JP4190021B1 - 導電性ボール配置用マスク及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板状をなし、複数の導電性ボール収容貫通孔23を有する本体部20と、平板状をなすとともに本体部20の導電性ボール収容貫通孔23に対応する貫通孔対応開口部32を有し、本体部20のうちのベースの側に配設された脚部形成層30とを有し、脚部形成層30が、酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする合成樹脂によって形成されている。
【選択図】図1
Description
ベースに設けられた複数の電極に対して半田ボール(半田によって形成された微小なボール)が各々配置され、その半田ボール(導電性ボール)が配置されたベース全体が加熱されることによって、その各半田ボールが溶解し、それが冷却され固化することによって、その各半田ボールがベースの各電極に対して接着する。
こうして、その半田(半田ボール)が、各電極における接続端子となる。
そして、その各接続端子に対して、各種の電子部品(その接続端子)が接続される。
そのマスクは、平板状をなし、複数の貫通孔(半田ボール収容貫通孔)を有している。各貫通孔は、ベース(基板)に設けられた各電極に対応して形成されている。
そして、そのマスクがベースに対してセットされ(重ねられ)、そのマスクの上に多数の半田ボールが供給され、その各半田ボールが各貫通孔に収容される。
こうして、各電極に対して半田ボールが配置される。
次に、マスクが取り除かれ、温風によってベースとともに半田ボールが加熱される。それによって半田ボールが溶解する。
その後に、ベースとともに半田(半田ボール)が冷却されることによって、半田(半田ボール)が固化する。
こうして、前述したように、その半田(半田ボール)が、電極における接続端子となるのである。
半導体等を用いた電子装置については、近年ますます小型化及び高密度化が図られており、ベースに設けられた電極間の距離がより短くされようとしている。
このため、ベースに対してマスクをセットしようとする際において、そのマスクが本来の位置から多少でもずれた場合には、予め電極に付着されているフラックス(接着性を有する)がマスクに付着してしまうおそれがあるからである。その場合は、マスクが所定の位置にセットできなかったり、貫通孔が塞がれたり等の種々の弊害が生ずる。
第1の方法として、金属のマスクにおいて、脚部を形成しない部分にエッチングを行うことによって、エッチングを行った部分が本体部とされ、エッチングを行わなかった部分において脚部が形成される、という方法がある。
しかしながら、この方法では、本体部の厚みが均一にはならず、ひいては、レーザによって孔を形成する際において孔の大きさの精度が良くないこととなる。
しかしながら、この方法では、次の欠点がある。
前述と同様にして、脚部にフラックスが付着した場合には、それを有機溶剤で除去する必要がある。しかし、脚部が合成樹脂の場合は、一般的に、その有機溶剤によって脚部が損傷してしまう。こうして、脚部の寿命が短いものとなり、導電性ボール配置用マスクとしても、長期間にわたって使用することができない。
一方、脚部が金属の場合においては、有機溶剤でその脚部自体が損傷することは回避されるが、その金属の脚部が本体部に対して接着剤で接着されている(接着剤層を介して固定されている)場合には、その接着剤層が損傷し、ひいては、脚部に不都合が生ずる。脚部が本体部に対して溶接によって設けられている場合は、溶接の際の高温によって、本体部等の精度が劣化するおそれがある。
なぜなら、脚部の厚さ(高さ)が同一でないと、まずは、一般的に、本体部(導電性ボール配置用マスク)が安定的にベースに対してセットされないからである。
すなわち、脚部にフラックスが付着した場合には、それを有機溶剤で除去する必要があるのであるが、脚部が上述の樹脂であるため、有機溶剤に対する耐性が高い。このため、脚部が有機溶剤によって損傷しない、又は、損傷しにくい。
このため、この発明の導電性ボール配置用マスクは、長期間にわたって使用することが可能である。
このことは、請求項4に係る発明においても同様である。
すなわち、脚部にフラックスが付着した場合には、それを有機溶剤で除去する必要があるのであるが、脚部が上述の樹脂であるため、有機溶剤に対する耐性が高い。このため、脚部が有機溶剤によって損傷しない、又は、損傷しにくい。
このため、この発明の導電性ボール配置用マスクは、長期間にわたって使用することが可能である。
「(ポリ)酢酸ビニルを主成分として含む光硬化性樹脂材」のうち特に好適な例として、水と(ポリ)酢酸ビニル樹脂成分との質量比が60:40〜65:35のものがある。
光硬化性樹脂材塗布段階においては、光を受けることによって硬化する光硬化性樹脂材が本体部に対して塗布されて、本体部に対して光硬化性樹脂材層が形成される。
ここで、その光硬化樹脂材は、(ポリ)酢酸ビニルを主成分として含み、光を受けることによって酢酸ビニルの重合体を主成分とする硬化樹脂体となるものである。
フォトマスク配設段階においては、脚部に対応する部分が光の透過を許容する光透過部であり、それ以外の部分が光の透過を阻止する光透過阻止部であるフォトマスクが光硬化性樹脂材層に対して配設されて、フォトマスク配設体が形成される。
光照射段階においては、フォトマスクの側からフォトマスク配設体に対して光が照射されて、光硬化性樹脂材層のうちの光透過部に対応する部分が硬化する。すなわち、酢酸ビニルの重合体を主成分とする硬化樹脂体となる。
フォトマスク除去段階においては、フォトマスク配設体からフォトマスクが除去されフォトマスク除去体が形成される。
光硬化性樹脂材層未硬化部分除去段階においては、フォトマスク除去体における光硬化性樹脂材層のうちの未硬化部分が除去される。
こうして、請求項1に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造される。
光硬化性樹脂材塗布段階においては、光を受けることによって硬化する光硬化性樹脂材が本体部に対して塗布されて、本体部に対して光硬化性樹脂材層が形成される。
ここで、その光硬化樹脂材は、(ポリ)酢酸ビニル及び(ポリ)ビニルアルコールを主成分として含み、光を受けることによって酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする硬化樹脂体となるものである
フォトマスク配設段階においては、脚部に対応する部分が光の透過を許容する光透過部であり、それ以外の部分が光の透過を阻止する光透過阻止部であるフォトマスクが光硬化性樹脂材層に対して配設されて、フォトマスク配設体が形成される。
光照射段階においては、フォトマスクの側からフォトマスク配設体に対して光が照射されて、光硬化性樹脂材層のうちの光透過部に対応する部分が硬化する。すなわち、酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする硬化樹脂体となる。
フォトマスク除去段階においては、フォトマスク配設体からフォトマスクが除去されフォトマスク除去体が形成される。
光硬化性樹脂材層未硬化部分除去段階においては、フォトマスク除去体における光硬化性樹脂材層のうちの未硬化部分が除去される。
こうして、請求項2に係る発明の導電性ボール配置用マスクが容易に製造される。
すなわち、光硬化性樹脂材塗布段階においては、本体部のうちの上面(光硬化性樹脂材層が配設される面)に載置され相互に離隔して並行して延びその長さ方向に沿って同一の高さを有する一対の塗布案内具の間に流動性を有する光硬化性樹脂材が供給され、両塗布案内具の上面の間にわたって差し渡された均し具が両塗布案内具の長さ方向に沿って移動される。こうして、光硬化性樹脂材が均一な厚みで本体部に対して塗布され、光硬化性樹脂材層が均一の厚みで形成される。
このため、この発明の導電性ボール配置用マスク製造方法では、脚部の高さが均一なものとされる。
図1に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、半導体ウェハ,パッケージ基板等のベース集合体100に対して使用される。ベース集合体100は、最終的には複数のベース102に分割される。ベース集合体100(そのうち分割されて各ベース102となる部分)には、複数(多数)の電極103が設けられている。
スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
スクリーン10には、開口部(本体部対応開口部15)が形成されている。
本体部20は、スクリーン10に対して固定されている。本体部20は、その周縁部において、接着剤によってスクリーン10に対して接着されている。すなわち、本体部20は、その周縁部において、接着剤層28を介してスクリーン10に対して接着されている。
スクリーン10の本体部対応開口部15(前述)は、本体部20の内側(接着剤層28の内側)に形成されている。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22は、ベース集合体100(図1)のうちの各ベース102(前述のように分割されて各ベース102となる部分)に対応している。
各導電性ボール収容貫通孔集合体22には、複数(多数)の導電性ボール収容貫通孔23が形成されている。各導電性ボール収容貫通孔23は、ベース集合体100(図1)における各ベース102に該当する部分の各電極103に対応している。
そして、いずれにしても、この脚部形成層30は、その材質によって、有機溶剤に対する耐性を有している。すなわち、有機溶剤が付着しても損傷しない(又は損傷しにくい)材質のものである。これらのことは、後に詳述する。
脚部形成層30は、本体部20に対して接着している。
脚部形成層30は、本体部20よりも若干小さい平板状、又は、本体部20とほぼ同一の大きさを有する平板状をしている(各図においては、ほぼ同一の大きさの場合が示されている)。
こうして、脚部形成層30のうちの貫通孔対応開口部32以外の部分が、本体部20(この導電性ボール配置用マスク)における脚部31となるのである。
図4(a)に示すように、まず、スクリーン10及び本体部20が用意され、本体部20がスクリーン10に対して接着剤(接着剤層28)によって接着(固定)される。
当初は、スクリーン10には、本体部対応開口部15(図3等参照)は形成されていない。スクリーン10は、その2次元の両方向に引っ張られた状態で枠12に対して取り付けられている。こうして、スクリーン10には、その2次元の両方向に所定の張力が存在している。
こうして、本体部20にその2次元の両方向に張力が発生し、本体部20が一平面状とされる。
また、「本体部20がスクリーン10に対して取り付けられ、スクリーン10に本体部対応開口部15が形成された後に、本体部20に導電性ボール収容貫通孔23(導電性ボール収容貫通孔集合体22)が形成される」場合として、本体部20がスクリーン10に対して取り付けられ、スクリーン10に本体部対応開口部15が形成された後であって、本体部20に対して脚部形成層30が設けられる前に、本体部20に導電性ボール収容貫通孔23(導電性ボール収容貫通孔集合体22)が形成されてもよいし、同じく、本体部20がスクリーン10に対して取り付けられ、スクリーン10に本体部対応開口部15が形成された後であって、本体部20に対して脚部形成層30が設けられた後に、本体部20に導電性ボール収容貫通孔23(導電性ボール収容貫通孔集合体22)が形成されてもよい。
光硬化性樹脂材45のうちの水と(ポリ)酢酸ビニルと(ポリ)ビニルアルコールとの成分割合(質量)の好適な例としては、60〜65:20〜25:10〜15がある。
この実施形態において、光硬化性樹脂材45のうちの水と(ポリ)酢酸ビニルとの成分割合(質量)の好適な例としては、60〜65:35〜40がある。
各塗布案内具48は、帯板状をしている。各塗布案内具48は、長方形又は正方形状の本体部20の相対向する一対の辺部の近傍に載置される。各塗布案内具48は、当該辺部に沿うようにして並行して配設される。
両塗布案内具48は、その長さ方向に沿って同一の高さを有している。すなわち、各塗布案内具48は、いずれの長さ位置においても同一高さを有しているとともに、それが両塗布案内具48において同一の高さである。
均し具49は、両塗布案内具48の間の距離以上の長さを有する棒状をしている。断面形状は円形状でも四角形状でもよい。
そして、均し具49が両塗布案内具48の上面の間にわたって差し渡され、均し具49が両塗布案内具48の一端部から他端部に向けて、長さ方向に沿って移動(両塗布案内具48に対して摺動)されることによって、光硬化性樹脂材45が均される。すなわち、光硬化性樹脂材45が均等の厚みで塗布されることとなる。
このようにして、図4(b)に示すように、本体部20の上面に、均等な厚さの光硬化性樹脂材層40が形成される。
こうして、導電性ボール収容貫通孔23からの空気の逃げ場がなくなり、導電性ボール収容貫通孔23内に光硬化性樹脂材45が入ることが防止される。また、仮に光硬化性樹脂材45が導電性ボール収容貫通孔23内に入った場合でも、後述のようにフォトマスク除去体が水の中に浸漬される段階において、その光硬化性樹脂材45が除去される。
フォトマスク50は、両塗布案内具48(図5)の上面の間にわたって差し渡されるように載置されることによって、光硬化性樹脂材層40の上に配設される。
図4(c)〜(f)に示すように、フォトマスク50(図4(c))のうち、脚部形成層30の脚部31(図4(f))に対応する部分が光透過部51であり、それ以外の部分が光透過阻止部52である。光透過部51は、光(紫外線)の透過を許容する。光透過阻止部52は、光(紫外線)の透過を阻止する。
なお、本体部20及びフォトマスク50のうち各々相互に対応する位置に複数の位置決め用標識(図示省略)が設けられており、それら各位置決め用標識同士が合致するように、フォトマスク50が光硬化性樹脂材層40の上に配設される。
これによって、フォトマスク50のうちの光透過部51を光が透過し、光硬化性樹脂材層40のうちの光透過部51に対応する部分に光が到達し、図4(d)に示すように、その部分が、硬化するとともに本体部20に対して強固に固着する。こうして、脚部31が形成される。
一方、光硬化性樹脂材層40のうちの光透過阻止部52に対応する部分には光が到達せず、その部分は硬化しない。それを未硬化部分42ということとする。
こうして、図4(f)に示すように、光硬化性樹脂材層40のうちの未硬化部分42が溶解し、貫通孔対応開口部32が形成される。この段階が、光硬化性樹脂材層未硬化部分除去段階である。
このようにして、脚部形成層30が形成される。
以上のようにして、前述した導電性ボール配置用マスクが製造されるのである。
その際においても、本体部20に対して脚部形成層30が設けられる前に本体部20に導電性ボール収容貫通孔23(導電性ボール収容貫通孔集合体22)が形成されてもよいし、本体部20に対して脚部形成層30が設けられた後に本体部20に導電性ボール収容貫通孔23(導電性ボール収容貫通孔集合体22)が形成されてもよい。
図1及び図2に示すように、この導電性ボール配置用マスクは、ベース集合体100(ベース102)に対して、脚部31(図2)において載置されてセットされる。
こうして、この導電性ボール配置用マスクがベース集合体100(ベース102)に対して重ねられてセットされた状態で、この導電性ボール配置用マスクのうちの主要部分(すなわち、導電性ボール収容貫通孔集合体22が形成されている部分)は、ベース集合体100(ベース102)に対して接触せず、両者の間には隙間が生ずる。
その後に、ベース集合体100(ベース102)とともにその半田(半田ボールB)が冷却されることによって、その半田(半田ボールB)が固化する。
こうして、その半田(半田ボールB)が、電極103における接続端子となる。
この導電性ボール配置用マスクでは、図2及び図3等に基づいて前述したように脚部形成層30によって脚部31が形成されているのであるが、その脚部形成層30(脚部31)は、酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする合成樹脂(又は、酢酸ビニルの重合体を主成分とする合成樹脂)によって形成されており、有機溶剤に対する耐性を有している。
ここで、前述したように、電極103に予め付着されたフラックスが導電性ボール配置用マスクに付着した場合は、それを有機溶剤で除去する必要がある。
しかしながら、上述したように、脚部形成層30(脚部31)の材質は有機溶剤に対する耐性を有しているため、この導電性ボール配置用マスクは、長期間にわたって使用され得るのである。
すなわち、流動性を有する状態の感光性樹脂材45が均し具49によって均された後に、その感光性樹脂層40の一部が光(紫外線)の照射を受けて硬化することによって形成される。
このため、この導電性ボール配置用マスクの脚部形成層30の厚みは均一であり、すべての脚部31は同一の高さを有している。
このため、この導電性ボール配置用マスクは、ベース集合体100(ベース102)に安定的に載置(セット)される。
それとともに、本体部20の厚みが均一であることを前提に、この導電性ボール配置用マスクの高さが均一となる。
このため、この導電性ボール配置用マスクでは、円滑に半田ボールBを所定の位置に配置することができるのである。
23 導電性ボール収容貫通孔
30 脚部形成層
31 脚部
32 貫通孔対応開口部
40 光硬化樹脂材層
42 未硬化部分
45 光硬化樹脂材
48 塗布案内具
49 均し具
50 フォトマスク
51 光透過部
52 光透過阻止部
102 ベース
B 半田ボール(導電性ボール)
Claims (5)
- 導電性ボール収容貫通孔を有し、ベースに対して重ねられた状態で当該導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって、当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置されるマスクであって、
平板状をなし、前記複数の導電性ボール収容貫通孔を有する本体部と、
平板状をなすとともに前記本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有し、前記本体部のうちの前記ベースの側に配設された脚部形成層と
を有し、
前記脚部形成層が、酢酸ビニルの重合体を主成分とする合成樹脂によって形成されている、
導電性ボール配置用マスク。 - 導電性ボール収容貫通孔を有し、ベースに対して重ねられた状態で当該導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって、当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置されるマスクであって、
平板状をなし、前記複数の導電性ボール収容貫通孔を有する本体部と、
平板状をなすとともに前記本体部の前記導電性ボール収容貫通孔に対応する貫通孔対応開口部を有し、前記本体部のうちの前記ベースの側に配設された脚部形成層と
を有し、
前記脚部形成層が、酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする合成樹脂によって形成されている、
導電性ボール配置用マスク。 - 平板状の本体部に設けられた脚部においてベースに対して重ねられ、当該本体部に形成された複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される導電性ボール配置用マスクを製造する方法であって、
光を受けることによって硬化する光硬化性樹脂材を前記本体部に対して塗布して当該本体部に光硬化性樹脂材層を形成する光硬化性樹脂材塗布段階と、
前記脚部に対応する部分が光の透過を許容する光透過部であり、それ以外の部分が光の透過を阻止する光透過阻止部であるフォトマスクを前記光硬化性樹脂材層に対して配設してフォトマスク配設体を形成するフォトマスク配設段階と、
前記フォトマスクの側から前記フォトマスク配設体に対して光を照射して、前記光硬化性樹脂材層のうちの前記光透過部に対応する部分を硬化させる光照射段階と、
前記フォトマスク配設体から前記フォトマスクを除去してフォトマスク除去体を形成するフォトマスク除去段階と、
前記フォトマスク除去体における前記光硬化性樹脂材層のうちの未硬化部分を除去する光硬化性樹脂材層未硬化部分除去段階とを有し、
前記光硬化性樹脂材が、(ポリ)酢酸ビニルを主成分として含み、光を受けることによって酢酸ビニルの重合体を主成分とする硬化樹脂体となるものである、
導電性ボール配置用マスク製造方法。 - 平板状の本体部に設けられた脚部においてベースに対して重ねられ、当該本体部に形成された複数の導電性ボール収容貫通孔に導電性ボールが収容されることによって当該導電性ボールが前記ベースの所定の位置に配置される導電性ボール配置用マスクを製造する方法であって、
光を受けることによって硬化する光硬化性樹脂材を前記本体部に対して塗布して当該本体部に光硬化性樹脂材層を形成する光硬化性樹脂材塗布段階と、
前記脚部に対応する部分が光の透過を許容する光透過部であり、それ以外の部分が光の透過を阻止する光透過阻止部であるフォトマスクを前記光硬化性樹脂材層に対して配設してフォトマスク配設体を形成するフォトマスク配設段階と、
前記フォトマスクの側から前記フォトマスク配設体に対して光を照射して、前記光硬化性樹脂材層のうちの前記光透過部に対応する部分を硬化させる光照射段階と、
前記フォトマスク配設体から前記フォトマスクを除去してフォトマスク除去体を形成するフォトマスク除去段階と、
前記フォトマスク除去体における前記光硬化性樹脂材層のうちの未硬化部分を除去する光硬化性樹脂材層未硬化部分除去段階とを有し、
前記光硬化性樹脂材が、(ポリ)酢酸ビニル及び(ポリ)ビニルアルコールを主成分として含み、光を受けることによって酢酸ビニル及びビニルアルコールの共重合体を主成分とする硬化樹脂体となるものである、
導電性ボール配置用マスク製造方法。 - 請求項3又は請求項4に記載の導電性ボール配置用マスク製造方法であって、
前記光硬化性樹脂材塗布段階は、
前記本体部のうちの当該光硬化性樹脂材層が配設される面である上面に載置され相互に離隔して並行して延びその長さ方向に沿って同一の高さを有する一対の塗布案内具の間に流動性を有する前記光硬化性樹脂材が供給され、当該両塗布案内具の上面の間にわたって差し渡された均し具が当該両塗布案内具の長さ方向に沿って移動されることによって、当該光硬化性樹脂材が均一な厚みで前記本体部に対して塗布されるものである、
導電性ボール配置用マスク製造方法。
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