JP2009152187A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 第１の支持基板上に形成された開口部を有する反射層と、
   前記反射層と裏面が接して配置された第２の支持基板と、
   前記第２の支持基板表面に形成された光吸収層と、
   前記光吸収層上に形成された材料層と、を有し、
   前記光吸収層は、島状またはストライプ状にパターン形成されており、
   前記開口部と前記光吸収層とが重なるように配置されており、
   前記開口部の大きさは、前記光吸収層のパターンの幅よりも小さいことを特徴とする蒸着用基板。
2. 請求項１において、
   前記反射層は、Ｎ箇所（Ｎは２以上の整数）の前記光吸収層のパターンに対して１箇所の間隔で設けられていることを特徴とする蒸着用基板。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記第１の支持基板及び前記第２の支持基板の少なくとも一方に、位置合わせ用のマーカーが設けられていることを特徴とする蒸着用基板。
4. 請求項１乃至３のいずれか一において、
   前記材料層は有機化合物を含むことを特徴とする蒸着用基板。