JP2009158966A - 可撓性圧電性チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可撓性チャックは、電極層(116)、電極層に配置された圧電層(110)、および圧電層上に配置された基板支持層(111)を備える。電極層を通して、圧電層に電気的信号を提供することによって支持層は屈曲され得、それによって可撓性チャックに配置された基板の表面形態を、変化させる。接触層は、突起部を含み得、この突起部の各々は、電極層内のそれぞれの電極に対応する。別の基板支持体および接地層が提供され得る。本発明に従う可撓性チャックは、真空チャックであり得る。また開示されるのは、本発明に従う可撓性チャックにおける形態変化をモニタリングするための方法である。
【選択図】図1
Description
Claims (30)
- リソグラフ処理の間、基板を支持するための可撓性チャックであって、以下:
電極層;
該電極層上に配置された圧電層;および
該圧電層上に配置された基板支持層、
を備え、ここで該電極層は、電気的信号を該圧電層に提供し、それによって該圧電層は、該電気的信号に応答して変形する、可撓性チャック。 - 接触層は突起部を備え、該突起部の各々は、前記電極層内のそれぞれの電極に対応する、請求項1に記載の可撓性チャック。
- 前記基板支持層が導電性材料で形成され、該基板支持層は接地平面として機能する、請求項2に記載の可撓性チャック。
- 前記圧電層が実質的に平らである、請求項2に記載の可撓性チャック。
- 前記接触層の前記突起部が、ポイント突起部およびストライプ突起部の1つを備える、請求項4に記載の可撓性チャック。
- 前記接触層の前記突起部が、前記可撓性チャックの周縁上部表面に対応する環状突起部である、請求項4に記載の可撓性チャック。
- 前記圧電層が、前記接触層の前記突起部に対応する突起部を備える、請求項2に記載の可撓性チャック。
- 前記接触層の前記突起部が、ポイント突起部およびストライプ突起部の1つを備える、請求項7に記載の可撓性チャック。
- 前記接触層の前記突起部が、前記可撓性チャックの周縁上部表面に対応する環状突起部を備える、請求項7に記載の可撓性チャック。
- 前記電極層内の個々の電極と接続するための送電線および信号相互接続ラインをさらに備える、請求項1に記載の可撓性チャック。
- 前記電気的信号によって生成される電場を制限するために、少なくとも1つの接地ガードリングをさらに備える、請求項1に記載の可撓性チャック。
- マルチプレシングハードウェアの少なくとも1つおよびスイッチングハードウェアを組み込んだ相互接続背板をさらに備える、請求項1に記載の可撓性チャック。
- 冷却板をさらに備える、請求項1に記載の可撓性チャック。
- 前記可撓性チャックが、メインチャックアセンブリおよび前記基板支持層から基板を上昇させるためのライザーアセンブリの両方を備える、請求項1に記載の可撓性チャック。
- 前記可撓性チャックが真空チャックである、請求項14に記載の可撓性チャック。
- リソグラフ処理の間に基板の高さを調節するための可撓性チャックであって、以下:
電極層;
該電極層上に配置された実質的に平らな圧電層から形成される複数の別個の圧電素子;および
接地平面、
を備える、可撓性チャック。 - 前記接地平面が導電性チャック前面板を備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 前記導電性前面板が突起部を備える、請求項17に記載の可撓性チャック。
- 前記導電性前面板の前記突起部が、ポイント突起部およびストライプ突起部の1つを備える、請求項18に記載の可撓性チャック。
- 前記導電性前面板の前記突起部が、前記可撓性チャックの周縁上部表面に対応する環状突起部を含む、請求項18に記載の方法。
- 前面板をさらに備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 前記前面板が突起部を備える、請求項21に記載の可撓性チャック。
- 前記前面板の前記突起部が、ポイント突起部およびストライプ突起部の1つを備える、請求項22に記載の可撓性チャック。
- 前記前面板の前記突起部が、前記可撓性チャックの周縁上部表面に対応する環状突起部を備える、請求項22に記載の可撓性チャック。
- 前記電極層内の電極によって生成される電場を制限するための少なくとも1つの接地ガードリングをさらに備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- マルチプルプレイシングの少なくとも1つおよびスイッチングハードウェアを組み込んだ相互接続背面板をさらに備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 冷却板をさらに備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 前記可撓性チャックが、メインチャックアセンブリおよび前記基板支持層から基板を上昇させるためのライザーアセンブリの両方を備える、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 前記可撓性チャックが真空チャックである、請求項16に記載の可撓性チャック。
- 可撓性圧電性チャック内の形態変化をモニタリングするための方法であって、以下:
(a)該可撓性圧電性チャック内のアクチュエーターの第1キャパシタンスを感知する工程;
(b)該アクチュエーターの電圧を変更する工程;
(c)該アクチュエーターを超えて第2キャパシタンスを感知する工程;および
(d)該第2キャパシタンスに、該第1キャパシタンスを比較する工程、
を包含し、それによって該圧電性チャック内の変化をモニタリングする、方法。
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