JP2009155640A - はんだ耐熱性の高い接着性ポリイミド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の接着性ポリイミドは、イミド化合物のオリゴマー、芳香族ジアミン、及びテトラカルボン酸二無水物を成分に含む溶剤可溶のブロックポリイミド化合物を含有する接着性ポリイミドであって、該イミド化合物のオリゴマーがビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(A)及び3,5−ジアミノ安息香酸(B)を成分に含み、前記(B)の成分量がジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して9.9重量%以下であり、重量平均分子量が80000以上であることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
本発明は、3,5−ジアミノ安息香酸を成分に含む溶剤可溶のポリイミド化合物を含む接着性ポリイミドに関する。
得られた固形分18重量%のポリイミド接着液をN−メチル−2−ピロリドンとγ−ブチロラクトンの混合液(重量比10:7)で固形分12重量%まで希釈した。これを、銅をスパッタしたシリコンウェハ上にスピンコーターを用いて塗布し、空気下100℃で20分乾燥した。更に窒素下で150℃10分、続いて180℃10分、続いて260℃30分、続いて325℃30分間乾燥した。接着性ポリイミドの厚みは10ミクロンであった。接着性ポリイミドのついたシリコンウェハ表面を3mm幅でダイシングした後、塩化第二鉄水溶液に1晩浸漬し、遊離した接着性ポリイミドフィルムを十分に水洗した後、105℃で1時間乾燥した。アルバック理工株式会社製熱機械分析装置(TM−9400)及び湿度雰囲気調整装置(HC−1)を用いて23℃、荷重5g、チャック間長さ15mmにて湿度10%RH〜80%RHに変化させた際の寸法変化を測定し、ポリイミドフィルムの吸湿膨張係数を算出した。ポリイミド積層体の吸湿膨張係数は、下記(4)で作成したポリイミド積層体を用いて測定した。
上記(1)において得られたフィルムを株式会社島津製作所製熱機械分析装置(TMA−50)を用いて、昇温速度10℃/min、荷重5gにて350℃まで昇温した際の、幅3mm、チャック間長さ15mmのフィルムの寸法変化を測定し、急激に寸法が変化する変曲点から求めた。
上記(1)において得られたフィルムをORIENTEC社製 TENSILON/UTM−II−20を用い、試料幅3mm、チャック間距離40mm、掃引速度40mm/minで測定し、10点サンプルを測定した時の最大の値をMax%とした。
得られた固形分18%のポリイミド接着液をN−メチル−2−ピロリドンとγ−ブチロラクトンの混合液(重量比10:7)で固形分10重量%まで希釈した。この接着液を80℃に保温された平滑なプレートに保持されたポリイミドフィルム(商品名カプトン(登録商標)100EN、東レ・デュポン株式会社製)上に、R.D.Specialties製の#34ワイヤーロッドを用いて塗布した。10分放置後、空気循環式の乾燥炉で120℃10分乾燥させ、更に空気下にて150℃10分、続いて180℃10分、続いて260℃30分間乾燥してポリイミド積層体を得た。接着性ポリイミドの厚みは5ミクロンであった。得られたポリイミド積層体の接着性ポリイミド層と厚さ18ミクロンの銅箔(商品名F3−WS 古河サーキットフォイル株式会社製)の粗化面とを合わせ、真空プレス機にて真空下325℃にて50kg/cm2で30分間プレスを行うことで銅箔−樹脂積層体を得た。得られた銅箔−樹脂積層体を3cm角に切だし、2.5cm角のマスキングテープを銅箔面の中央に貼ったのち、塩化第二鉄水溶液に浸漬してマスキングテープが貼られていない部分の銅箔をエッチング除去した。十分に水洗した後マスキングテープを剥がし、熱風乾燥機を用いて105℃60分間乾燥してはんだ耐熱試験片を得た。この試験片を精製水に浸漬して100℃120分間処理した後、280℃のはんだ浴に銅箔面を下にして1分間浮かべた。1分後に試験片をはんだ浴から取り除き、樹脂側の面での変色を観察した。
(4)において、真空プレス機での条件を真空下昇温速度7℃/min、305℃にて50kg/cm2で5分間プレスを行うこと以外は同様に操作を行った。
東機株式会社製 RE80型粘度計に、コーンローター(1°34’×R24)を取り付け、温度23℃で測定した。カップ内には液を1.2mL入れた。
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した。溶離液はN,N−ジメチルホルムアミドに臭化リチウムと燐酸リチウムを溶解した液を用いた。カラムは東ソー株式会社製TSK−GEL SUPER HM−Mを2本連結し、日本分光株式会社製液体クロマトグラフィーシステムを用い、40℃で流量0.5mL/minでUV検出器(波長270nm)を用いて測定を行い、ポリスチレン標準サンプルから作成した検量線を用いて重量平均分子量を算出した。サンプリングは重合反応の冷却開始1時間後に行った。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
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1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
添加する無水マレイン酸の重量を0.72g(7.36ミリモル)とした以外は実施例11と同様の操作を行った。
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1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
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1リッター容量の三つ口セパラブルフラスコにテフロン(登録商標)製のイカリ型攪拌器、窒素ガス導入管及びストップコックのついたトラップの上にジムロート冷却管をつけた還流冷却器を取り付け、窒素ガス気流中で反応させた。
Claims (10)
- イミド化合物のオリゴマー、芳香族ジアミン、及びテトラカルボン酸二無水物を成分に含む溶剤可溶のブロックポリイミド化合物を含有する接着性ポリイミドであって、該イミド化合物のオリゴマーがビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(A)及び3,5−ジアミノ安息香酸(B)を成分に含み、前記(B)の成分量がジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して9.9重量%以下であり、重量平均分子量が80000以上であることを特徴とする接着性ポリイミド。
- 前記(A)の成分量がジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して24.0重量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の接着性ポリイミド。
- 前記(A)の成分量がジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して18.0重量%以下であることを特徴とする請求項2に記載の接着性ポリイミド。
- 前記テトラカルボン酸二無水物が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を含み、前記芳香族ジアミンが1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の接着性ポリイミド。
- ビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物(A)及び3,5−ジアミノ安息香酸(B)を成分に含むオリゴマー並びに、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物並びに、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを成分に含む溶剤可溶のブロックポリイミド化合物を含有する接着性ポリイミドであって、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して前記3,5−ジアミノ安息香酸の成分量が9.9重量%以下であり、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して前記ビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物の成分量が24.0重量%以下であり、重量平均分子量が80000以上であることを特徴とする接着性ポリイミド。
- 前記(B)/(A)のモル比が2/3以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の接着性ポリイミド。
- 前記(B)/(A)のモル比が2/3未満であり、かつ前記3,5−ジアミノ安息香酸の成分量がジアミンとテトラカルボン酸二無水物の総重量に対して5.0重量%以下であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の接着性ポリイミド。
- 金属箔と、請求項1から請求項8のいずれかに記載の接着性ポリイミドを含む樹脂層と、を具備することを特徴とする積層体。
- 積層体と、前記積層体の少なくとも一方の面上に形成された金属箔又はポリイミドフィルムと、を備えたことを特徴とする請求項9に記載の積層体。
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