JP2009158957A - イメージセンサーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】トランジスタ回路とフォトダイオードの垂直型集積を提供できるイメージセンサーの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のイメージセンサーの製造方法は、ピクセル部及び周辺部を含む半導体基板を形成する段階と、前記半導体基板上に金属配線を含む層間絶縁膜を形成する段階と、前記ピクセル部の前記金属配線と連結されるように前記層間絶縁膜上に形成され、素子分離トレンチによって相互分離されたフォトダイオードパターンを形成する段階と、前記素子分離トレンチ及びフォトダイオードパターンを含む層間絶縁膜上に素子分離絶縁層を形成する段階と、前記フォトダイオードパターンが部分的に露出されるように前記素子分離絶縁層に第1ビアホールを形成する段階と、前記周辺部の金属配線が露出されるように前記素子分離絶縁層に第2ビアホールを形成する段階とを含む。
【選択図】図9
【解決手段】本発明のイメージセンサーの製造方法は、ピクセル部及び周辺部を含む半導体基板を形成する段階と、前記半導体基板上に金属配線を含む層間絶縁膜を形成する段階と、前記ピクセル部の前記金属配線と連結されるように前記層間絶縁膜上に形成され、素子分離トレンチによって相互分離されたフォトダイオードパターンを形成する段階と、前記素子分離トレンチ及びフォトダイオードパターンを含む層間絶縁膜上に素子分離絶縁層を形成する段階と、前記フォトダイオードパターンが部分的に露出されるように前記素子分離絶縁層に第1ビアホールを形成する段階と、前記周辺部の金属配線が露出されるように前記素子分離絶縁層に第2ビアホールを形成する段階とを含む。
【選択図】図9
Description
本発明は、半導体素子の製造方法に関するもので、特に、イメージセンサーの製造方法に関するものである。
イメージセンサーは、光学的映像を電気信号に変換させる半導体素子として、大きく電荷結合素子(charge coupled device:CCD)イメージセンサーとCMOS(Complementary Metal Oxide Silicon)イメージセンサー(CIS)に分類される。
CMOSイメージセンサーは、単位画素内にフォトダイオード及びMOSトランジスタを形成することで、スイッチング方式で各単位画素の電気的信号を順次的に検出して映像を具現する。
CMOSイメージセンサーは、光信号を受けた後、この光信号を電気信号に変えるフォトダイオード領域(図示せず)と、この電気信号を処理するトランジスタ領域(図示せず)とが水平に配置される構造を有する。
水平型CMOSイメージセンサーによると、フォトダイオードとトランジスタが基板上に互いに水平に隣接して形成される。そのため、フォトダイオードを形成するための追加的な領域が要求される。
本発明が解決しようとする技術的課題は、トランジスタ回路とフォトダイオードの垂直型集積を提供できるイメージセンサーの製造方法を提供することにある。
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、解像度と感度を一緒に改善できるイメージセンサーの製造方法を提供することにある。
本発明が解決しようとする更に他の技術的課題は、垂直型のフォトダイオードを採用しながらフォトダイオード内の欠陥を防止できるイメージセンサーの製造方法を提供するこにある。
上記のような技術的課題を解決するために、本発明に係るイメージセンサーの製造方法は、ピクセル部及び周辺部を含む半導体基板を形成する段階と、前記半導体基板上に金属配線を含む層間絶縁膜を形成する段階と、前記ピクセル部の前記金属配線と連結されるように前記層間絶縁膜上に形成され、素子分離トレンチによって相互分離されたフォトダイオードパターンを形成する段階と、前記素子分離トレンチ及びフォトダイオードパターンを含む層間絶縁膜上に素子分離絶縁層を形成する段階と、前記フォトダイオードパターンが部分的に露出されるように前記素子分離絶縁層に第1ビアホールを形成する段階と、前記周辺部の金属配線が露出されるように前記素子分離絶縁層に第2ビアホールを形成する段階とを含む。
本発明に係るイメージセンサーの製造方法は、金属配線を含む半導体基板上にフォトダイオードが形成されることで、イメージセンサーの垂直型集積を実現することができる。
また、トランジスタ回路とフォトダイオードの垂直型集積によって、フィルファクター(fill factor)を100%に近接させることができ、既存と同一のピクセルサイズでより高い感度を提供することができる。
また、各単位ピクセルは、感度の減少なしに、より複雑な回路を具現することができる。
また、既存と同一の解像度のために工程費用を節減することができる。
また、結晶型半導体基板の内部にフォトダイオードが形成されることで、垂直型のフォトダイオードを採用しながらもフォトダイオードの欠陥を減少させることができる。
また、フォトダイオードが素子分離絶縁層によって単位ピクセル別に分離されることで、クロストーク及びノイズの発生を減少させることができる。
また、素子分離絶縁層にフォトダイオード及び周辺部の金属配線を露出させるためのビアホール形成工程がそれぞれ行われることで、フォトダイオードと周辺部の層間絶縁膜の段差によって発生するビアホールのサイズ及び位置変動を遮断し、素子の品質を向上させることができる。
また、集積される追加的なオンチップ回路がイメージセンサーの性能を増加させることで、素子の小型化及び製造費用の節減を達成することができる。
本発明に係る実施例の説明において、各層の"上(on/over)"に形成されると記載される場合、上(on/over)は、直接的にまたは他の層を介在して形成されることを全て含む。
各図面における各層の厚さや大きさは、説明の便宜及び明確性のために誇張または省略されたり、概略的に示された。また、各構成要素の大きさは、実際の大きさを全的に反映するものではない。
以下、本発明の実施例に係るイメージセンサーの製造方法を添付された図面に基づいて詳細に説明する。
図1乃至図9は、本発明の実施例に係るイメージセンサーの製造方法を示した工程断面図である。
図1を参照すると、半導体基板10上に下部金属配線30,40及び層間絶縁膜20が形成される。
半導体基板10は、単結晶または多結晶のシリコン基板であり、p型不純物またはn型不純物がドーピングされた基板である。
図示していないが、前記半導体基板10には、アクティブ領域及びフィールド領域を定義する素子分離膜(図示せず)が形成される。また、前記アクティブ領域上には、ピクセル部(A)の回路及び周辺部(B)の回路が形成される。
前記ピクセル部(A)には、後述するフォトダイオードと連結され、受光された光電荷を電気信号に変換するトランスファートランジスタ、リセットトランジスタ、ドライブトランジスタ及びセレクトトランジスタを含むトランジスタ回路が単位ピクセル別に形成される。
半導体基板10のピクセル部(A)と周辺部(B)の上部には、下部金属配線30,40を含む層間絶縁膜20が形成されている。下部金属配線30,40は、電源ラインまたは信号ラインと回路を接続させる役割をする。前記層間絶縁膜20は、複数の層で形成される。
下部金属配線30,40は、金属配線(M)及びプラグを含む。前記ピクセル部(A)に形成された下部金属配線30は、単位ピクセル別に形成され、前記フォトダイオードの光電荷を前記回路に伝送する役割をする。
下部金属配線30,40は、金属、合金またはシリサイドを含む多様な伝導性物質で形成される。例えば、前記下部金属配線30,40は、アルミニウム、銅、コバルトまたはタングステンで形成される。本発明の実施例において、前記下部金属配線30,40のプラグが前記層間絶縁膜20の表面に露出されることもある。
下部金属配線30,40を形成するとき、前記周辺部(B)にはパッドが形成される。
図2に示すように、結晶型半導体基板5を準備する。
結晶型半導体基板5は、単結晶または多結晶のシリコン基板であり、p型不純物またはn型不純物がドーピングされた基板である。本発明の実施例において、前記結晶型半導体基板5はp型基板である。また、前記半導体基板10と前記結晶型半導体基板5は、同一の大きさで形成される。また、前記結晶型半導体基板5にエピ層が形成されることもある。
結晶型半導体基板5の内部にはフォトダイオード50が形成される。前記フォトダイオード50は、n型不純物領域及びp型不純物領域を含むことができる。前記フォトダイオード50は、n型不純物領域とp型不純物領域が互いに接してPN接合を有するように形成される。
図3に示すように、前記半導体基板10の層間絶縁膜20上にはフォトダイオード50が形成される。前記半導体基板10は、前記フォトダイオード50を含む結晶型半導体基板5と結合される。前記半導体基板10と結晶型半導体基板5は、ボンディング工程によって結合される。
具体的には、前記半導体基板10の表面である層間絶縁膜20の上部に前記結晶型半導体基板5のフォトダイオード50の表面を位置させた後、これらを互いに接合されるようにボンディングする。
半導体基板10と前記結晶型半導体基板5が結合されると、前記下部金属配線30,40のプラグと前記結晶型半導体基板5のフォトダイオード50が電気的に連結された状態になる。
この後、前記半導体基板10上にフォトダイオード50のみが残るように前記結晶型半導体基板5が除去される。前記結晶型半導体基板5が除去されると、前記半導体基板10上にはフォトダイオード50が残るようになる。例えば、前記結晶型半導体基板5は、エッチングまたはCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程によって除去される。
したがって、前記半導体基板10上にフォトダイオード50が残るので、前記半導体基板10とフォトダイオード50が垂直型集積をなすようになる。
図4に示すように、前記フォトダイオード50上にハードマスク60が形成される。前記ハードマスク60は、前記フォトダイオード50を単位ピクセル別に分離するためのものである。例えば、前記ハードマスク60は、TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)を含む酸化膜で形成される。
ハードマスク60は、前記フォトダイオード50上にハードマスク層(図示せず)を形成した後、フォトレジストパターン(図示せず)によるパターニング工程を行うことで形成される。前記ハードマスク60は、前記ピクセル部(A)の下部金属配線30に対応するように前記フォトダイオード50上に形成される。このとき、前記ハードマスク60は、前記下部金属配線30より広い領域を有して形成される。
図5に示すように、前記ピクセル部(A)に対応する層間絶縁膜20上にフォトダイオードパターン55が形成される。前記フォトダイオードパターン55は、前記ハードマスク60をエッチングマスクとして使用して前記フォトダイオード50をエッチングすることで形成される。その結果、前記フォトダイオード50が選択的に除去され、前記層間絶縁膜20を露出させる素子分離トレンチ65が形成される。特に、前記素子分離トレンチ65は、前記フォトダイオード50を単位ピクセル別に分離させるものであるので、狭い幅を有して形成される。したがって、前記フォトダイオードパターン55は、最大限に広く形成される。
素子分離トレンチ65によって、前記下部金属配線30と連結されるフォトダイオードパターン55が形成される。また、前記周辺部(B)上のフォトダイオード50が除去され、前記周辺部(B)上の層間絶縁膜20の表面が露出される。特に、前記周辺部(B)の層間絶縁膜20が露出されるとき、前記周辺部(B)の下部金属配線40が露出される。
また、前記フォトダイオードパターン55上に残ったハードマスク60は、除去されなくてもよいが、除去されることもある。
フォトダイオードパターン55が前記ピクセル部(A)の層間絶縁膜20上に形成されるので、前記フォトダイオードパターン55は、前記周辺部(B)の層間絶縁膜20より第1高さ(H1)だけ高くなる。すなわち、前記フォトダイオードパターン55の高さだけ前記層間絶縁膜20に段差が生じる。例えば、前記フォトダイオードパターン55及び前記周辺部(B)の層間絶縁膜20の段差(H1)は、約1.2〜2.0μmである。
図6に示すように、前記フォトダイオードパターン55及び素子分離トレンチ65を含む層間絶縁膜20上に素子分離絶縁層70が形成される。前記素子分離絶縁層70は、前記層間絶縁膜20上に形成され、前記フォトダイオードパターン55及び素子分離トレンチ65を全て覆うように形成される。
素子分離絶縁層70が前記素子分離トレンチ65を充填するように形成されるので、前記フォトダイオードパターン55は、前記素子分離絶縁層70によって単位ピクセル別に分離される。例えば、前記素子分離絶縁層70は酸化膜で形成される。
素子分離絶縁層70は、前記フォトダイオードパターン55及び層間絶縁膜20上に均一に蒸着される。すなわち、前記素子分離絶縁層70は、前記フォトダイオードパターン55と前記周辺部(B)の層間絶縁膜20の高さに対応する段差を有するようになる。
フォトダイオードパターン55に電気的な信号を加えるために、前記素子分離絶縁層70が選択的に除去されるべきである。また、前記周辺部(B)の下部金属配線40に電気的な信号を伝達するために、前記素子分離絶縁層70が選択的に除去されるべきである。前記フォトダイオードパターン55及び前記下部金属配線40を露出させるために、フォトリソグラフィ工程を用いて前記素子分離絶縁層70が選択的に除去される。上記のようにフォトダイオードパターン55によって前記素子分離絶縁層70に段差が生じると、前記フォトダイオードパターン55及び前記下部金属配線40を同時に露出させるためのフォトリソグラフィ工程が正確に行われなくなる。すなわち、フォトリソグラフィの露光工程時、感光膜の一部は、ターゲット地点に焦点が合わせられてオープンされるが、段差を有する他の領域は、ターゲット地点に焦点が合わなくなり、オープンされないようになる。また、感光膜の一部は、焦点がターゲット地点と一致して正確にオープンされるが、他の領域においては、焦点が正確なターゲット地点から外れるようになる。すなわち、前記フォトダイオードパターン55及び前記周辺部(B)上の層間絶縁膜20に段差が生じているので、前記フォトダイオードパターン55及び層間絶縁膜20を露出させるためのフォト工程に困難さがある。
したがって、上記のような点を考慮した上で、本発明の実施例では、前記フォトダイオードパターン55及び層間絶縁膜20を露出させるビアホールを形成するためのフォト工程をそれぞれ実施している。
図7に示すように、前記素子分離絶縁層70に第1ビアホール71が形成される。前記第1ビアホール71は、前記フォトダイオードパターン55を部分的に露出させる。
第1ビアホール71を形成するために、前記素子分離絶縁層70上に第1フォトレジストパターン100を形成する。前記第1フォトレジストパターン100は、前記素子分離絶縁層70上にフォトレジスト膜を塗布した後、露光及び現像工程を行うことで形成される。前記第1フォトレジストパターン100は、前記フォトダイオードパターン55に対応する前記素子分離絶縁層70を選択的に露出させ、残りの領域を全て覆うように形成される。
第1フォトレジストパターン100をエッチングマスクとして使用して前記素子分離絶縁層70をエッチングする。その結果、前記第1フォトレジストパターン100によって露出された前記素子分離絶縁層70がエッチングされ、前記フォトダイオードパターン55を露出させる第1ビアホール71が形成される。したがって、前記第1ビアホール71によって前記フォトダイオードパターン55が選択的に露出される。
この後、前記第1フォトレジストパターン100は、アッシング工程によって除去される。
図8に示すように、前記素子分離絶縁層70に第2ビアホール72が形成される。前記第2ビアホール72は、前記周辺部(B)の下部金属配線40を露出させる。
第2ビアホール72を形成するために、前記素子分離絶縁層70上に第2フォトレジストパターン200を形成する。前記第2フォトレジストパターン200は、前記素子分離絶縁層70上にフォトレジスト膜を塗布した後、露光及び現像工程を行うことで形成される。前記第2フォトレジストパターン200は、前記周辺部(B)の下部金属配線40に対応する前記素子分離絶縁層70を選択的に露出させ、残りの領域を全て覆うように形成される。
第2フォトレジストパターン200をエッチングマスクとして使用して前記素子分離絶縁層70をエッチングする。その結果、前記第2フォトレジストパターン200によって露出された前記素子分離絶縁層70がエッチングされ、前記下部金属配線40を露出させる第2ビアホール72が形成される。したがって、前記第2ビアホール72によって前記下部金属配線40が露出される。
この後、前記第2フォトレジストパターン200は、アッシング工程によって除去される。
結局、図9に示すように、前記素子分離絶縁層70に第1ビアホール71及び第2ビアホール72が形成される。前記第1ビアホール71は、前記フォトダイオードパターン55を露出させ、前記第2ビアホール72は、周辺部(B)の下部金属配線40を露出させる。
図示していないが、前記フォトダイオードパターン55及び前記下部金属配線40に電気信号を印加するために、第1ビアホール71及び第2ビアホール72を含む素子分離絶縁層70上に上部金属配線層が形成される。また、前記素子分離絶縁層70上にカラーフィルター(図示せず)及びマイクロレンズ(図示せず)が形成される。
上記のように、前記フォトダイオードパターン55及び周辺部(B)の金属配線40を露出させるために2回のパターニング工程が進行される。その結果、前記フォトダイオードパターン55及び周辺部(B)の層間絶縁膜20の段差と関係なしに、写真及びエッチング工程が円滑に進行される。したがって、前記素子分離絶縁層70には、前記フォトダイオードパターン55を露出させる第1ビアホール71及び前記金属配線40を露出させる第2ビアホール72がそれぞれ形成される。
以上、本発明を実施例に基づいて説明してきたが、この実施例は、例示のためのものに過ぎなく、本発明を限定するものではないので、本発明の属する分野で通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲で多様に変形及び応用可能であることを理解するであろう。例えば、本発明の実施例に具体的に表れた各構成要素は、変形実施が可能である。そして、このような変形及び応用と関連した差異点は、添付された特許請求の範囲で規定する本発明の範囲に含まれるものとして解析されるべきである。
10 半導体基板、20 層間絶縁膜、30,40 下部金属配線、55 フォトダイオードパターン、60 ハードマスク、65 素子分離トレンチ、70 素子分離絶縁層、71 第1ビアホール、72 第2ビアホール
Claims (11)
- ピクセル部及び周辺部を含む半導体基板を形成する段階と、
前記半導体基板上に金属配線を含む層間絶縁膜を形成する段階と、
前記ピクセル部の前記金属配線と連結されるように前記層間絶縁膜上に形成され、素子分離トレンチによって相互分離されたフォトダイオードパターンを形成する段階と、
前記素子分離トレンチ及びフォトダイオードパターンを含む層間絶縁膜上に素子分離絶縁層を形成する段階と、
前記フォトダイオードパターンが部分的に露出されるように前記素子分離絶縁層に第1ビアホールを形成する段階と、
前記周辺部の金属配線が露出されるように前記素子分離絶縁層に第2ビアホールを形成する段階と、を含むことを特徴とするイメージセンサーの製造方法。 - 前記フォトダイオードパターンを形成する段階は、
結晶型半導体基板にイオン注入工程を進行してフォトダイオードを形成する段階と、
前記結晶型半導体基板を前記半導体基板上にボンディングする段階と、
前記フォトダイオード上に前記ピクセル部の金属配線に対応するようにハードマスクを形成する段階と、
前記ハードマスクをエッチングマスクとして使用して前記フォトダイオードをエッチングし、前記層間絶縁膜を選択的に露出させる前記素子分離トレンチを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサーの製造方法。 - 前記フォトダイオードパターンを形成する段階は、
前記素子分離トレンチを形成した後に、前記ハードマスクを除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサーの製造方法。 - 前記フォトダイオードパターンを形成する段階は、
前記ボンディングする段階後に、前記フォトダイオードのみが残るように前記結晶型半導体基板を除去する段階をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサーの製造方法。 - 前記ハードマスクは、前記金属配線より広い領域を有することを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサーの製造方法。
- 前記フォトダイオードをエッチングするとき、前記周辺部の前記層間絶縁膜が露出されることを特徴とする請求項2に記載のイメージセンサーの製造方法。
- 前記フォトダイオードパターンの高さは、前記周辺部の層間絶縁膜の表面より高い第1高さであることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサーの製造方法。
- 前記第1高さは、1.2乃至2.0μmであることを特徴とする請求項7に記載のイメージセンサーの製造方法。
- 前記記第1ビアホールを形成する段階は、
前記素子分離絶縁層上に、前記フォトダイオードパターンに対応する領域の一部をオープンさせる第1フォトレジストパターンを形成する段階と、
前記第1フォトレジストパターンをエッチングマスクとして使用して前記素子分離絶縁層をエッチングし、前記第1ビアホールを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサーの製造方法。 - 前記第2ビアホールを形成する段階は、
前記素子分離絶縁層上に、前記周辺部の前記金属配線に対応する領域の一部をオープンさせる第2フォトレジストパターンを形成する段階と、
前記第2フォトレジストパターンをエッチングマスクとして使用して前記素子分離絶縁層をエッチングし、前記第2ビアホールを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサーの製造方法。 - 前記素子分離絶縁層は、酸化膜で形成されることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサーの製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04103168A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH04280677A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-06 | Sony Corp | 積層型固体撮像装置 |
JPH1197690A (ja) * | 1997-09-20 | 1999-04-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | イメージセンサおよびイメージセンサ一体型アクティブマトリクス型表示装置 |
JP2000156488A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-06-06 | Agilent Technol Inc | 高性能画像センサアレイ |
JP2005217085A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (12)
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---|---|---|---|---|
KR970003633A (ko) * | 1995-06-28 | 1997-01-28 | 김주용 | 반도체 소자의 금속 층간 절연막 형성방법 |
US6252218B1 (en) * | 1999-02-02 | 2001-06-26 | Agilent Technologies, Inc | Amorphous silicon active pixel sensor with rectangular readout layer in a hexagonal grid layout |
KR20010005302A (ko) * | 1999-06-30 | 2001-01-15 | 김영환 | 반도체소자의 제조방법 |
US6215164B1 (en) * | 1999-07-26 | 2001-04-10 | Agilent Technologies, Inc. | Elevated image sensor array which includes isolation between uniquely shaped image sensors |
US6501065B1 (en) * | 1999-12-29 | 2002-12-31 | Intel Corporation | Image sensor using a thin film photodiode above active CMOS circuitry |
US6759262B2 (en) * | 2001-12-18 | 2004-07-06 | Agilent Technologies, Inc. | Image sensor with pixel isolation system and manufacturing method therefor |
US7215361B2 (en) * | 2003-09-17 | 2007-05-08 | Micron Technology, Inc. | Method for automated testing of the modulation transfer function in image sensors |
US6841411B1 (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-11 | Agilent Technologies, Inc. | Method of utilizing a top conductive layer in isolating pixels of an image sensor array |
JP4046069B2 (ja) * | 2003-11-17 | 2008-02-13 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
US6995411B2 (en) * | 2004-02-18 | 2006-02-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Image sensor with vertically integrated thin-film photodiode |
KR100888684B1 (ko) * | 2006-08-25 | 2009-03-13 | 에스.오.아이. 테크 실리콘 온 인슐레이터 테크놀로지스 | 광검출장치 |
US7482646B2 (en) * | 2006-10-18 | 2009-01-27 | Hejian Technology (Suzhou) Co., Ltd. | Image sensor |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04103168A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH04280677A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-06 | Sony Corp | 積層型固体撮像装置 |
JPH1197690A (ja) * | 1997-09-20 | 1999-04-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | イメージセンサおよびイメージセンサ一体型アクティブマトリクス型表示装置 |
JP2000156488A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-06-06 | Agilent Technol Inc | 高性能画像センサアレイ |
JP2005217085A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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