JP2009178882A - スクリーン印刷装置、動作制御方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 ロック機構を設けることなくスクリーンマスクから被印刷媒体を引き離す版離れ時のスクリーンマスクの変形を抑制することができるスクリーン印刷装置を得る。
【解決手段】 本発明によるスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動してスクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージをスクリーンマスク主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段１０２と、スキージの該一軸方向の位置を検出する位置検出手段１０３と、スキージによる印刷終了後の被印刷媒体とスクリーンマスクとを離す版離れ時、位置検出手段１０３の検出結果を基に駆動手段１０２を制御してスキージの該一軸方向の位置を制御する制御手段１０１とを含んで構成される。
【選択図】 図１

Description

本発明はスクリーン印刷装置、動作制御方法及びプログラムに関し、特にスクリーンマスクを介して印刷材料を被印刷媒体に印刷するスクリーン印刷装置に関する。

例えば特許文献１に記載されるように、スクリーン印刷装置において、スキージのＺ軸方向の駆動にはシリンダが用いられ、シリンダによりスキージがスクリーンマスクに一定の加圧力で押し付けられる。図６はスキージのＺ軸方向の駆動にシリンダを用いたスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図である。

図６において、被印刷媒体であるプリント基板１５が載置され固定されたステージ１６は、平面上で直交するＸ，Ｙ軸及びＸ，Ｙ平面に直交するＺ軸（上下軸）の直交３軸方向の移動、及びθ回転方向（Ｘ，Ｙ平面上での回転方向）の移動が自在となっており、この各移動はＸ，Ｙ，Ｚ，θ駆動部１７により行われる。

プリント基板１５上に、印刷すべきパターンが形成されたスクリーンマスク１２を重ね合わせて接触を維持した状態で、シリンダ７によりスキージ３がスクリーンマスク１２と接触する位置まで下降され、スクリーンマスク１２上に印刷材料であるはんだペースト８をスキージ３を用いて供給しつつ、スキージ３をスクリーンマスク１２上面に沿って移動させることにより、プリント基板１５への印刷が行われる。

その後、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ駆動部１７によりステージ１６が下降され、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とが引き離される。なお、図６において、２はスキージホルダー、１１はスクリーン枠を示す。

このようにスキージ３のＺ軸方向の駆動にシリンダ７を用いる場合、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とを離す版離れ時に、スクリーンマスク１２にスキージ３を押し付けたままプリント基板１５を下降させると、図６に示すようにスキージ３で押し付けている箇所がプリント基板１５の下降方向についていき、スクリーンマスク１２とプリント基板１５の平行が崩れ、印刷パターンの形状が崩れやすいという課題がある。

また、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とを離す前にスキージ３を上方に退避させる場合、はんだペースト８の粘性によりスクリーンマスク１２がスキージ３に引っ張られ、一部持ち上げられるため、スクリーンマスク１２とプリント基板１５の平行が崩れ、印刷パターンの形状が崩れやすいという課題がある。

これらの課題に対する技術として、特許文献１には、スキージをＺ軸方向に駆動する駆動源としてロック機構付きエアシリンダを用い、スクリーンマスクの版離れの際にロック機構を作動させることが記載されている。したがって、特許文献１記載の技術では、スクリーンマスクの版離れの際にスキージがスクリーンマスクに対して不必要な力を作用させることを抑えることができる。

また、特許文献２には、スキージのＺ軸方向の駆動にステッピングモータとボールねじとを含む駆動機構を用いることが記載されている。

特開平９−３１４７９８号公報 特開平５−１１６２７５号公報

しかしながら、特許文献１記載の技術では、スキージのＺ軸方向の駆動源とそれをロックするための機構が必要となり、構成要素が増えるため設備価格の上昇を伴うこととなる。また、ロック機構が作動する瞬間の振動がスクリーンマスクに伝播するため、印刷形状に影響を与える可能性がある。

また、特許文献２記載の技術では、スクリーンマスクとプリント基板とを離す版離れ時に、スクリーンマスクに接触されたスキージによってスクリーンマスクがプリント基板の下降方向に撓むおそれがある。

本発明の目的は、上述した課題を解決し、ロック機構を設けることなくスクリーンマスクから被印刷媒体を引き離す版離れ時のスクリーンマスクの変形を抑制することができるスクリーン印刷装置、動作制御方法及びプログラムを提供することにある。

本発明によるスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段と、前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出手段と、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記位置検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する制御手段とを含むことを特徴とする。

本発明による別のスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段と、前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられ前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と自手段との距離を検出する距離検出手段と、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する制御手段とを含むことを特徴とする。

本発明による動作制御方法は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法であって、前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出ステップと、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記位置検出ステップによる検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御するステップとを含むことを特徴とする。

本発明による別の動作制御方法は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法であって、前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられる距離検出手段により前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と前記距離検出手段との距離を検出するステップと、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御するステップとを含むことを特徴とする。

本発明によるプログラムは、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する処理と、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記処理による検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する処理とを含むことを特徴とする。

本発明による別のプログラムは、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられる距離検出手段により前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と前記距離検出手段との距離を検出する処理と、前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する処理とを含むことを特徴とする。

本発明によれば、ロック機構を設けることなくスクリーンマスクから被印刷媒体を引き離す版離れ時のスクリーンマスクの変形を抑制することができるという効果が得られる。

本発明の実施の形態について説明する前に、本発明の理解を助けるために、本発明の原理について図面を参照して説明する。図１は本発明の原理を説明するためのスクリーン印刷装置の概略機能ブロック図である。

図１に示したスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクの主表面に対して平行移動してスクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージをスクリーンマスクの主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段１０２と、スキージの上記一軸方向の位置を検出する位置検出手段１０３と、スキージによる印刷終了後の被印刷媒体とスクリーンマスクとを離す版離れ時、位置検出手段１０３の検出結果を基に駆動手段１０２を制御してスキージの上記一軸方向の位置を制御する制御手段１０１とを含んで構成される。

このように、スキージによる印刷終了後の被印刷媒体とスクリーンマスクとを離す版離れ時、制御手段１０１が位置検出手段１０３の検出結果を基に、駆動手段１０２を制御してスクリーンマスクの主表面と直交する一軸方向のスキージの位置を制御するようにしているので、スキージの上記一軸方向の位置を一定に制御することが可能となり、よって、ロック機構を設けることなくスクリーンマスクから被印刷媒体を引き離す版離れ時のスクリーンマスクの変形を抑制することができる。

図１に示した構成において、位置検出手段１０３の代わりに、スキージと共にスクリーンマスク主表面に対して平行移動可能に設けられスクリーンマスクのスキージとの接触部と自手段との距離を検出する距離検出手段を用いるようにしてもよい。この場合、制御手段１０１は、スキージによる印刷終了後の被印刷媒体とスクリーンマスクとを離す版離れ時、距離検出手段の検出結果を基に駆動手段１０２を制御してスキージの上記一軸方向の位置を制御する。したがって、スクリーンマスクの撓みをキャンセルすることが可能となり、よって、ロック機構を設けることなくスクリーンマスクから被印刷媒体を引き離す版離れ時のスクリーンマスクの変形を抑制することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図２は本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図であり、図３はスクリーンマスク１２とプリント基板１５とを離す版離れ時の図２のスクリーン印刷装置を示す図であり、図２及び図３において、図６と同等部分は同一符号にて示している。なお、図３において、図２の制御部５の図示は省略されている。

図２及び図３に示すように、本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置は、スキージ３をＺ軸方向（上下方向）に移動させるスキージＺ軸駆動部１にシリンダではなくボイスコイルモータなどのリニアモータを用いる。スキージＺ軸駆動部１は、スキージホルダー２及びスキージ３が取り付けられ図示せぬ駆動部により水平移動可能な印刷ヘッド部である。

スキージホルダー２にはスキージ３の上下方向の位置（高さ）を検出するためのリニアスケール４が設けられ、制御部５は、リニアスケール４からの信号を基にスキージ３の位置制御を行う。また、制御部５は、リニアモータ１を駆動する電流値とリニアモータ１の推力の関係から、リニアモータ１に流す電流のコントロールによる力制御も行う。

図４は本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置の動作を示すフローチャートである。図４において、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ駆動部１７によってステージ１６が上昇しプリント基板１５の表面がスクリーンマスク１２の裏面に密着した状態で、制御部５は、印刷開始時、リニアスケール４によるスキージ３の上下方向の位置検出を開始し（ステップＳ１）、図２に示すようにリニアモータ１を制御してスクリーンマスク１２と接触する位置までスキージ３を下降させる（ステップＳ２）。

このとき、制御部５は、既知のスクリーンマスク１２の上下方向の位置を目標にスキージ３を下降させるようにしてもよいし、スクリーンマスク１２への衝撃を抑えるために、スキージ３がスクリーンマスク１２と接触しない所定の高さまでスキージ３を高速に下降させ、その後、低速で（所定値ずつ）スキージ３を下降させてスキージ３がスクリーンマスク１２に突き当たる位置をサーチすることでスキージ位置を決定するようにしてもよい。

スキージ３がスクリーンマスク１２に接触した後は、図示せぬ駆動部により、スクリーンマスク１２に対して略水平方向にスキージ３が移動され、プリント基板１５への印刷が行われる。このスキージ３による印刷中、制御部５は、位置制御から力制御に切り替えて、スキージ３の印圧（押し付け力）を一定に保つよう（一定荷重でスキージ３をスクリーンマスク１２に押し付けるよう）リニアモータ１を制御する（ステップＳ３）。

なお、本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置が後述する第２の実施の形態と同様に距離センサを更に備える場合、ステップＳ３において制御部５は力制御ではなく位置制御を行うようにしてもよい。この位置制御については後述する。

スキージ３による印刷が終了すると、図３に示すようにＸ，Ｙ，Ｚ，θ駆動部１７によりステージ１６が下降され、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とが引き離される。この版離れ時にスクリーンマスク１２表面とスキージ３との相対位置が変わらないように、制御部５は、スキージ３による印刷終了後、リニアスケール４の検出結果を基にスキージ３の上下方向の位置を一定に保つようリニアモータ１を制御する（ステップＳ４）。

そして、版離れ後、制御部５は、リニアモータ１を制御してスキージ３がスクリーンマスク１２と接触しない所定の高さまでスキージ３を上昇させる（ステップＳ５）。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態では、制御部５は、スキージ３による印刷終了後、リニアスケール４の検出結果を基にリニアモータ１を制御してスキージ３の上下方向の位置を制御するようにしているので、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とを離す版離れの際に、スクリーンマスク１２に対するスキージ３の押し付け、あるいはスキージ３の先行引き離しによりスクリーンマスク１２が変形してしまうことを抑制することができる。

また、本発明の第１の実施の形態では、スクリーンマスク１２の変形を抑制することができるので、スクリーンマスク１２とプリント基板１５の平行関係を保ったまま、版離れが可能となり、よって、スクリーンマスク１２の開口孔からのはんだペースト８の抜けが安定し、印刷パターンの形状を安定化させることができる。

次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。図５は本発明の第２の実施の形態によるスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図であり、図２と同等部分は同一符号にて示している。図５に示すように、本発明の第２の実施の形態によるスクリーン印刷装置は、スクリーンマスク１２のスキージ３との接触部と自センサとの距離を検出する距離センサ６を含む点で本発明の第１の実施の形態と異なっている。

スキージ３による印刷中、スキージ３は図示せぬ駆動部により印刷ヘッド部であるスキージＺ軸駆動部１と共に水平移動されるので、距離センサ６は、水平移動されるスキージ３と共に水平移動するよう印刷ヘッド部に設置されて、スクリーンマスク１２のスキージ３との接触部と自センサとの距離を検出する。制御部５ａは、力制御と、リニアスケール４からの信号に基づくスキージ３の位置制御と、距離センサ６からの信号に基づくスキージ３の位置制御とを切り替えて行う。

次に、本発明の第２の実施の形態によるスクリーン印刷装置の動作について図４及び図５を参照して説明する。本発明の第２の実施の形態によるスクリーン印刷装置の動作は、図４のステップＳ４においてリニアスケール４の検出結果ではなく距離センサ６の検出結果を基にスキージ３の位置制御を行う点で本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置の動作と異なっており、その他の動作は本発明の第１の実施の形態による図４のステップＳ１〜Ｓ３及びＳ５と同一である。

スキージ３がゴムスキージなどである場合、図５に示すように、版離れ時のステージ１６の下降によって、ゴムによるスキージ３の弾性変形分が開放され、これがスクリーンマスク１２を下方向に押す力となり、スクリーンマスク１２が下方向に撓む。

そこで、本発明の第２の実施の形態では、図４のステップＳ４において、制御部５ａは、スキージ３による印刷終了後の版離れ時、距離センサ６による距離検出を開始し、距離センサ６の検出結果を基にスクリーンマスク１２の撓みをキャンセルするようリニアモータ１を制御する。すなわち、制御部５ａは、スクリーンマスク１２のスキージ３との接触部と距離センサ６との距離を一定に保つようスキージ３の上下方向の位置を制御する。

また、図４のステップＳ３において、制御部５ａは、力制御ではなく、距離センサ６の検出結果を基にスキージ３の位置制御を行うようにしてもよい。この場合、制御部５ａは、スキージ３がスクリーンマスク１２に接触する位置まで下降後のスキージ３による印刷中、距離センサ６の検出結果を基にリニアモータ１を制御して、スクリーンマスク１２表面の凹凸に沿ってスキージ３を移動させるようスキージ３の上下方向の位置を制御する。

なお、この位置制御は、上述したように、本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置が本発明の第２の実施の形態と同様に距離センサ６を更に備える場合、本発明の第１の実施の形態に適用できることは勿論である。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態では、制御部５ａは、スキージ３による印刷終了後、距離センサ６の検出結果を基にリニアモータ１を制御してスキージ３の上下方向の位置を制御するようにしているので、スクリーンマスク１２とプリント基板１５とを離す版離れの際にスクリーンマスク１２が変形してしまうことを抑制することができる。

また、本発明の第２の実施の形態では、スクリーンマスク１２の変形を抑制することができるので、スクリーンマスク１２とプリント基板１５の平行関係を保ったまま、版離れが可能となり、よって、スクリーンマスク１２の開口孔からのはんだペースト８の抜けが安定し、印刷パターンの形状を安定化させることができる。

なお、本発明の第１及び第２の実施の形態では、スキージＺ軸駆動部１にリニアモータが用いられるが、これに限定されるものではなく、例えば、回転運動を直線運動に変換しスキージ３をＺ軸方向に移動させる変換機構と、該変換機構に回転力を与える回転モータとがスキージＺ軸駆動部１として用いられてもよい。回転運動を直線運動に変換する機構は当業者によく知られているため、その詳細な構成についての説明は省略するが、例えばボールねじを用いることができる。

このように回転モータを用いる場合、回転運動を直線運動に変換する機構が間に入るため、リニアモータを用いる場合に比べて、位置決め精度や動力伝達精度が若干劣化するが、一方、比較的大きな推力を発生させやすく、また比較的安価に構成することができる。

なお、図４に示したフローチャートに従った本発明の第１及び第２の実施の形態各々によるスクリーン印刷装置の処理動作は、該装置において、予めＲＯＭ等の記憶媒体に格納されたプログラムを、ＣＰＵ（制御部）となるコンピュータに読み取らせて実行せしめることにより、実現できることは勿論である。

本発明の第１及び第２の実施の形態は、電子部品実装分野、半導体加工組立分野などにおけるスクリーン印刷に適用可能である。

本発明の原理を説明するためのスクリーン印刷装置の概略機能ブロック図である。 本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図である。 スクリーンマスクとプリント基板とを離す版離れ時の図２のスクリーン印刷装置を示す図である。 本発明の第１の実施の形態によるスクリーン印刷装置の動作を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態によるスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図である。 スキージのＺ軸方向の駆動にシリンダを用いたスクリーン印刷装置の要部の概略構成を示す図である。

符号の説明

１ スキージＺ軸駆動部（リニアモータ）
２ スキージホルダー
３ スキージ
４ リニアスケール
５，５ａ 制御部
６ 距離センサ
７ シリンダ
８ はんだペースト
１１ スクリーン枠
１２ スクリーンマスク
１５ プリント基板
１６ ステージ
１７ Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ駆動部
１０１ 制御手段
１０２ 駆動手段
１０３ 位置検出手段

Claims (26)

1. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段と、
   前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出手段と、
   前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記位置検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する制御手段とを含むことを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 前記制御手段は、前記版離れ時、前記スキージの前記一軸方向の位置を一定に保つよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記制御手段は、前記スキージによる印刷開始時、前記位置検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スクリーンマスクと接触する位置まで前記スキージを移動させ、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記スキージの印圧を一定にするよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項１または２記載のスクリーン印刷装置。
4. 前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられ前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と自手段との距離を検出する距離検出手段を更に含み、
   前記制御手段は、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御することを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷装置。
5. 前記制御手段は、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスク主表面の凹凸に沿って前記スキージを移動させるよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷装置。
6. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段と、
   前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられ前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と自手段との距離を検出する距離検出手段と、
   前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する制御手段とを含むことを特徴とするスクリーン印刷装置。
7. 前記制御手段は、前記版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスクの撓みをキャンセルするよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項６記載のスクリーン印刷装置。
8. 前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出手段を更に含み、
   前記制御手段は、前記スキージによる印刷開始時、前記位置検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スクリーンマスクと接触する位置まで前記スキージを移動させ、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記スキージの印圧を一定にするよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項６または７記載のスクリーン印刷装置。
9. 前記制御手段は、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御することを特徴とする請求項８記載のスクリーン印刷装置。
10. 前記制御手段は、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスク主表面の凹凸に沿って前記スキージを移動させるよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項９記載のスクリーン印刷装置。
11. 前記駆動手段は、リニアモータを含むことを特徴とする請求項１〜１０いずれか記載のスクリーン印刷装置。
12. 前記駆動手段は、回転運動を直線運動に変換し前記スキージを前記一軸方向に移動させる変換機構と、前記変換機構に回転力を与える回転モータとを含むことを特徴とする請求項１〜１０いずれか記載のスクリーン印刷装置。
13. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法であって、
    前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出ステップと、
    前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記位置検出ステップによる検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御するステップとを含むことを特徴とする動作制御方法。
14. 前記版離れ時、前記スキージの前記一軸方向の位置を一定に保つよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項１３記載の動作制御方法。
15. 前記スキージによる印刷開始時、前記位置検出ステップによる検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スクリーンマスクと接触する位置まで前記スキージを移動させるステップと、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記スキージの印圧を一定にするよう前記駆動手段を制御するステップとを更に含むことを特徴とする請求項１３または１４記載の動作制御方法。
16. 前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられる距離検出手段により前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と前記距離検出手段との距離を検出するステップを更に含み、
    前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御することを特徴とする請求項１５記載の動作制御方法。
17. 前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスク主表面の凹凸に沿って前記スキージを移動させるよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項１６記載の動作制御方法。
18. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法であって、
    前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられる距離検出手段により前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と前記距離検出手段との距離を検出するステップと、
    前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御するステップとを含むことを特徴とする動作制御方法。
19. 前記版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスクの撓みをキャンセルするよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項１８記載の動作制御方法。
20. 前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する位置検出ステップと、前記スキージによる印刷開始時、前記位置検出ステップによる検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スクリーンマスクと接触する位置まで前記スキージを移動させるステップと、前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記スキージの印圧を一定にするよう前記駆動手段を制御するステップとを更に含むことを特徴とする請求項１８または１９記載の動作制御方法。
21. 前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御することを特徴とする請求項２０記載の動作制御方法。
22. 前記スキージが前記スクリーンマスクに接触する位置まで移動後の前記スキージによる印刷中、前記距離検出手段の検出結果を基に前記スクリーンマスク主表面の凹凸に沿って前記スキージを移動させるよう前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項２１記載の動作制御方法。
23. 前記駆動手段は、リニアモータを含むことを特徴とする請求項１３〜２２いずれか記載の動作制御方法。
24. 前記駆動手段は、回転運動を直線運動に変換し前記スキージを前記一軸方向に移動させる変換機構と、前記変換機構に回転力を与える回転モータとを含むことを特徴とする請求項１３〜２２いずれか記載の動作制御方法。
25. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記スキージの前記一軸方向の位置を検出する処理と、
    前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記処理による検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する処理とを含むことを特徴とするプログラム。
26. スクリーンマスクの主表面に対して平行移動して前記スクリーンマスク上の印刷材料を被印刷媒体に印刷するスキージを前記主表面と直交する一軸方向に移動させる駆動手段を含むスクリーン印刷装置の動作制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記スキージと共に前記主表面に対して平行移動可能に設けられる距離検出手段により前記スクリーンマスクの前記スキージとの接触部と前記距離検出手段との距離を検出する処理と、
    前記スキージによる印刷終了後の前記被印刷媒体と前記スクリーンマスクとを離す版離れ時、前記距離検出手段の検出結果を基に前記駆動手段を制御して前記スキージの前記一軸方向の位置を制御する処理とを含むことを特徴とするプログラム。

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