JP2006023661A5

JP2006023661A5 -

Info

Publication number: JP2006023661A5
Application number: JP2004203588A
Authority: JP
Filing date: 2004-07-09
Publication date: 2007-08-23

Claims

基板の表面に、スタンパを押圧させることによって賦形された犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層の表面にフィルム光導波路を形成する工程と、
前記犠牲層を溶解させることにより前記基板を前記フィルム光導波路から剥離させる工程と、
を有するフィルム光導波路の製造方法。
前記犠牲層を形成する工程においては、
前記基板の表面に樹脂材料を塗布し、前記スタンパにより樹脂材料を押圧して賦形し、ついで樹脂材料を硬化させて犠牲層を形成することを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記犠牲層を形成するための樹脂材料として水溶性樹脂を用いることを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記犠牲層を溶解させる剥離液として、水又は温水を用いたことを特徴とする、請求項３に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記犠牲層と前記フィルム光導波路とが、異なる樹脂材料で形成され、
前記犠牲層を溶解させる剥離液として、前記フィルム光導波路を侵さないか、あるいは傷めにくい溶剤を用いたことを特徴とする、請求項１に記載のフィルム導波路の製造方法。
前記犠牲層を形成する工程において用いられるスタンパに、凹状又は凸状のパターンが形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記フィルム光導波路を形成する工程においては、
前記犠牲層の表面に塗布されたクラッド用樹脂をスタンパで押圧することによって一方のクラッド層を形成し、当該クラッド層の表面に、コアを介在させて他方のクラッド層を形成することを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記基板とは別な基板の表面に、スタンパを押圧させることによって賦形された第２犠牲層を形成する工程を有し、
前記フィルム光導波路を形成する工程においては、
前記犠牲層の表面に塗布されたクラッド用樹脂をスタンパで押圧することによって一方のクラッド層を形成し、
前記第２犠牲層の表面に塗布されたクラッド用樹脂をスタンパで押圧することによって他方のクラッド層を形成し、
２つの前記クラッド層のうちいずれか一方にコアを設け、
前記一方のクラッド層と前記他方のクラッド層を、前記コアよりも低屈折率の樹脂により接合することを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
前記基板とは別な基板の表面に、スタンパを押圧させることによって賦形された第２犠牲層を形成する工程を有し、
前記フィルム光導波路を形成する工程においては、
前記犠牲層の表面に塗布されたクラッド用樹脂をスタンパで押圧することによって一方のクラッド層を形成し、
前記第２犠牲層の表面に塗布されたクラッド用樹脂をスタンパで押圧することによって他方のクラッド層を形成し、
２つの前記クラッド層のうちいずれか一方の表面に凹溝を設け、
クラッド用樹脂よりも高屈折率の樹脂を前記凹溝に充填してコアを形成するとともに、同じ樹脂により前記一方のクラッド層と前記他方のクラッド層を接合することを特徴とする、請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
基板の表面に、スタンパを押圧させることによって犠牲層を形成し、前記犠牲層の表面に、外周部の厚みが薄い複数個のフィルム光導波路を形成し、前記犠牲層を溶解させることにより前記基板を前記フィルム光導波路から剥離させることによって製造されたフィルム光導波路用基材。
請求項１０に記載のフィルム光導波路用基材を、フィルム光導波路の外周部の厚みが薄い領域を裁断することにより切り出されたフィルム光導波路。
基板の表面に、スタンパを押圧させることによって犠牲層を形成し、前記犠牲層の表面にフィルム光導波路を形成し、前記犠牲層を溶解させることにより前記基板を前記フィルム光導波路から剥離させることによって製造されたフィルム光導波路であって、
コアの端部が位置する領域における厚みが他領域における厚みよりも大きくなっていることを特徴とするフィルム光導波路。
基板の表面に、スタンパを押圧させることによって犠牲層を形成し、前記犠牲層の表面にフィルム光導波路を形成し、前記犠牲層を溶解させることにより前記基板を前記フィルム光導波路から剥離させることによって製造されたフィルム光導波路であって、
クラッド層の表面に、コアの長手方向と直交する方向に延びた凹条が形成されていることを特徴とするフィルム光導波路。
基板の表面に、スタンパを押圧させることによって犠牲層を形成し、前記犠牲層の表面にフィルム光導波路を形成し、前記犠牲層を溶解させることにより前記基板を前記フィルム光導波路から剥離させることによって製造されたフィルム光導波路であって、
クラッド層の両面に凹溝が形成され、両面の凹溝にコアが形成されていることを特徴とするフィルム光導波路。