JP4974917B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
光電混載回路の実施例1を図17に示す。図17に示す光電混載回路80は、図16に示す回路基板60における上記光導波路配置予定の部位に、上記第1実施態様により製造された光導波路10が、接着層67を介して接合されて構成されている。光導波路10の両端部の近傍に位置する一対の接続パッド68それぞれには、バンプ74を介して受発光部76が配設されている。受発光部76、76それぞれは、垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)等の発光素子及びフォトダイオード(PD)等の受光素子が組み込まれており、光信号を送受信する。本実施例では、一対の受発光部76と光導波路10とにより光配線100が構成される。光配線100では、受発光部76間において光導波路10のコア層12を通る光信号Tが伝送される。
光電混載回路の実施例2を図18に示す。本実施例では、一対の光電混載回路80が、光ファイバ90を介して光学的に接続された光配線200を有している。光電混載回路80は、上記第1実施態様により製造された光導波路10と、回路基板60とにより構成されている。
10A 光導波路連続体
10B 光導波路前駆体
11 下クラッド層
11A 下クラッドシート
12 コア層
12A コアシート
13 ミラー部
13a ミラー形成部
13b 金属反射部
13A ミラー形成部連続体
13B 金属反射部連続体
14 上クラッド層
14A 上クラッドシート
15 下クラッドシート複合体
16 コアシート複合体
20 ベース基板
30 平板金型
31 溝
31a 溝の部分
32b 溝の部分
40 マスク
Claims (10)
- 一方の平面に平行な一対の溝が形成されている平板金型を用いて光導波路を製造する方法であって、
ベース基板上に下クラッドシートを積層し、
前記ベース基板上の前記下クラッドシートを、前記一対の溝に跨るように、かつ、前記一対の溝の各々の両端部が前記下クラッドシートの対向する2つの側面よりも外側に位置するように、前記平板金型における前記一方の平面上に積層し、
前記一対の溝が形成された部分を除いて、前記下クラッドシートと前記平板金型との対向する面の間の隙間をなくすように、前記ベース基板を、前記下クラッドシートを介して前記平板金型に向かって押圧しながら、液状樹脂を前記一対の溝それぞれに毛管力を用いて充填し且つ該液状樹脂を硬化して、前記下クラッドシート上に一対のミラー形成部を形成し、
前記平板金型を剥離した前記一対のミラー形成部上に金属反射膜を成膜し、
前記金属反射膜を含む前記下クラッドシート上にコアシートを積層し、
前記コアシート上に上クラッドシートを積層し、
前記ベース基板を前記下クラッドシートから剥離する、
工程を有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記平板金型は、前記一対の溝の長手方向と直交する方向における該溝の断面では、前記一対の溝それぞれにおける他方の溝側の部分が、溝の深さ方向に向かって、該他方の溝から離間するように直線状に延びている請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- 前記一対のミラー形成部を形成する工程は、前記液状樹脂を、前記一対の溝それぞれに、毛管力を用いて充填する請求項1又は2に記載の光導波路の製造方法。
- 前記コアシートを積層する工程は、前記コアシートを、前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部の間に埋め込むように、前記金属反射膜を含む前記下クラッドシート上に積層し、
前記上クラッドシートを積層する工程は、前記上クラッドシートを、前記コアシートにおける前記下クラッドシートとの当接面を除いて、前記コアシートを包み込むように該コアシート上に積層する請求項1から3の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。 - 前記コアシートを積層する工程の後に、前記コアシートをパターニングして、前記一対のミラー形成部それぞれと直交し且つ互いに離間する縦長の複数のコアシート片を形成し、
前記上クラッドシートを積層する工程は、前記上クラッドシートを、前記複数のコアシート片の間に埋め込むように、前記複数のコアシート片の上に積層し、
前記ベース基板を前記下クラッドシートから剥離する工程の後に、前記一対のミラー形成部が形成された前記下クラッドシート上に前記複数のコアシート片及び前記上クラッドシートが積層された光導波路連続体を、前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部の一部と共に少なくとも1つの前記コアシート片を含むように切断して、個々の光導波路を得る、請求項1から4の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。 - 前記ベース基板は平坦である請求項1から5の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
- 前記平板金型は、ステンレスにより形成されている請求項1から6の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
- 前記液状樹脂は、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂である請求項1から7の何れか一項に記載の光導波路の製造方法。
- 一方の平面に平行な一対の溝が形成されている平板金型を用いて回路基板上に配置された光導波路を製造する方法であって、
ベース基板を、前記一対の溝に跨るように、かつ、前記一対の溝の各々の両端部が前記ベース基板の対向する2つの側面よりも外側に位置するように、前記平板金型における前記一方の平面上に積層し、
前記一対の溝が形成された部分を除いて、前記ベース基板と前記平板金型との対向する面の間の隙間をなくすように、前記ベース基板を、前記平板金型に向かって押圧しながら、液状樹脂を前記一対の溝それぞれに毛管力を用いて充填し且つ該液状樹脂を硬化して、前記ベース基板上に一対のミラー形成部を形成し、
前記平板金型を剥離した前記一対のミラー形成部の上に金属反射膜を成膜し、
前記金属反射膜を含む前記ベース基板上にコアシートを積層し、
前記コアシート上に上クラッドシートを積層して、前記上クラッドシート、前記コアシート及び前記金属反射膜が成膜された前記一対のミラー形成部からなるコアシート複合体を形成し、
前記ベース基板を、前記コアシート複合体における前記一対のミラー形成部が露出した面から剥離し、
別途用意した回路基板上の光導波路配置予定の部位に、クラッドシートを構成し得る組成の接合シートを介在させて、前記コアシート複合体の前記面を接合する、
工程を有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記ベース基板は平坦である請求項9に記載の光導波路の製造方法。
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