JP2009180794A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 一方の平面に平行な一対の溝が形成されている平板金型を用いて光導波路を製造する方法であって、
   ベース基板上に下クラッドシートを積層し、
   前記ベース基板上の前記下クラッドシートを、前記一対の溝に跨るように、前記平板金型における前記一方の平面上に積層し、
   前記ベース基板を、前記下クラッドシートを介して前記平板金型に向かって押圧しながら、液状樹脂を前記一対の溝それぞれに充填し且つ該液状樹脂を硬化して、前記下クラッドシート上に一対のミラー形成部を形成し、
   前記平板金型を剥離した前記一対のミラー形成部上に金属反射膜を成膜し、
   前記金属反射膜を含む前記下クラッドシート上にコアシートを積層し、
   前記コアシート上に上クラッドシートを積層し、
   前記ベース基板を前記下クラッドシートから剥離する、
   工程を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
2. 前記平板金型は、前記一対の溝の長手方向と直行する方向における該溝の断面では、前記一対の溝それぞれにおける他方の溝側の部分が、溝の深さ方向に向かって、該他方の溝から離間するように直線状に延びている請求項１に記載の光導波路の製造方法。
3. 前記一対のミラー形成部を形成する工程は、前記液状樹脂を、前記一対の溝それぞれに、毛管力を用いて充填する請求項１又は２に記載の光導波路の製造方法。
4. 前記コアシートを積層する工程は、前記コアシートを、前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部の間に埋め込むように、前記金属反射膜を含む前記下クラッドシート上に積層し、
   前記上クラッドシートを積層する工程は、前記上クラッドシートを、前記コアシートにおける前記下クラッドシートとの当接面を除いて、前記コアシートを包み込むように該コアシート上に積層する請求項１から３の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
5. 前記コアシートを積層する工程の後に、前記コアシートをパターニングして、前記一対のミラー形成部それぞれと直交し且つ互いに離間する縦長の複数のコアシート片を形成し、
   前記上クラッドシートを積層する工程は、前記上クラッドシートを、前記複数のコアシート片の間に埋め込むように、前記複数のコアシート片の上に積層し、
   前記ベース基板を前記下クラッドシートから剥離する工程の後に、前記一対のミラー形成部が形成された前記下クラッドシート上に前記複数のコアシート片及び前記上クラッドシートが積層された光導波路連続体を、前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部の一部と共に少なくとも１つの前記コアシート片を含むように切断して、個々の光導波路を得る、請求項１から４の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
6. 前記ベース基板は平坦である請求項１から５の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
7. 前記平板金型は、ステンレスにより形成されている請求項１から６の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
8. 前記液状樹脂は、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂である請求項１から７の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
9. 一方の平面に平行な一対の溝が形成されている平板金型を用いて回路基板上に配置された光導波路を製造する方法であって、
   ベース基板を、前記一対の溝に跨るように、前記平板金型における前記一方の平面上に積層し、
   前記ベース基板を、前記平板金型に向かって押圧しながら、液状樹脂を前記一対の溝それぞれに充填し且つ該液状樹脂を硬化して、前記ベース基板上に一対のミラー形成部を形成し、
   前記平板金型を剥離した前記一対のミラー形成部の上に金属反射膜を成膜し、
   前記金属反射膜を含む前記ベース基板上にコアシートを積層し、
   前記コアシート上に上クラッドシートを積層して、前記上クラッドシート、前記コアシート及び前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部からなるコアシート複合体を形成し、
   前記ベース基板を、前記コアシート複合体における前記一対のミラー形成部が露出した面から剥離し、
   別途用意した回路基板上の光導波路配置予定の部位に、クラッドシートを構成し得る組成の接合シートを介在させて、前記コアシート複合体の前記面を接合する、
   工程を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
10. 前記ベース基板は平坦である請求項９に記載の光導波路の製造方法。