JP2007078384A - 脈理を有する材料の漏洩弾性表面波速度と化学組成比および線膨張係数との関係を求める方法、およびその関係を使ったTiO2−SiO2ガラスのTiO2濃度測定方法および線膨張係数測定方法 - Google Patents
脈理を有する材料の漏洩弾性表面波速度と化学組成比および線膨張係数との関係を求める方法、およびその関係を使ったTiO2−SiO2ガラスのTiO2濃度測定方法および線膨張係数測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】脈理面に対して垂直な基板面を有する試料およびそれと隣接したCTE測定試料板を用意し、化学組成比やCTEを測定する領域と同じ領域を、LSAWの伝搬方向を脈理面に平行として、LSAW速度を測定する。同じ領域に対して化学組成比を測定する。またCTE測定試料板に対してCTEを測定する。これらのLSAW速度と化学組成比やCTEより、それらの間の正確な関係を得る。
【選択図】図8
Description
V(z) = VI(z)(LSAW) + VL(z) (1)
ただし、
VL(z) = VL'(z) + ΔVL(z) (2)
ここで、VI(z)(LSAW)はLSAWの干渉成分であり、VL(z)は超音波デバイスの特性を反映した成分である。また、ΔVL(z)は漏洩弾性波が励振されない試料(例えばテフロン(登録商標))のVL'(z)に対するVL(z)のずれである。VI(z)(LSAW)をV(z)曲線解析法に基づいて抽出し[非特許文献3]、その干渉周期ΔzLSAWを求め、次式(3)のΔzに代入してLSAW速度VLSAWを求める。
このように、LFB音響レンズと試料の相対距離zを変化させたときのトランスデューサ出力V(z)曲線を測定・解析することによりLSAW速度VLSAWが求められる。図2Aに、市販のTiO2-SiO2ガラス試料(C-7972, Corning社製)に対して、超音波周波数fを225 MHzとして測定したV(z)曲線を示す。V(z)曲線解析法[非特許文献3]に基づいて解析することにより、図2Bに示すようなスペクトラム分布が最終的に得られる。図2Bのスペクトラム分布のピーク波数から干渉周期Dz を求め、式(3)に代入して、LSAW速度を求める。
TiO2-SiO2ガラスのCTEは、TiO2濃度により調整できる。また、LSAW速度はTiO2濃度の変化に対して線形に変化する[非特許文献7]。したがって、LFB超音波材料特性解析装置を用いてCTEの精密な評価を行なうためには、LSAW速度とCTEとの間の関係はもちろん、LSAW速度とTiO2濃度との間の正確な関係を求める必要がある。これまで、音響ファイバ用のガラス材料の実験的検討という観点から、TiO2濃度の変化に対するLSAW速度の感度が-0.065 wt%/(m/s)と求められた[非特許文献7]。また、市販TiO2-SiO2ガラス(C-7971, Corning社製)と合成石英ガラス(C-7980, Corning社製)の化学組成比とLSAW速度を比較することにより、TiO2濃度の変化に対するLSAW速度の感度を-0.058 wt%/(m/s)と求めた([非特許文献8]、[非特許文献9])。しかし、このときには脈理による不確かさが含まれているため、EUVLグレードのガラスのためのCTE評価という観点では不十分と考えられる。
K. E. Hrdina, B. G. Ackerman, A. W. Fanning, C. E. Heckle, D. C. Jenne and W. D. Navan, "Measuring and tailoring CTE within ULE glass," Proc. SPIE, Emerging Lithographic Technologies VII, ed. R. L. Engelstad (SPIE--The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, 2003) Vol. 5037, pp. 227-235. V. G. Badami and M. Linder, "Ultra-high accuracy measurement of the coefficient of thermal expansion for ultra-low expansion materials," Proc. SPIE Emerging Lithographic Technologies VI, ed. R. L. Engelstad (SPIE--The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, 2002) Vol. 4688, pp. 469-480. J. Kushibiki and N. Chubachi, "Material characterization by line-focus-beam acoustic microscope," IEEE Trans. Sonics Ultrason., Vol. SU-32, pp. 189-212 (1985). J. Kushibiki, Y. Ono, Y. Ohashi, and M. Arakawa, "Development of the line-focus-beam ultrasonic material characterization system," IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., Vol. 49, pp. 99-113 (2002). W. Kroebel and K.-H. Mahrt, "Recent results of absolute sound velocity measurements in pure water and sea water at atmospheric pressure," Acustica, Vol. 35, pp. 154-164 (1976). 櫛引, 荒川, 大橋, 鈴木, 丸山, "脈理のある超低膨張ガラス評価のためのLFB超音波材料解析システム用標準試料とその音響特性," 信学技報, Vol. US2005-4, pp. 19-26 (2005). C. K. Jen, C. Neron, A. Shang, K. Abe, L. Bonnell, and J. Kushibiki, "Acoustic characterization of silica glassses," J. Am. Ceram. Soc., Vol. 76, pp. 712-716 (1993). J. Kushibiki, M. Arakawa, Y. Ohashi, K. Suzuki, and T. Maruyama, "A promising evaluation method of ultra-low-expansion glasses for the extreme ultra-violet lithography system by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 43, pp. L1455-L1457 (2004). J. Kushibiki, M. Arakawa, Y. Ohashi, K. Suzuki, and T. Maruyama, "A super-precise CTE evaluation method for ultra-low-expansion glasses using the LFB ultrasonic material characterization system," Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 44, pp. 4374-4380 (2005). K. E. Hrdina, B. Z. Hanson, P. M. Fenn, and R. Sabia, "Characterization and characteristics of a ULE(登録商標) glass tailored for the EUVL needs," in Proc. SPIE, Emerging Lithographic Technologies VI, Vol. 4688, 2002, pp. 454-461. J. Kushibiki and M. Arakawa, "A method for calibrating the line-focus-beam acoustic microscopy system," IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., Vol. 45, pp. 421-430 (1998). J. Kushibiki, M. Arakawa, and R. Okabe, "High-accuracy standard specimens for the line-focus-beam ultrasonic material characterization system," IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., Vol. 49, pp. 827-835 (2002). J. E. Shelby, Introduction to glass science and technology (The Royal Society of Chemistry, Cambridge, 1997) pp. 78-90. R. B. Greegor, F. W. Lytle, D. R. Sandstrom, J. Wong, and P. Schultz, "Investigation of TiO2-SiO2 glasses by X-ray absorption spectroscopy," J. Non-Cryst. Solids, Vol. 55, pp. 27-43 (1983).
そこで、本発明においては、適切な試料の準備とLSAWの伝搬方向の選択、および正確な化学組成比の分析を行なうことにより、LSAW速度とTiO2濃度やCTEとの間の正確な関係を求める方法を与える。
(a) 化学組成比の異なる少なくとも2つのガラスインゴットのそれぞれから、ガラスインゴットの脈理面に対して垂直な面で試料基板と、それに隣接してCTE測定試料板を切り出す工程と、
(b) 各上記試料基板に対して、上記脈理面と平行な方向に伝搬するLSAW速度の測定値を得る工程と、
(c) 各上記試料基板及び上記CTE測定試料板の一方の化学組成比を測定する工程と、
(d) 各上記CTE測定試料板のCTEを測定する工程と、
(e) 測定した上記LSAW速度と上記化学組成比および上記CTEからLSAW速度の変化量に対する化学組成比の変化量およびCTEの変化量の関係を決定する工程、
とを含む。
上記工程(c) は上記試料基板及び上記CTE測定試料板の一方の化学組成比を蛍光X線分析(X-ray Fluorescence: XRF)法により測定する工程と、上記ガラスインゴットの一部から高周波誘導結合プラズマ-発光分析法 (Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry: ICP-OES)により化学組成比を測定する工程と、上記XRF法による測定結果を上記ICP-OES法による測定結果により絶対校正した化学組成比を求める工程とを含む。
上記少なくとも2つのガラスインゴットの1つとしてSiO2が100%である石英ガラスを使用する。
さらに、上記方法において、上記石英ガラスのCTEとして既知のデータを使用してもよい。
この発明では、試料基板をガラスインゴットの脈理面と垂直な面で切出し、脈理面と平行に伝搬するLSAW速度を測定することにより脈理の影響の少ない平均的なLSAWを測定する。もっとも単純化した方法としては、2つの化学組成比の異なる試料基板についての上記測定を行うことにより、最小2乗法を用いないで化学組成比、LSAW速度、CTE間の関係を表す直線をそれぞれ決めてもよい。更に、この2つの試料基板のうちの1つとして例えばTiO2濃度が0%、即ち、SiO2が100%のガラス(即ち、石英ガラス)を使用してもよい。その場合、SiO2ガラスのCTEとして既知の値を使用してもよい。以下の実施例では試料基板の1つとして石英ガラスを使用する場合を説明する。
CTEの測定には、一般に特別な形状の試料(例えば、6 mmφ×100 mm長)を必要とすることから、LSAW速度測定用の基板を切り出したインゴットのその基板を切り出した領域近傍から、CTE測定用の試料を切り出し、線膨張計などにより測定する。
VLSAW=-16.65×CCAL(XRF) + 3426.18 (4)
式 (4)を変形した以下の式(5)より、VLSAW [m/s]からTiO2濃度C(VLSAW) [wt%]が求められることになる。
C(VLSAW)=-0.06006×(VLSAW - 3426.18) (5)
式(5)より、LSAW速度のTiO2濃度に対する感度は-0.06006 wt%/(m/s)と求められた。7枚の試料間のLSAW速度の平均値の最大差4.07 m/sは0.244 wt%のTiO2濃度の差に相当する。LSAW速度が3308.18 m/sとなるTiO2-SiO2超低膨張ガラス標準試料[非特許文献6]のTiO2濃度は7.09 wt%と求められる。SiO2ガラス中のSiは4配位となる[非特許文献13]。一方、TiO2-SiO2ガラスにおいては、TiO2が0.05-9 wt%の範囲ではSiO2中のSiと同様に4配位となるTiが支配的となる[非特許文献14]。このため、LSAW速度とTiO2濃度の関係は、EUVL用で重要となる7 wt%付近を含め、少なくとも約9 wt%までは比例していると考えられる。
CTE(VLSAW) = 4.436×(VLSAW - 3308.95) (6)
式(6)より、LSAW速度のCTEに対する感度は4.436 (ppb/K)/(m/s)と求められた。式(6)のVLSAWとCTEの関係を、図7においてスケール変換を行うことにより併せて示す(CTEを右側の軸に示す)。より正確なCTEとLSAW速度の関係を求めるためには、CTE測定試料板に対して、CTEの絶対計測を行えばよい。
ステップS1:TiO2-SiO2ガラスインゴットから、脈理面に対して基板面が垂直な試料基板と、それに隣接してCTE測定試料板を切り出す。
ステップS2:ステップS1で用意した試料基板に対して、ステップS3で化学組成比を測定する領域と同じ領域を、LSAWの伝搬方向を脈理面に平行として、LSAW速度を測定する。
ステップS3:ステップS1で用意した試料基板に対して、ステップS2と同じ領域で化学組成比を測定する。また、CTE測定用試料基板に対してCTEを測定する。
ステップS4:ステップS2で得られたLSAW速度とステップS3で得られた化学組成比やCTEより、それらの間の関係を得る。
TiO2-SiO2ガラスが均一に製造され、インゴットに脈理が存在しない場合には、上記ステップS1において試料を任意に切り出し、上記ステップS2において任意の方向に伝搬するLSAWを測定すればよい。
Claims (6)
- 漏洩弾性表面波速度、以下LSAW速度と呼ぶ、と化学組成比および線膨張係数、以下CTEと呼ぶ、との間の関係を求める方法であり、
(a) 化学組成比の異なる少なくとも2つのガラスインゴットのそれぞれから、ガラスインゴットの脈理面に対して垂直な面で試料基板と、それに隣接してCTE測定試料板を切り出す工程と、
(b) 各上記試料基板に対して、上記脈理面と平行な方向に伝搬するLSAW速度の測定値を得る工程と、
(c) 各上記試料基板及びCTE測定試料板の一方の化学組成比を測定する工程と、
(d) 各上記CTE測定試料板のCTEを測定する工程と、
(e) 測定した上記LSAW速度と上記化学組成比および上記CTEからLSAW速度の変化量に対する化学組成比の変化量およびCTEの変化量の関係を決定する工程、
とを含むことを特徴とするLSAW速度と化学組成比およびCTEとの間の関係を求める方法。 - 請求項1記載の方法において、上記ステップ(c) は上記試料基板及び上記CTE測定試料板の一方の化学組成比を蛍光X線分析法、以下XRF法と呼ぶ、により測定する工程と、上記ガラスインゴットの一部から高周波誘導結合プラズマ-発光分析法、以下ICP-OES法と呼ぶ、により化学組成比を測定する工程と、上記XRF法による測定結果を上記ICP-OES法による測定結果により絶対校正した化学組成比を求める工程とを含む。
- 請求項1記載の方法において、上記少なくとも2つのガラスインゴットの1つとしてはSiO2が100%である石英ガラスを使用することを特徴とする、LSAW速度と化学組成比およびCTEとの間の関係を求める方法。
- 請求項3記載の方法において、上記石英ガラスのCTEとして既知のデータを使用することを特徴とするLSAW速度と化学組成比およびCTEとの間の関係を求める方法。
- TiO2-SiO2超低膨張ガラスのTiO2濃度の測定方法であり、
(a) LSAW速度を測定する工程と、
(b)上記工程(a)で得られたLSAW速度VLSAW[m/s] を使って次式
C(VLSAW)=-0.06006×(VLSAW - 3426.18)
からTiO2濃度C(VLSAW) [wt%]を求める工程、
とを含むことを特徴とするTiO2濃度測定方法。 - TiO2-SiO2超低膨張ガラスの線膨張係数の測定方法であり、
(a) LSAW速度を測定する工程と、
(b)上記工程(a)で得られたLSAW速度VLSAW[m/s] を使って次式
CTE(VLSAW) = 4.436×(VLSAW - 3308.95)
から線膨張係数CTE(VLSAW) [ppb/K]を求める工程、
とを含むことを特徴とする線膨張係数測定方法。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
WO2009101949A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Tohoku University | シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001004565A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Fuji Electric Co Ltd | 石油系潤滑油中の金属の分析方法 |
JP2002131295A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Junichi Kushibiki | Lsaw伝搬特性測定方法及び測定装置 |
JP2002267640A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Junichi Kushibiki | 音速測定による材料評価方法 |
JP2003028843A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 超音波を用いたガラス中の不純物測定方法 |
JP2003130851A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 材料表面および被覆層の弾性パラメータ測定装置 |
WO2003072520A1 (fr) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | Kabushiki Kaisha Ohara | Procede de production de vitroceramique et methode de controle de la qualite de celle-ci |
JP2004325986A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Nikon Corp | 反射鏡及びそれを有する露光装置 |
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2005
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001004565A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Fuji Electric Co Ltd | 石油系潤滑油中の金属の分析方法 |
JP2002131295A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Junichi Kushibiki | Lsaw伝搬特性測定方法及び測定装置 |
JP2002267640A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Junichi Kushibiki | 音速測定による材料評価方法 |
JP2003028843A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 超音波を用いたガラス中の不純物測定方法 |
JP2003130851A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 材料表面および被覆層の弾性パラメータ測定装置 |
WO2003072520A1 (fr) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | Kabushiki Kaisha Ohara | Procede de production de vitroceramique et methode de controle de la qualite de celle-ci |
JP2004325986A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Nikon Corp | 反射鏡及びそれを有する露光装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009101949A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Tohoku University | シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 |
JP2009190917A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Tohoku Univ | シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 |
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