JP2009117587A - 導電性ボール配置用マスク及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】導電性ボール配置用マスクの本体部に脚部を適切に設ける。
【解決手段】一平面状に張られたスクリーン10と、複数の導電性ボール収容貫通孔23を有する平板状をなし、その縁部においてスクリーン10の一方の面に対して取り付けられた本体部20と、貫通孔対応開口部32を有するとともに本体部20の縁部を越えるはみ出し部36を有する層であって、本体部20に対して重ねられ、はみ出し部36においてスクリーン10の一方の面に対して取り付けられた脚部形成層30と、スクリーン10のうちの本体部20の内側に対応する部分が除去されて形成された本体部対応開口部15とを有する。脚部形成層30によって形成される脚部31においてベース52に対して重ねられ、複数の導電性ボール収容貫通孔23に導電性ボールが収容されることによって、導電性ボールがベース52の所定の位置に配置される。
【選択図】図1
【解決手段】一平面状に張られたスクリーン10と、複数の導電性ボール収容貫通孔23を有する平板状をなし、その縁部においてスクリーン10の一方の面に対して取り付けられた本体部20と、貫通孔対応開口部32を有するとともに本体部20の縁部を越えるはみ出し部36を有する層であって、本体部20に対して重ねられ、はみ出し部36においてスクリーン10の一方の面に対して取り付けられた脚部形成層30と、スクリーン10のうちの本体部20の内側に対応する部分が除去されて形成された本体部対応開口部15とを有する。脚部形成層30によって形成される脚部31においてベース52に対して重ねられ、複数の導電性ボール収容貫通孔23に導電性ボールが収容されることによって、導電性ボールがベース52の所定の位置に配置される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウェハ,パッケージ基板等のベースの所定の位置に導電性ボールを配置するためのマスク及びその製造方法に関するものである。
半導体ウェハ,パッケージ基板等のベースに設けられた複数(多数)の電極に対して各種の電子部品(その接続端子)が接続されるために、例えば、次のようなことが行われている。
ベースに設けられた複数の電極に対して半田ボール(半田によって形成された微小なボール)が各々配置され、その半田ボール(導電性ボール)が配置されたベース全体が加熱されることによって、その各半田ボールが溶解し、それが冷却され固化することによって、その各半田ボールがベースの各電極に対して接着する。
こうして、その半田(半田ボール)が、各電極における接続端子となる。
そして、その各接続端子に対して、各種の電子部品(その接続端子)が接続される。
ベースに設けられた複数の電極に対して半田ボール(半田によって形成された微小なボール)が各々配置され、その半田ボール(導電性ボール)が配置されたベース全体が加熱されることによって、その各半田ボールが溶解し、それが冷却され固化することによって、その各半田ボールがベースの各電極に対して接着する。
こうして、その半田(半田ボール)が、各電極における接続端子となる。
そして、その各接続端子に対して、各種の電子部品(その接続端子)が接続される。
上述のようにベースの各電極に対して接続端子を形成する際の一部の工程として、ベースの各電極に対して半田ボールを配置するために、例えば、特許文献1のようなマスク(半田ボール配置用マスク)が使用されている。
そのマスクは、平板状をなし、複数の貫通孔(半田ボール収容貫通孔)を有している。各貫通孔は、ベース(基板)に設けられた各電極に対応して形成されている。
そして、そのマスクがベースに対してセットされ(重ねられ)、そのマスクの上に多数の半田ボールが供給され、その各半田ボールが各貫通孔に収容される。
こうして、各電極に対して半田ボールが配置される。
そのマスクは、平板状をなし、複数の貫通孔(半田ボール収容貫通孔)を有している。各貫通孔は、ベース(基板)に設けられた各電極に対応して形成されている。
そして、そのマスクがベースに対してセットされ(重ねられ)、そのマスクの上に多数の半田ボールが供給され、その各半田ボールが各貫通孔に収容される。
こうして、各電極に対して半田ボールが配置される。
各電極には、予め、フラックス(接着性を有する)が付着されている。そして、その各電極に対して上述のように半田ボールが配置されることによって、そのフラックスによって各電極に対して半田ボールが仮に接着する。
次に、マスクが取り除かれ、温風によってベースとともに半田ボールが加熱される。それによって半田ボールが溶解する。
その後に、ベースとともに半田(半田ボール)が冷却されることによって、半田(半田ボール)が固化する。
こうして、前述したように、その半田(半田ボール)が、電極における接続端子となるのである。
次に、マスクが取り除かれ、温風によってベースとともに半田ボールが加熱される。それによって半田ボールが溶解する。
その後に、ベースとともに半田(半田ボール)が冷却されることによって、半田(半田ボール)が固化する。
こうして、前述したように、その半田(半田ボール)が、電極における接続端子となるのである。
ところで、上述のようにベースに対してマスクがセットされる際に、ベースとマスク(正確には、そのうち半田ボール収容貫通孔が形成された主要部分)との間には、隙間がある方が好ましい。すなわち、マスクはベースから若干浮いている方が好ましい。その理由は次のとおりである。
半導体等を用いた電子装置については、近年ますます小型化及び高密度化が図られており、ベースに設けられた電極間の距離がより短くされようとしている。
このため、ベースに対してマスクをセットしようとする際において、そのマスクが本来の位置から多少でもずれた場合には、予め電極に付着されているフラックス(接着性を有する)がマスクに付着してしまうおそれがあるからである。その場合は、マスクが所定の位置にセットできなかったり、貫通孔が塞がれたり等の種々の弊害が生ずる。
半導体等を用いた電子装置については、近年ますます小型化及び高密度化が図られており、ベースに設けられた電極間の距離がより短くされようとしている。
このため、ベースに対してマスクをセットしようとする際において、そのマスクが本来の位置から多少でもずれた場合には、予め電極に付着されているフラックス(接着性を有する)がマスクに付着してしまうおそれがあるからである。その場合は、マスクが所定の位置にセットできなかったり、貫通孔が塞がれたり等の種々の弊害が生ずる。
このため、マスクには脚部が設けられることがある。すなわち、マスク(そのうち半田ボール収容貫通孔が形成されている主要部分以外の部位)に複数の脚部が設けられ、脚部(その下端部)がベースに対して当接するようにされている。
従来においては、脚部は、例えば、次のように形成されている。
第1の方法として、金属のマスクにおいて、脚部を形成しない部分にエッチングを行うことによって、エッチングを行った部分が本体部とされ、エッチングを行わなかった部分において脚部が形成される、という方法がある。
しかしながら、この方法では、本体部の厚みが均一にはならず、ひいては、レーザによって孔を形成する際において孔の大きさの精度が良くないこととなる。
第1の方法として、金属のマスクにおいて、脚部を形成しない部分にエッチングを行うことによって、エッチングを行った部分が本体部とされ、エッチングを行わなかった部分において脚部が形成される、という方法がある。
しかしながら、この方法では、本体部の厚みが均一にはならず、ひいては、レーザによって孔を形成する際において孔の大きさの精度が良くないこととなる。
第2の方法として、金属からなるマスク(本体部)に対して、合成樹脂又は金属の脚部を接着する方法がある。
しかしながら、この方法では、次の欠点がある。
前述と同様にして、脚部にフラックスが付着した場合には、それを有機溶剤で除去する必要がある。しかし、脚部が合成樹脂の場合は、一般的に、その有機溶剤によって脚部が損傷してしまう。
一方、脚部が金属の場合においては、有機溶剤でその脚部自体が損傷することは回避されるが、その金属の脚部が本体部に対して接着剤で接着されている(接着剤層を介して固定されている)場合には、その接着剤層が損傷し、ひいては、脚部に不都合が生ずる。脚部が本体部に対して溶接によって設けられている場合は、溶接の際の高温によって、本体部等の精度が劣化するおそれがある。
特開2004−327536公報
しかしながら、この方法では、次の欠点がある。
前述と同様にして、脚部にフラックスが付着した場合には、それを有機溶剤で除去する必要がある。しかし、脚部が合成樹脂の場合は、一般的に、その有機溶剤によって脚部が損傷してしまう。
一方、脚部が金属の場合においては、有機溶剤でその脚部自体が損傷することは回避されるが、その金属の脚部が本体部に対して接着剤で接着されている(接着剤層を介して固定されている)場合には、その接着剤層が損傷し、ひいては、脚部に不都合が生ずる。脚部が本体部に対して溶接によって設けられている場合は、溶接の際の高温によって、本体部等の精度が劣化するおそれがある。
本発明は、本体部に脚部を適切に設けることができる導電性ボール配置用マスク及びその製造方法を提供することを課題とする。
上記の課題を解決するために、請求項1に係る発明は、一平面状に張られたスクリーンと、複数の導電性ボール収容貫通孔を有する平板状をなし、その縁部において前記スクリーンの一方の面に対して取り付けられた本体部と、前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層であって、当該本体部に対して重ねられ、当該はみ出し部において前記スクリーンの一方の面に対して取り付けられた脚部形成層と、前記スクリーンに対して前記本体部及び前記脚部形成層が取り付けられた状態で当該スクリーンのうちの当該本体部の内側に対応する部分が除去されて形成された本体部対応開口部とを有し、前記脚部形成層によって形成される脚部においてベースに対して重ねられ、前記複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される、導電性ボール配置用マスクである。
この発明の導電性ボール配置用マスクでは、本体部及び脚部形成層が一平面状に張られたスクリーンに対して取り付けられ、かつ、その両者がスクリーンに取り付けられた状態でスクリーンのうち本体部の内側に対応する部分が除去されて開口部(本体部対応開口部)が形成されていることから、その本体部及び脚部形成層がその一平面状に沿った形状に維持される。
そして、この発明の導電性ボール配置用マスクでは、脚部を形成する脚部形成層が、本体部の縁部を越えるはみ出し部においてスクリーンに対して接着されている。
このため、この導電性ボール配置用マスクがベースに対して重ねられてセットされた際に、はみ出し部又はその近傍にフラックス(ベースの電極に対して予め付着されたフラックス)が付着するおそれが低く、はみ出し部又はその近傍が洗浄される必要が生ずるおそれが低い。
このため、その脚部形成層(はみ出し部)とスクリーンとの接着部分が洗浄のための洗浄剤によって損傷することが防止され、ひいては、この導電性ボール配置用マスクの耐久性が向上するのである。
そして、この発明の導電性ボール配置用マスクでは、脚部を形成する脚部形成層が、本体部の縁部を越えるはみ出し部においてスクリーンに対して接着されている。
このため、この導電性ボール配置用マスクがベースに対して重ねられてセットされた際に、はみ出し部又はその近傍にフラックス(ベースの電極に対して予め付着されたフラックス)が付着するおそれが低く、はみ出し部又はその近傍が洗浄される必要が生ずるおそれが低い。
このため、その脚部形成層(はみ出し部)とスクリーンとの接着部分が洗浄のための洗浄剤によって損傷することが防止され、ひいては、この導電性ボール配置用マスクの耐久性が向上するのである。
請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明の導電性ボール配置用マスクであって、前記脚部形成層は、前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応しない部位に貫通孔部を有する、導電性ボール配置用マスクである。
この発明の導電性ボール配置用マスクでは、請求項1に係る発明の導電性ボール配置用マスクの作用効果に加えて、次の作用効果が得られる。
すなわち、この発明の導電性ボール配置用マスクでは、脚部形成層のうちの本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応しない部位に貫通孔部が形成されているため、この導電性ボール配置用マスクが洗浄剤によって洗浄された際において洗浄剤が本体部と脚部形成層との間の隙間に浸入した場合に、その洗浄剤が貫通孔部からも抜け出る。
このため、その洗浄剤が貫通孔対応開口部(本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応する開口部)から導電性ボール収容貫通孔に流出することが防止又は軽減される。
こうして、この発明の導電性ボール配置用マスクがベースに対して重ねられてセットされた際に、その洗浄剤によってベースの側(すなわち、ベースや、ベースに設けられた電極や、電極に付着されたフラックス)に悪影響を及ぼすことが防止又は軽減される。
すなわち、この発明の導電性ボール配置用マスクでは、脚部形成層のうちの本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応しない部位に貫通孔部が形成されているため、この導電性ボール配置用マスクが洗浄剤によって洗浄された際において洗浄剤が本体部と脚部形成層との間の隙間に浸入した場合に、その洗浄剤が貫通孔部からも抜け出る。
このため、その洗浄剤が貫通孔対応開口部(本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応する開口部)から導電性ボール収容貫通孔に流出することが防止又は軽減される。
こうして、この発明の導電性ボール配置用マスクがベースに対して重ねられてセットされた際に、その洗浄剤によってベースの側(すなわち、ベースや、ベースに設けられた電極や、電極に付着されたフラックス)に悪影響を及ぼすことが防止又は軽減される。
請求項3に係る発明は、平板状の本体部に設けられた脚部においてベースに対して重ねられ、当該本体部に形成された複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される導電性ボール配置用マスクを製造する方法であって、一平面状に張られたスクリーンの一方の面に対して前記本体部を取り付ける本体部取付段階と、前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層であって前記脚部を形成する脚部形成層を当該本体部に対して重ねて、当該はみ出し部において当該脚部形成層を前記スクリーンの一方の面に対して取り付ける脚部形成層取付段階と、前記スクリーンのうちの前記本体部に対応する部分よりも内側の部分を除去して本体部対応開口部を形成するスクリーン除去段階とを有する、導電性ボール配置用マスク製造方法である。
この発明の導電性ボール配置用マスク製造方法では、次のようにして導電性ボール配置用マスクが製造される。
本体部取付段階において、一平面状に張られたスクリーンの一方の面に対して本体部が取り付けられる。
また、脚部形成層取付段階において、脚部形成層が、スクリーンの一方の面に対して取り付けられる。脚部形成層は、本体部に対して重ねられた際に本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに、当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層である。脚部形成層は、そのはみ出し部において、スクリーンの一方の面に対して取り付けられる。
次に、スクリーン除去段階において、スクリーンのうちの本体部に対応する部分よりも内側の部分が除去されて、本体部対応開口部が形成される。
以上のようにして、請求項1に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造される。
本体部取付段階において、一平面状に張られたスクリーンの一方の面に対して本体部が取り付けられる。
また、脚部形成層取付段階において、脚部形成層が、スクリーンの一方の面に対して取り付けられる。脚部形成層は、本体部に対して重ねられた際に本体部の導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに、当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層である。脚部形成層は、そのはみ出し部において、スクリーンの一方の面に対して取り付けられる。
次に、スクリーン除去段階において、スクリーンのうちの本体部に対応する部分よりも内側の部分が除去されて、本体部対応開口部が形成される。
以上のようにして、請求項1に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造される。
なお、本体部取付段階と脚部形成層取付段階とは、同一のタイミングであってもよい。
また、この発明の導電性ボール配置用マスク製造方法における脚部形成層に、請求項2に係る発明の「貫通孔部」が形成されていることによって、請求項2に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造されることとなる。
また、この発明の導電性ボール配置用マスク製造方法における脚部形成層に、請求項2に係る発明の「貫通孔部」が形成されていることによって、請求項2に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造されることとなる。
次に、本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、半導体ウェハ,パッケージ基板等のベース集合体50に対して使用される。ベース集合体50は、最終的には複数のベース52に分割される。ベース集合体50(そのうち分割されて各ベース52となる部分)には、複数(多数)の電極53が設けられている。
図1に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、半導体ウェハ,パッケージ基板等のベース集合体50に対して使用される。ベース集合体50は、最終的には複数のベース52に分割される。ベース集合体50(そのうち分割されて各ベース52となる部分)には、複数(多数)の電極53が設けられている。
図1〜図4に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、スクリーン10に対して、本体部20及び脚部形成層30が固定されて形成されている。この導電性ボール配置用マスクは全体として平板状をしている。
スクリーン10は、合成樹脂又は金属からなる一平面状の網目状をしている。スクリーン10は、四角形の枠12に対して取り付けられている。
スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
スクリーン10には、開口部(本体部対応開口部)15が形成されている。
スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
スクリーン10には、開口部(本体部対応開口部)15が形成されている。
本体部20は、金属からなる平板状をしている。
本体部20は、スクリーン10に対して固定されている。本体部20は、その周縁部において、接着剤によってスクリーン10に対して接着されている。すなわち、本体部20は、その周縁部において、接着剤層28を介してスクリーン10に対して接着されている。
スクリーン10の本体部対応開口部15(前述)は、本体部20の内側(接着剤層28の内側)に形成されている。
本体部20は、スクリーン10に対して固定されている。本体部20は、その周縁部において、接着剤によってスクリーン10に対して接着されている。すなわち、本体部20は、その周縁部において、接着剤層28を介してスクリーン10に対して接着されている。
スクリーン10の本体部対応開口部15(前述)は、本体部20の内側(接着剤層28の内側)に形成されている。
本体部20には、複数の導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されている。この実施形態では、4つの導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されている。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22は、ベース集合体50(図1)のうちの各ベース52(前述のように分割されて各ベース52となる部分)に対応している。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22には、複数(多数)の導電性ボール収容貫通孔23が形成されている。各導電性ボール収容貫通孔23は、ベース集合体50(図1)における各ベース52に該当する部分の各電極53に対応している。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22は、ベース集合体50(図1)のうちの各ベース52(前述のように分割されて各ベース52となる部分)に対応している。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22には、複数(多数)の導電性ボール収容貫通孔23が形成されている。各導電性ボール収容貫通孔23は、ベース集合体50(図1)における各ベース52に該当する部分の各電極53に対応している。
脚部形成層30は、金属又は合成樹脂からなる平板状をしている。合成樹脂の場合は、有機溶剤(後述)に対する耐性を有するものが選ばれる。
脚部形成層30は、本体部20に対して重ねられている。
脚部形成層30は、本体部20よりも若干大きな平板状をしており、その周縁部は、はみ出し部36とされている。すなわち、脚部形成層30のうち、はみ出し部36が、本体部20からはみ出ている。
脚部形成層30は、はみ出し部36において、接着剤によってスクリーン10に対して接着されている。すなわち、脚部形成層30は、本体部20に対しては単に接触状態で重ね合わせられているのみであり、はみ出し部36において、接着剤層38を介してスクリーン10に対して接着されている。
すなわち、脚部形成層30は、はみ出し部36以外においては、本体部20と当接(面的な接触)しているのであるが、両者は単に接触しているのみであり、接着剤によって接着されてはいない。
脚部形成層30は、本体部20に対して重ねられている。
脚部形成層30は、本体部20よりも若干大きな平板状をしており、その周縁部は、はみ出し部36とされている。すなわち、脚部形成層30のうち、はみ出し部36が、本体部20からはみ出ている。
脚部形成層30は、はみ出し部36において、接着剤によってスクリーン10に対して接着されている。すなわち、脚部形成層30は、本体部20に対しては単に接触状態で重ね合わせられているのみであり、はみ出し部36において、接着剤層38を介してスクリーン10に対して接着されている。
すなわち、脚部形成層30は、はみ出し部36以外においては、本体部20と当接(面的な接触)しているのであるが、両者は単に接触しているのみであり、接着剤によって接着されてはいない。
脚部形成層30には、複数の開口部(貫通孔対応開口部32)が形成されている。各貫通孔対応開口部32は、本体部20の各導電性ボール収容貫通孔集合体22に対応して形成されている。各貫通孔対応開口部32は、各導電性ボール収容貫通孔集合体22よりも大きく形成されている。
こうして、脚部形成層30のうちの貫通孔対応開口部32以外の部分が、本体部20(この導電性ボール配置用マスク)における脚部31となるのである(図4参照)。
脚部形成層30には、複数の貫通孔部34が形成されている。各貫通孔部34は、貫通孔対応開口部32以外の部分に形成されている。すなわち、各貫通孔部34は、脚部形成層30のうち、本体部20の導電性ボール収容貫通孔集合体22(導電性ボール収容貫通孔23)に対応しない部位に形成されている。
こうして、脚部形成層30のうちの貫通孔対応開口部32以外の部分が、本体部20(この導電性ボール配置用マスク)における脚部31となるのである(図4参照)。
脚部形成層30には、複数の貫通孔部34が形成されている。各貫通孔部34は、貫通孔対応開口部32以外の部分に形成されている。すなわち、各貫通孔部34は、脚部形成層30のうち、本体部20の導電性ボール収容貫通孔集合体22(導電性ボール収容貫通孔23)に対応しない部位に形成されている。
次に、この導電性ボール配置用マスクの製造方法について、図5A−1〜図5Cに基づいて説明する。
図5A−1及び図5A−2に示すように、まず、スクリーン10,本体部20,脚部形成層30が用意される。
当初は、スクリーン10には、本体部対応開口部15(図3等参照)は形成されていない。スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
図5A−1及び図5A−2に示すように、まず、スクリーン10,本体部20,脚部形成層30が用意される。
当初は、スクリーン10には、本体部対応開口部15(図3等参照)は形成されていない。スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
図5A−1・図5A−2→図5Bに示すように、本体部20及び脚部形成層30が、スクリーン10に対して接着される。
その手順としては、本体部20がスクリーン10に対して接着された後に、脚部形成層30がスクリーン10に対して接着されてもよいし、本体部20と脚部形成層30とが重ねられた状態で両者がほぼ同時にスクリーン10に対して接着されてもよい。
本体部20は、その周縁部に付着された接着剤(接着剤層28)によって、スクリーン10に対して接着(固定)される。
脚部形成層30は、本体部20に対して接触状態で重ねられつつ、はみ出し部36に付着された接着剤(接着剤層38)によって、スクリーン10に対して接着(固定)される。
その手順としては、本体部20がスクリーン10に対して接着された後に、脚部形成層30がスクリーン10に対して接着されてもよいし、本体部20と脚部形成層30とが重ねられた状態で両者がほぼ同時にスクリーン10に対して接着されてもよい。
本体部20は、その周縁部に付着された接着剤(接着剤層28)によって、スクリーン10に対して接着(固定)される。
脚部形成層30は、本体部20に対して接触状態で重ねられつつ、はみ出し部36に付着された接着剤(接着剤層38)によって、スクリーン10に対して接着(固定)される。
その接着剤(接着剤層28,38)が固化した後に、図5B→図5Cに示すように、スクリーン10に本体部対応開口部15が形成される。すなわち、スクリーン10のうちの本体部20の内側(正確には、その接着剤層28の内側)に対応する部分が除去され、その部分に本体部対応開口部15が形成される(図1も参照)。
こうして、本体部20及び脚部形成層30にその2次元の両方向に張力が発生し、本体部20及び脚部形成層30が一平面状とされる。
以上のようにして、前述した導電性ボール配置用マスクが製造されるのである。
こうして、本体部20及び脚部形成層30にその2次元の両方向に張力が発生し、本体部20及び脚部形成層30が一平面状とされる。
以上のようにして、前述した導電性ボール配置用マスクが製造されるのである。
次に、この導電性ボール配置用マスクの使用方法について説明する。
図1及び図4に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、ベース集合体50(ベース52)に対して、脚部31(図4)において載置されてセットされる。
こうして、この導電性ボール配置用マスクがベース集合体50(ベース52)に対して重ねられてセットされた状態で、この導電性ボール配置用マスクのうちの主要部分(すなわち、導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されている部分)は、ベース集合体50(ベース52)に対して接触せず、両者の間には隙間が生ずる。
図1及び図4に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、ベース集合体50(ベース52)に対して、脚部31(図4)において載置されてセットされる。
こうして、この導電性ボール配置用マスクがベース集合体50(ベース52)に対して重ねられてセットされた状態で、この導電性ボール配置用マスクのうちの主要部分(すなわち、導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されている部分)は、ベース集合体50(ベース52)に対して接触せず、両者の間には隙間が生ずる。
その状態で、この導電性ボール配置用マスクの上面に多数の半田ボールB(導電性ボール)が供給される。そして、それら半田ボールBがブラシ又はスキージ等で移動されることによって、各導電性ボール収容貫通孔23に各半田ボールBが収容され、ベース52に設けられた電極53に対して各半田ボールBが配置される。各電極53には予めフラックス(接着性を有する)が付着されており、そのフラックスによって、各半田ボールBは各電極53に対して仮に接着する。
その後、ベース集合体50(ベース52)からこの導電性ボール配置用マスクが取り除かれ、温風によってベース集合体50(ベース52)とともに半田ボールBが加熱される。それによって半田ボールBが溶解する。
その後に、ベース集合体50(ベース52)とともにその半田(半田ボールB)が冷却されることによって、その半田(半田ボールB)が固化する。
こうして、その半田(半田ボールB)が、電極53における接続端子となる。
その後に、ベース集合体50(ベース52)とともにその半田(半田ボールB)が冷却されることによって、その半田(半田ボールB)が固化する。
こうして、その半田(半田ボールB)が、電極53における接続端子となる。
次に、この導電性ボール配置用マスクの作用効果について説明する。
この導電性ボール配置用マスクでは、図2〜図4等に基づいて前述したように脚部形成層30によって脚部31(図4)が形成されているのであるが、その脚部形成層30は、本体部20からはみ出したはみ出し部36においてのみスクリーン10に対して接着されている。
また、前述したように、ベース集合体50(ベース52)の電極53には予めフラックスが付着されるのであるが、その電極53には、導電性ボール配置用マスクの本体部20に形成された導電性ボール収容貫通孔23が対応する。
このため、電極53に予め付着されたフラックスが、脚部形成層30のうちのはみ出し部36又はその近傍に付着するおそれは低い。すなわち、各電極53には、この導電性ボール配置用マスクの導電性ボール収容貫通孔23が対応するのであり(このことは上述)、はみ出し部36は、この導電性ボール配置用マスクのうち、各電極53から最も離隔する位置にあるからである。
この導電性ボール配置用マスクでは、図2〜図4等に基づいて前述したように脚部形成層30によって脚部31(図4)が形成されているのであるが、その脚部形成層30は、本体部20からはみ出したはみ出し部36においてのみスクリーン10に対して接着されている。
また、前述したように、ベース集合体50(ベース52)の電極53には予めフラックスが付着されるのであるが、その電極53には、導電性ボール配置用マスクの本体部20に形成された導電性ボール収容貫通孔23が対応する。
このため、電極53に予め付着されたフラックスが、脚部形成層30のうちのはみ出し部36又はその近傍に付着するおそれは低い。すなわち、各電極53には、この導電性ボール配置用マスクの導電性ボール収容貫通孔23が対応するのであり(このことは上述)、はみ出し部36は、この導電性ボール配置用マスクのうち、各電極53から最も離隔する位置にあるからである。
ここで、電極53に予め付着されたフラックスが導電性ボール配置用マスクに付着した場合は、それを有機溶剤で除去する必要がある。
しかし、上述のように電極53に付着されたフラックスが脚部形成層30のうちのはみ出し部36に付着するおそれは低いため、有機溶剤がはみ出し部36とスクリーン10との間の接着剤層38に及ぶおそれは低く(すなわち、その接着剤層38に有機溶剤が及ばざるを得ない必要性は低く)、その接着剤層38が有機溶剤によって損傷することが防止され、ひいては、この導電性ボール配置用マスクの耐久性が向上するのである。
しかし、上述のように電極53に付着されたフラックスが脚部形成層30のうちのはみ出し部36に付着するおそれは低いため、有機溶剤がはみ出し部36とスクリーン10との間の接着剤層38に及ぶおそれは低く(すなわち、その接着剤層38に有機溶剤が及ばざるを得ない必要性は低く)、その接着剤層38が有機溶剤によって損傷することが防止され、ひいては、この導電性ボール配置用マスクの耐久性が向上するのである。
また、上述のように、電極53に付着されたフラックスが導電性ボール配置用マスクに付着した場合は、それを有機溶剤で除去する必要がある。そして、この導電性ボール配置用マスクでは、本体部20と脚部形成層30とは接着されておらず接触しているのみであることから、両者の間には隙間が生じないようにされてはいるものの、仮に多少でも隙間が存在する場合には、有機溶剤が両者の間の隙間に浸入する可能性もあり得る。
その際は、この導電性ボール配置用マスクがベース52に対してセットされた際に、その有機溶剤が導電性ボール収容貫通孔23から流出してベース52に対して悪影響を及ぼすおそれもあり得ることとなる。
しかしながら、この導電性ボール配置用マスクは、貫通孔部34を有しているために、有機溶剤は、その貫通孔部34からも流出する。
このため、その有機溶剤が開口部から流出することが防止又は軽減されるのである。
こうして、ベース52に悪影響を及ぼすことが防止又は軽減される。
その際は、この導電性ボール配置用マスクがベース52に対してセットされた際に、その有機溶剤が導電性ボール収容貫通孔23から流出してベース52に対して悪影響を及ぼすおそれもあり得ることとなる。
しかしながら、この導電性ボール配置用マスクは、貫通孔部34を有しているために、有機溶剤は、その貫通孔部34からも流出する。
このため、その有機溶剤が開口部から流出することが防止又は軽減されるのである。
こうして、ベース52に悪影響を及ぼすことが防止又は軽減される。
なお、上記のものはあくまで本発明の一実施形態にすぎず、当業者の知識に基づいて種々の変更を加えた態様で本発明を実施できることはもちろんである。
例えば、本体部20には、1つの導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されているという態様もある。その場合は、その導電性ボール配置用マスクは、後ほど分割されないベースに対して使用される。
10 スクリーン
15 本体部対応開口部
20 本体部
23 導電性ボール収容貫通孔
28 接着剤層
30 脚部形成層
31 脚部
32 貫通孔対応開口部
34 貫通孔部
36 はみ出し部
38 接着剤層
52 ベース
B 半田ボール(導電性ボール)
15 本体部対応開口部
20 本体部
23 導電性ボール収容貫通孔
28 接着剤層
30 脚部形成層
31 脚部
32 貫通孔対応開口部
34 貫通孔部
36 はみ出し部
38 接着剤層
52 ベース
B 半田ボール(導電性ボール)
Claims (3)
- 一平面状に張られたスクリーンと、
複数の導電性ボール収容貫通孔を有する平板状をなし、その縁部において前記スクリーンの一方の面に対して取り付けられた本体部と、
前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層であって、当該本体部に対して重ねられ、当該はみ出し部において前記スクリーンの一方の面に対して取り付けられた脚部形成層と、
前記スクリーンに対して前記本体部及び前記脚部形成層が取り付けられた状態で当該スクリーンのうちの当該本体部の内側に対応する部分が除去されて形成された本体部対応開口部と
を有し、前記脚部形成層によって形成される脚部においてベースに対して重ねられ、前記複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される、
導電性ボール配置用マスク。 - 請求項1に記載の導電性ボール配置用マスクであって、
前記脚部形成層は、前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応しない部位に貫通孔部を有する、
導電性ボール配置用マスク。 - 平板状の本体部に設けられた脚部においてベースに対して重ねられ、当該本体部に形成された複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される導電性ボール配置用マスクを製造する方法であって、
一平面状に張られたスクリーンの一方の面に対して前記本体部を取り付ける本体部取付段階と、
前記本体部に対して重ねられた際に当該本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有するとともに当該本体部の縁部を越えるはみ出し部を有する層であって前記脚部を形成する脚部形成層を当該本体部に対して重ねて、当該はみ出し部において当該脚部形成層を前記スクリーンの一方の面に対して取り付ける脚部形成層取付段階と、
前記スクリーンのうちの前記本体部に対応する部分よりも内側の部分を除去して本体部対応開口部を形成するスクリーン除去段階と
を有する、導電性ボール配置用マスク製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007288459A JP2009117587A (ja) | 2007-11-06 | 2007-11-06 | 導電性ボール配置用マスク及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009117587A true JP2009117587A (ja) | 2009-05-28 |
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ID=40784386
Family Applications (1)
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JP2007288459A Pending JP2009117587A (ja) | 2007-11-06 | 2007-11-06 | 導電性ボール配置用マスク及びその製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009117587A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106057726A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-10-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种小尺寸掩膜板固定装置 |
-
2007
- 2007-11-06 JP JP2007288459A patent/JP2009117587A/ja active Pending
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