たさない場合に、仮想温度Tfが前記算出された設定仮想温度Tf’の範囲内に収まるように熱処理を行う工程と、
を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの製造方法。
CTEmin≦4.436×(VLSAW−3308.95)+(1068−Tf')/2.84≦CTEmax ・・・(2)
(前記式(2)において、CTEminは目標とする線膨張係数の最小値(ppb/K)、CTEmaxは目標とする線膨張係数の最大値(ppb/K)、VLSAWは漏洩弾性表面波速度(m/s)、Tf’は設定仮想温度(℃)である。) - 前記CTEminが−50ppb/K以上であり、前記CTEmaxが50ppb/K以下であることを特徴とする請求項6記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
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