JP2010165669A5 - 発光装置の作製方法 - Google Patents
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- 第1の吸収層と第1の反射層を有する第1のマスク層と、第2の吸収層と第2の反射層を有する第2のマスク層を有し、前記第1のマスク層と前記第2のマスク層上に有機物層が形成された第1の基板を、
陽極あるいは陰極の一方である第1の電極を形成した第2の基板の被成膜面が対向するように配置し、
前記第1の基板の、前記有機物層を形成した面と反対側から光を照射することにより、前記第1の吸収層及び第2の吸収層の上の前記有機物層を昇華させ、
前記第1の吸収層及び第2の吸収層の上の有機物層を昇華させることにより、前記第2の基板上に、前記第1のマスク層に対応する第1の画素に第1の転写層、及び、前記第2のマスク層に対応する第2の画素に第2の転写層を成膜する発光装置の作製方法であって、
前記第1の転写層は、前記第2の転写層と接する領域を有し、
前記第1の転写層の膜厚は、前記第2の転写層の膜厚より厚く、
前記第1の吸収層の面積は、前記第2の吸収層の面積より大きいことを特徴とする発光装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279029A JP5291607B2 (ja) | 2008-12-15 | 2009-12-09 | 発光装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008318365 | 2008-12-15 | ||
JP2008318365 | 2008-12-15 | ||
JP2009279029A JP5291607B2 (ja) | 2008-12-15 | 2009-12-09 | 発光装置の作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010165669A JP2010165669A (ja) | 2010-07-29 |
JP2010165669A5 true JP2010165669A5 (ja) | 2012-11-08 |
JP5291607B2 JP5291607B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=42241088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009279029A Expired - Fee Related JP5291607B2 (ja) | 2008-12-15 | 2009-12-09 | 発光装置の作製方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8241700B2 (ja) |
JP (1) | JP5291607B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8610155B2 (en) * | 2008-11-18 | 2013-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, method for manufacturing the same, and cellular phone |
US8576209B2 (en) | 2009-07-07 | 2013-11-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP5425242B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2014-02-26 | キヤノン株式会社 | 有機el素子及びこれを用いた表示装置 |
KR102081209B1 (ko) * | 2013-03-26 | 2020-02-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법, 및 그 유기 발광 표시 장치의 제조에 사용되는 도너 기판 및 도너 기판 세트 |
KR102159644B1 (ko) * | 2013-05-30 | 2020-09-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 줄히팅 증착장치 및 이를 이용한 증착방법 |
KR20150056112A (ko) * | 2013-11-14 | 2015-05-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 막 형성용 마스크, 이를 이용한 막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR20150109013A (ko) | 2014-03-18 | 2015-10-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기막 패턴 형성용 마스크, 이를 이용한 유기막 패턴 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR20150135720A (ko) | 2014-05-23 | 2015-12-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너마스크 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 |
KR20160003363A (ko) | 2014-06-30 | 2016-01-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너마스크 및 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 |
US9601559B2 (en) * | 2015-07-22 | 2017-03-21 | Grantwood Limited | Structure of an organic device, method and apparatus for patterning the same |
CN105238391B (zh) * | 2015-11-04 | 2017-04-26 | 西安建筑科技大学 | 多光源钒基介孔有机-无机杂化发光材料的制备方法 |
WO2021070236A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | シャープ株式会社 | 発光デバイス |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3801730B2 (ja) * | 1997-05-09 | 2006-07-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プラズマcvd装置及びそれを用いた薄膜形成方法 |
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US6165543A (en) * | 1998-06-17 | 2000-12-26 | Nec Corporation | Method of making organic EL device and organic EL transfer base plate |
JP3740557B2 (ja) | 1999-03-09 | 2006-02-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機薄膜作製方法および有機薄膜作製装置 |
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-
2009
- 2009-12-09 JP JP2009279029A patent/JP5291607B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-10 US US12/635,048 patent/US8241700B2/en not_active Expired - Fee Related
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