JP2009134116A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる表示装置は、TFT108を有する画素105を複数備える。そして、ゲート電極7と、ゲート電極7と異なるレイヤーに形成されたソース・ドレイン電極14、15と、複数の画素105に亘って延在し、ゲート電極7及びソース・ドレイン電極14、15と異なるレイヤーに形成され、ソース電極14と電気的に接続される電源供給配線9と、電源供給配線9上に形成された平坦化膜16と、平坦化膜16上に形成されたアノード電極18と、アノード電極18上に形成され、上面視にて電源供給配線9の外側で、アノード電極18上に開口部24を有する分離膜19と、開口部24においてアノード電極18上に形成された電界発光層20と、電界発光層20上に形成されたカソード電極21とを備える。
【選択図】図3
Description
まず、本実施の形態にかかる表示装置及びその製造方法について説明する前に、TFTアクティブマトリックス基板(TFTアレイ基板)について図1を用いて説明する。図1は、TFTアレイ基板の構成を示す平面模式図である。TFTアレイ基板には、スイッチング素子として薄膜トランジスタ(TFT)が用いられる。TFTアレイ基板は、液晶表示装置やEL表示装置(電界発光型表示装置)等の平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ)に用いられる。また、EL表示装置には、例えば有機EL表示装置、無機EL表示装置がある。なお、以下に説明する実施の形態で用いられる説明図において、同一又は相当部分には同一の符号を付して説明を省略する。
4a ソース領域、4b チャネル領域、4c ドレイン領域、4d 下部電極、
5 ゲート絶縁膜、6 第1層間絶縁膜、7 ゲート電極、8 上部電極、
9 電源供給配線、10 第2層間絶縁膜、11 コンタクトホール、
12 コンタクトホール、13 コンタクトホール、14 ソース電極、
15 ドレイン電極、16 平坦化膜、17 コンタクトホール、18 アノード電極、
19 分離膜、20 電界発光層、20a ホール輸送層、20b 有機EL層、
20c 電子輸送層、21 カソード電極、22 非晶質半導体膜、
23 フォトレジスト膜、24 開口部、
30 TFT、31 ゲート電極、32 ソース・ドレイン領域、33 ブリッジ電極、
40 TFT、41 ゲート電極、42 ソース・ドレイン領域、
50 接続電極、
100 TFTアレイ基板、101 表示領域、102 額縁領域、
103 走査信号駆動回路、104 表示信号駆動回路、105 画素、
106 外部配線、107 外部配線、108 TFT、109 ゲート信号線、
110 ソース信号線
Claims (8)
- TFTを有する画素を複数備える表示装置であって、
ゲート電極と、
前記ゲート電極と異なるレイヤーに形成されたソース・ドレイン電極と、
複数の前記画素に亘って延在し、前記ゲート電極及び前記ソース・ドレイン電極と異なるレイヤーに形成され、ソース電極と電気的に接続される配線と、
前記配線上に形成された平坦化膜と、
前記平坦化膜上に形成された第1の電極と、
前記第1の電極上に形成され、上面視にて前記配線の外側で、前記第1の電極上に開口部を有する分離膜と、
前記開口部において前記第1の電極上に形成された発光層と、
前記発光層上に形成された第2の電極とを備える表示装置。 - 前記配線と異なるレイヤーにおいて前記開口部に形成され、素子間を電気的に接続するブリッジ電極をさらに備える請求項1に記載の表示装置。
- 前記ブリッジ電極は、前記ゲート電極と異なるレイヤーに形成される請求項2に記載の表示装置。
- 少なくとも前記配線上には、前記分離膜が形成される請求項1乃至3のいずれか1項に記載の表示装置。
- TFTを有する画素を複数備える表示装置の製造方法であって、
ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上に、ソース・ドレイン電極と、複数の画素に亘って延在する配線を互いに異なるレイヤーに形成する工程と、
前記配線上に、平坦化膜を形成する工程と、
前記平坦化膜上に第1の電極を形成する工程と、
上面視にて前記配線の外側で、前記第1の電極上に開口部を有する分離膜を、前記第1の電極上に形成する工程と、
前記開口部において前記第1の電極上に発光層を形成する工程と、
前記発光層上に第2の電極を形成する工程とを備える表示装置の製造方法。 - 前記配線と異なるレイヤーにおいて前記開口部に形成され、素子間を電気的に接続するブリッジ電極を形成する工程をさらに備える請求項5に記載の表示装置の製造方法。
- 前記ブリッジ電極は、前記ゲート電極と異なるレイヤーに形成される請求項6に記載の表示装置の製造方法。
- 前記分離膜を形成する工程では、少なくとも前記配線上に前記分離膜が形成される請求項5乃至7のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。
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