JP2009115794A - 試験装置および測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被試験デバイスの消費電流を精度良く測定する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、電圧を配線を介して被試験デバイスに供給する電圧供給部と、配線とコモン電位との間に直列に配置される第１コンデンサと、第１コンデンサより被試験デバイスに近い位置において配線に流れる電流を検出する電流検出部と、電流検出部が検出した電流と予め定められた基準電流との差を積分した積分値を出力する積分部と、積分値に基づき被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。
【選択図】図２

Description

本発明は、試験装置および測定装置に関する。特に本発明は、被試験デバイス（負荷）の消費電流を測定する試験装置および測定装置に関する。

試験装置は、被試験デバイスの動作時における平均消費電流を測定する機能を備える。試験装置は、被試験デバイスに対して駆動電圧を与える電源装置の出力電流を検出して、被試験デバイスの平均消費電流を測定する。

ここで、電源装置は、負荷の消費電流の変化に対する応答が遅い。従って、試験装置は、電源装置の出力電流の応答の遅れを補償することを目的として、電源配線とグランドとの間に比較的に大きな容量のバイパスコンデンサを備える。これにより、試験装置は、消費電流が高速に変化するように被試験デバイスを動作させた場合であっても、被試験デバイスに対して駆動電流を供給することができる。

ところで、試験装置がバイパスコンデンサを備える場合、被試験デバイスの消費電流と、電源装置の出力電流とが一致しない。従って、試験装置は、電源装置の出力電流を検出しても、被試験デバイスの平均消費電流を正確に測定することができない。

そこで、このような問題を解決するべく、被試験デバイスの直近において、当該被試験デバイスに与える駆動電流をサンプリングするＡＤコンバータを備える試験装置が考えられる。しかし、被試験デバイスに供給される駆動電流は高速に変化するので、試験装置は、ＡＤコンバータを高速にサンプリング動作させなければならない。従って、試験装置は、高機能なＡＤコンバータを備えなければならなかった。さらに、取り込むべきデータ数も多くなるので、試験装置は、容量の大きいデータメモリを備えなければならなかった。

また、数百個単位の被試験デバイスを同時に試験する場合、試験装置は、被試験デバイスと同数の電流測定部を備えなければならない。従って、試験装置は、簡単な回路で被試験デバイスの平均消費電流を測定できることが好ましい。

また、被試験デバイスの電流を測定する場合に、測定回路で用いる演算増幅器にオフセットが存在すると、測定誤差の要因になる。よってオフセットを０にするよう調整することが求められる。しかし、個々の演算増幅器は異なるオフセットを持つので、多数の測定チャネルを備える場合には、個々のチャネルの全てについてオフセットを調整しなければならない。よってオフセットによる誤差を自動的かつ同じ動作で調整する技術が求められる。

また、被試験デバイスの初期評価等においては、被試験デバイスが電流試験をパスするかフェイルするかの試験結果の加えて、電流の値を知りたい場合がある。このような場合に簡便に電流値を求める技術が要請される。

そこで本明細書に含まれる技術革新（イノベーション）の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および測定装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

即ち、本明細書に含まれるイノベーションに関連する側面（装置、方法、システム、デバイス、物、等から選択）の第１の例 (exemplary) によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、電圧を配線を介して被試験デバイスに供給する電圧供給部と、配線とコモン電位との間に直列に配置される第１コンデンサと、第１コンデンサより被試験デバイスに近い位置において配線に流れる電流を検出する電流検出部と、電流検出部が検出した電流と予め定められた基準電流との差を積分した積分値を出力する積分部と、積分値に基づき被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。

本明細書に含まれるイノベーションに関連する側面の第２の例によると、負荷に流れる電流を測定する測定装置であって、負荷に電圧を供給する配線とコモン電位との間に直列に配置される第１コンデンサと、第１コンデンサより負荷に近い位置において配線に流れる電流を検出する電流検出部と、電流検出部が検出した電流と予め定められた基準電流との差を積分した積分値を出力する積分部とを備える測定装置を提供する。

本明細書に含まれるイノベーションに関連する側面の第３の例によると、前記した第１の例において、積分部は、電流検出部が検出した電流と基準電流との差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積して、容量成分の両端に発生する積分電圧を積分値として出力する積分回路と、積分回路の入力に生じるフセットを補正するオフセット補正部と、を有する試験装置を提供する。

本明細書に含まれるイノベーションに関連する側面の第４の例によると、前記した第１の例において、積分値を計測するアナログデジタル変換部、をさらに備え、アナログデジタル変換部は、測定周期ごとに積分値を計測したデジタル値を記録する記録部と、一連の計測の前または後に基準電流のみを入力とした場合の計測値で、記録部に記録された測定周期ごとのデジタル値をスケーリングする処理部と、を有する試験装置を提供する。

なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明の（一）側面を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス（ＤＵＴ）２００とともに示す。試験装置１０は、信号発生部１７と、電圧供給部１８と、測定装置２０と、基準電圧発生部２１と、信号取込部２２と、システム制御装置２３とを備え、ＤＵＴ２００を試験する。

ＤＵＴ２００は、一例として、パフォーマンスボード等に載置された状態で、当該試験装置１０により試験される。信号発生部１７は、試験パターンに応じた試験信号をＤＵＴ２００に供給する。

電圧供給部１８は、電圧を配線１２を介してＤＵＴ２００に供給する。電圧供給部１８は、一例として、ＤＵＴ２００の電源端子に、ＤＵＴ２００を駆動させるための電圧を供給してよい。電圧供給部１８は、一例として、配線１２上のＤＵＴ２００の近傍点（検出端１４）において電圧（駆動電圧Ｖｄｄ）を検出して、検出した駆動電圧Ｖｄｄを所定値とするように出力電圧を制御してよい。

測定装置２０は、ＤＵＴ２００の平均消費電流（例えば動作時の平均消費電流）を測定する。そして、測定装置２０は、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいか否か（または小さいか否か）を判定する。なお、測定装置２０は、一例として、パフォーマンスボードおよびＤＵＴ２００が挿入されるソケット等のデバイスインターフェイス部に設けられてよい。

基準電圧発生部２１は、基準電流Ｉ_ＲＥＦを生成するための基準電圧Ｖ_ＲＥＦを発生して、測定装置２０に与える。基準電圧発生部２１は、例えば試験に先立って、システム制御装置２３の制御に応じて、基準電圧Ｖ_ＲＥＦを測定装置２０に与える。

信号取込部２２は、試験信号に応じてＤＵＴ２００から出力される出力信号の良否を判定する。これに加えて、信号取込部２２は、測定装置２０の判定結果に基づいてＤＵＴ２００の良否を判定する。

システム制御装置２３は、内部にプログラムを格納するメモリ、およびプログラムを実行するＣＰＵ等を有する。そして、システム制御装置２３は、信号発生部１７、電圧供給部１８、基準電圧発生部２１および信号取込部２２とデータのやり取りをして、当該試験装置１０の試験動作を制御する。

図２は、本実施形態に係る測定装置２０の構成を電圧供給部１８およびＤＵＴ２００とともに示す。測定装置２０は、第１コンデンサ２４と、第２コンデンサ２６と、電流検出部２８と、積分部３０と、判定部３２と、設定部３４と、制御部３６とを備える。

第１コンデンサ２４は、配線１２とコモン電位との間に直列に配置される。第１コンデンサ２４は、一例として、検出端１４より電圧供給部１８に近い位置において、配線１２に接続されてよい。なお、コモン電位は、一例として、グランド電位であってよく、または、その他の基準電位であってもよい。このような第１コンデンサ２４は、ＤＵＴ２００の消費電流が高速に変化して、電圧供給部１８の出力電流Ｉ_Ｐの応答が遅れた場合に、変化分の消費電流をＤＵＴ２００に供給することができる。

第２コンデンサ２６は、第１コンデンサ２４よりＤＵＴ２００に近い位置において配線１２とコモン電位との間に直列に配置される。第２コンデンサ２６は、一例として、検出端１４よりＤＵＴ２００から遠い位置において、配線１２に接続されてよい。

さらに、第２コンデンサ２６は、容量が、第１コンデンサ２４より小さい。第２コンデンサ２６の容量は、一例として、第１コンデンサ２４の容量の１／１０〜１／１０００程度であってよい。このような第２コンデンサ２６は、配線１２にリップル等の高周波数のノイズが重畳した場合に、当該ノイズをコモン電位（例えばグランド電位）に落とすことができる。従って、第２コンデンサ２６は、ＤＵＴ２００により近い位置において配線１２に接続されることが好ましい。

電流検出部２８は、第１コンデンサ２４よりＤＵＴ２００に近い位置であり、且つ、第２コンデンサ２６よりＤＵＴ２００から遠い位置において、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭを検出する。すなわち、電流検出部２８は、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間の位置において、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭを検出する。

ここで、電流検出部２８は、第１コンデンサ２４よりＤＵＴ２００に近い位置において配線１２に流れる電流を検出するので、電圧供給部１８からＤＵＴ２００に供給される電流と第１コンデンサ２４からＤＵＴ２００に供給される電流とを加算した電流を検出することができる。すなわち、電流検出部２８は、ＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉ_ＤＤに一致する電流を検出することができる。従って、電流検出部２８は、ＤＵＴ２００の消費電流の変化に対する電圧供給部１８の出力電流Ｉ_Ｐの応答が遅れて、ＤＵＴ２００の消費電流と電圧供給部１８の出力電流Ｉ_Ｐとが一致しなくなった場合であっても、ＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉ_ＤＤを正確に検出することができる。

なお、第２コンデンサ２６も、第１コンデンサ２４と同様に、ＤＵＴ２００の消費電流が高速に変動した場合、ＤＵＴ２００に電流を供給する。しかし、第１コンデンサ２４の容量は第２コンデンサ２６の容量より大きいので、第２コンデンサ２６からＤＵＴ２００に供給される電流よりも、第１コンデンサ２４からＤＵＴ２００に供給される電流の方が大きい（例えば１０倍から１０００倍）。従って、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭは、ＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉ_ＤＤと略等しいとみなせる。よって、電流検出部２８は、ＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉ_ＤＤを正確に検出することができる。

電流検出部２８は、一例として、検出抵抗４２と、電位差検出部４４とを有してよい。検出抵抗４２は、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間の位置において、配線１２に直列に挿入して配置される。検出抵抗４２は、一例として、数ミリオーム程度の微小抵抗であってよい。電位差検出部４４は、検出抵抗４２の両端間の電位差に比例した検出電圧Ｖ_Ｘを出力する。このような電流検出部２８は、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭに比例した検出電圧Ｖ_Ｘを出力することができる。

電流検出部２８は、以上に代えて、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間の位置において配線１２に直列に挿入して配置されたコイルと、当該コイルに流れる電流を検出する検出部とを有する構成であってもよい。このような電流検出部２８も、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭを検出することができる。

積分部３０は、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと、予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差を積分した積分値を出力する。積分部３０は、一例として、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積してよい。そして、積分部３０は、一例として、電荷が蓄積された容量成分の両端に発生する積分電圧を、積分値として出力してよい。なお、積分部３０の詳細な構成の一例は、図３において説明する。

このような積分部３０は、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差を積分するので、電流Ｉ_ＲＭの平均電流が基準電流Ｉ_ＲＥＦ以下の場合には０より大きくなり、電流Ｉ_ＲＭの平均電流が基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きい場合には０以下となる積分値（積分電圧）を出力する。ここで、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭは、ＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉｄｄと一致する。すなわち、電流Ｉ_ＲＭの平均電流は、ＤＵＴ２００の平均消費電流に一致する。このことから、積分部３０は、ＤＵＴ２００の平均消費電流が基準電流Ｉ_ＲＥＦ以下の場合には０より大きくなり、ＤＵＴ２００の平均消費電流が基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きい場合には０以下となる積分値（積分電圧）を出力することができる。

判定部３２は、積分部３０が出力した積分値に基づきＤＵＴ２００の良否を判定する。判定部３２は、一例として、積分部３０が出力した積分値が所定の閾値（例えば、０）より大きいか否か（または小さいか否か）を比較することにより、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいか否か（または小さいか否か）を判定してよい。判定部３２は、一例として、積分値が正の場合にパス（平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦ以下）、積分値が負の場合にフェイル（平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きい）とする判定結果を出力してよい。

設定部３４は、試験に先立って、基準電流Ｉ_ＲＥＦを積分部３０に設定する。設定部３４は、一例として、ＤＵＴ２００の種類およびグレード等、又は、ＤＵＴ２００の試験内容等に応じて、基準電流Ｉ_ＲＥＦを設定してよい。これにより、測定装置２０は、ＤＵＴ２００の平均消費電流が、例えばＤＵＴ２００の仕様で定められた上限値を超えたか否か（または下限値を下回ったか否か）を判定することができる。

制御部３６は、積分部３０の積分期間を制御する。制御部３６は、一例として、試験開始タイミングにおいて積分部３０の積分を開始させ、試験終了タイミングにおいて積分部３０の積分を終了させる。

さらに、積分部３０が、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積する場合、制御部３６は、試験に先立って、電流検出部２８が蓄積している電荷を容量成分から放電させて、容量成分に蓄積された電荷を０としてよい。これにより、制御部３６は、積分部３０から正確な積分電圧を出力させることができる。

以上のような測定装置２０は、積分値を蓄積するので、保持すべきサンプル値が１つしかなく、例えばデータメモリ等を備えなくてよい。また、測定装置２０によれば、ＤＵＴ２００の消費電流が高速に変動しても、ＤＵＴ２００の平均消費電流と基準電流Ｉ_ＲＥＦとを正確に比較することができる。また、測定装置２０によれば、簡単な回路でＤＵＴ２００の平均消費電流を測定できるので、例えば数百個単位のＤＵＴ２００を同時に試験する場合であっても、装置構成を小さくすることができる。

図３は、本実施形態に係る積分部３０および判定部３２の構成の一例を示す。積分部３０は、一例として、積分回路５０と、基準電流源５２と、電流流入部５４と、放電部５６とを有してよい。また、判定部３２は、一例として、コンパレータ５８を有してよい。

積分回路５０は、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積して、容量成分の両端に発生する積分電圧Ｖ_Ｍを積分値として出力する。積分回路５０は、一例として、演算増幅器６０と、積分コンデンサ６２とを含んでよい。演算増幅器６０は、非反転入力端子がコモン電位に接続される。積分コンデンサ６２は、演算増幅器６０の出力端子と反転入力端子との間に接続される。

このような積分回路５０は、演算増幅器６０の反転入力端子に入力される入力電流に応じた電荷を積分コンデンサ６２に蓄積する。そして、積分回路５０は、電荷を蓄積した積分コンデンサ６２の両端に発生する積分電圧Ｖ_Ｍを出力することができる。なお、積分回路５０は、入力電流の積分結果と正負が反転した積分電圧Ｖ_Ｍを出力する。

基準電流源５２は、演算増幅器６０の反転入力端子から基準電流Ｉ_ＲＥＦを流れ出させる。電流流入部５４は、演算増幅器６０の反転入力端子に対して電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭを流入させる。従って、基準電流源５２および電流流入部５４は、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭから基準電流Ｉ_ＲＥＦを減じた差電流を、入力電流として演算増幅器６０の反転入力端子に与えることができる。

基準電流源５２は、一例として、第１の電圧フォロア回路６４と、第１の基準抵抗６６とを含んでよい。第１の電圧フォロア回路６４は、入力端子に設定部３４から基準電圧−Ｖ_ＲＥＦが与えられ、出力端子から基準電圧−Ｖ_ＲＥＦと同電圧を出力する。第１の基準抵抗６６は、第１の電圧フォロア回路６４の出力端子と演算増幅器６０の反転入力端子との間に接続され、予め定められた抵抗値Ｒ_ＲＥＦ１を有する。このような基準電流源５２は、基準電圧Ｖ_ＲＥＦを抵抗値Ｒ_ＲＥＦ１で除算した基準電流Ｉ_ＲＥＦ（＝Ｖ_ＲＥＦ／Ｒ_ＲＥＦ１）を、演算増幅器６０の反転入力端子から流れ出させることができる。

電流流入部５４は、一例として、第２の電圧フォロア回路６８と、第２の基準抵抗７０とを含んでよい。第２の電圧フォロア回路６８は、入力端子に電流検出部２８から検出電圧Ｖ_Ｘが与えられ、出力端子から検出電圧Ｖ_Ｘと同電圧を出力する。第２の基準抵抗７０は、第２の電圧フォロア回路６８の出力端子と演算増幅器６０の反転入力端子との間に接続され、予め定められた抵抗値Ｒ_ＲＥＦ２を有する。このような電流流入部５４は、検出電圧Ｖ_Ｘを抵抗値Ｒ_ＲＥＦ２で除算した電流Ｉ_ＲＭ（＝Ｖ_Ｘ／Ｒ_ＲＥＦ２）を、演算増幅器６０の反転入力端子に流入させることができる。なお、抵抗値Ｒ_ＲＥＦ２は、一例として、電流検出部２８の検出電圧Ｖ_Ｘと、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭとの関係から予め定められてよい。

放電部５６は、試験に先立って、積分回路５０の積分コンデンサ６２に蓄積された電荷を放電する。放電部５６は、一例として、放電スイッチ７２と、第１の切換スイッチ７４と、第２の切換スイッチ７６とを含んでよい。放電スイッチ７２は、放電時において、積分コンデンサ６２の両端を短絡する。また、放電スイッチ７２は、試験時において、積分コンデンサ６２の両端を開放する。

第１の切換スイッチ７４は、放電時において、第１の電圧フォロア回路６４の入力端子をコモン電位に接続する。第１の切換スイッチ７４は、試験時において、第１の電圧フォロア回路６４の入力端子を基準電圧−Ｖ_ＲＥＦに接続する。第２の切換スイッチ７６は、放電時において、第２の電圧フォロア回路６８の入力端子をコモン電位に接続する。第２の切換スイッチ７６は、試験時において、第２の電圧フォロア回路６８の入力端子を検出電圧Ｖ_Ｘに接続する。

このような放電部５６は、放電時において積分回路５０に蓄積された電荷を放電することができる。また、このような放電部５６は、試験時において、積分回路５０に、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を蓄積させることができる。

コンパレータ５８は、積分回路５０が出力した積分電圧Ｖ_Ｍと、コモン電位（例えばグランド電位）とを比較して、比較結果に応じた判定結果を出力する。すなわち、コンパレータ５８は、積分回路５０が出力した積分電圧Ｖ_Ｍの正負を検出して、正負に応じた判定結果を出力することができる。

コンパレータ５８は、一例として、積分電圧Ｖ_Ｍが正（例えば０以上）の場合、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦ以下であると判断してパスを出力してよい。また、コンパレータ５８は、一例として、積分電圧Ｖ_Ｍが負（例えば０より小さい）の場合、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいと判断してフェイルを出力してよい。このようにコンパレータ５８は、積分回路５０が出力した積分電圧Ｖ_Ｍの正負を検出すればよいので、簡単な構成で良否判定することができる。

図４は、試験時のＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉｄｄ（＝ＤＵＴ２００の消費電流）の一例を示す。試験装置１０は、一例として、試験時において、図４に示されるような駆動電流Ｉｄｄが流れるように、ＤＵＴ２００を動作させてよい。

すなわち、試験装置１０は、試験時において、図４に示されるように、駆動電流Ｉｄｄが０．５０Ａおよび１．００Ａを、４μｓ周期（デューティ５０％）で切り替わるように、ＤＵＴ２００を動作させてよい。この結果、ＤＵＴ２００は、時刻（０μｓ）以降において、平均消費電流が０．７５Ａとなる。なお、図４の例においては、試験装置１０は、時刻（０μｓ）より前において、平均消費電流が０．５０ＡとなるようにＤＵＴ２００を動作させている。

図５は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、電圧供給部１８から出力される出力電流Ｉ_Ｐのシミュレーション結果を示す。なお、図５は、第１コンデンサ２４が３３０μＦ、第２コンデンサ２６が１μＦ、電圧供給部１８から検出端１４までの配線抵抗が５ｍΩ、検出端１４からＤＵＴ２００までの配線抵抗が５ｍΩであり、且つ、検出端１４の電圧値を１．２０Ｖとなるように制御した場合のシミュレーション結果を示す。なお、図６〜図９においても同様の条件下でのシミュレーション結果を示す。

図５に示されるように、電圧供給部１８は、ＤＵＴ２００の平均消費電流から応答が遅れた出力電流Ｉ_Ｐを出力する。具体的には、電圧供給部１８は、時刻２００μｓにおいて、ＤＵＴ２００の平均消費電流（０．７５Ａ）に達する出力電流Ｉ_Ｐを出力する。

図６は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、駆動電圧Ｖｄｄのシミュレーション結果を示す。電圧供給部１８は、出力電流Ｉ_Ｐを増加させている期間において、出力電圧を低下させる。そして、電圧供給部１８は、出力電流Ｉ_Ｐが安定化した後において、出力電圧を回復させる。従って、駆動電圧Ｖｄｄは、図６に示されるように、出力電流Ｉ_Ｐが安定化する前（時刻０〜２００（μｓ））において徐々に低下して、出力電流Ｉ_Ｐが安定化した後（時刻２００μｓ以降）において上昇する。

図７は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第１コンデンサ２４に流れる電流Ｉ_ＣＬ１のシミュレーション結果を示す。第１コンデンサ２４に流れる電流Ｉ_ＣＬ１は、駆動電流Ｉｄｄの変動に同期して、振幅が変化する。

また、第１コンデンサ２４は、ＤＵＴ２００の平均消費電流の変化に対して出力電流Ｉ_Ｐの応答が遅れた場合、平均消費電流から出力電流Ｉ_Ｐを減じた不足分の電流を、ＤＵＴ２００に供給する。従って、電圧供給部１８が出力電流Ｉ_Ｐを増加させている期間（時刻２００μｓ以前）において、電流Ｉ_ＣＬ１は、平均値がマイナスとなる。そして、出力電流Ｉ_Ｐが安定化した時刻以降（時刻２００μｓ以降）においては、電流Ｉ_ＣＬ１の平均値は、マイナスから０に向かう。

図８は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第２コンデンサ２６に流れる電流Ｉ_ＣＬ２のシミュレーション結果を示す。第１コンデンサ２４に流れる電流Ｉ_ＣＬ２は、駆動電流Ｉｄｄの変動に同期して、振幅が変化する。ただし、第２コンデンサ２６は、第１コンデンサ２４よりも容量が非常に小さいことから、平均消費電流から出力電流Ｉ_Ｐを減じた不足分の電流をＤＵＴ２００に供給できない。従って、電流Ｉ_ＣＬ２は、ＤＵＴ２００の平均消費電流に変化が生じたとしても、平均値が０となる。

図９は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭのシミュレーション結果を示す。図９に示されるように、電流Ｉ_ＲＭは、全ての時刻において、平均値が０．７５Ａとなっている。すなわち、電圧供給部１８が出力電流Ｉ_Ｐを増加させている期間（時刻２００μｓ以前）も、電流Ｉ_ＲＭは、平均値がＤＵＴ２００の平均消費電流と一致する。

試験装置１０は、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差を積分した積分値に基づき、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいか否かを判定する。従って、試験装置１０は、全ての時刻において、ＤＵＴ２００の平均消費電流が予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいか否かを、精度良く判定することができる。

図１０は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００とともに示す。図１１は、第１変形例に係る試験装置１０のサーチ部８２が設定する基準電流Ｉ_ＲＥＦの一例を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の機能および構成を取るので、図１に示した部材と略同一の構成および機能を有する部材については図中に同一の符号を付けて、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例に係る試験装置１０は、サーチ部８２を更に備えてよい。本変形例においては、配線に流れる電流の電流値を測定する測定プログラムを、システム制御装置２３の内部のＣＰＵが実行することにより、当該システム制御装置２３がサーチ部８２として機能する。サーチ部８２は、バイナリサーチの手法を用いて、直前の試験での判定結果に応じて試験毎に基準電流Ｉ_ＲＥＦを変更して、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭの電流値（絶対値）を決定する。

より詳しくは、まず、サーチ部８２は、測定範囲内の中心の基準電流Ｉ_ＲＥＦを設定する。続いて、サーチ部８２は、当該試験装置１０に試験を実行させる。すなわち、サーチ部８２は、ＤＵＴ２００の平均消費電流が基準電流Ｉ_ＲＥＦより大きいか否かを判定させる。

続いて、サーチ部８２は、得られた判定結果に応じて、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭが測定範囲を基準電流Ｉ_ＲＥＦで上下に分割したいずれの範囲に属するかを決定する。続いて、サーチ部８２は、決定した範囲を新たな測定範囲として、新たな測定範囲内の中心の新たな基準電流Ｉ_ＲＥＦを設定する。そして、サーチ部８２は、以上の処理を複数回繰り返して、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭが属する範囲を絞り込んで、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭの電流値（絶対値）を決定する。

一例として、サーチ部８２は、例えば図１１に表されるように、まず、最初の測定範囲（例えば０Ａ〜１Ａ）内の中心の基準電流Ｉ_ＲＥＦ（例えば０．５Ａ）を設定する。続いて、サーチ部８２は、当該試験装置１０に１回目の試験を実行させる。サーチ部８２は、１回目の試験を実行した結果得られた判定結果（パスまたはフェイル）に応じて、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭが、測定範囲を基準電流Ｉ_ＲＥＦで上下に分割した下側範囲（０Ａ〜０．５Ａ）または上側範囲（０．５Ａ〜１Ａ）のいずれの範囲に属するかを決定する。本例においては、１回目の試験において判定結果がフェイルであるので、サーチ部８２は、電流Ｉ_ＲＭが上側範囲（０．５Ａ〜１Ａ）に属すると決定する。

続いて、サーチ部８２は、決定した範囲（０．５Ａ〜１Ａ）を新たな測定範囲として、新たな測定範囲内の中心の新たな基準電流Ｉ_ＲＥＦ（例えば０．７５Ａ）を設定する。そして、サーチ部８２は、当該試験装置１０に２回目の試験を実行させて、１回目の試験と同様の処理を繰り返す。

サーチ部８２は、３回目以降の試験も同様に実行する。そして、サーチ部８２は、電流Ｉ_ＲＭが属する範囲を絞り込んで、最終的に電流Ｉ_ＲＭの電流値を決定する。このように本変形例に係る試験装置１０によれば、ＤＵＴ２００の平均消費電流の絶対値を測定することができる。

図１２は、本実施形態の第２変形例に係る測定装置２０の構成をＤＵＴ２００とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した測定装置２０と略同一の機能および構成を取るので、図２に示した部材と略同一の構成および機能を有する部材については図中に同一の符号を付けて、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例に係る測定装置２０は、積分部３０および判定部３２に代えて、第１の積分部３０−１と、第２の積分部３０−２と、第１の判定部３２−１と、第２の判定部３２−２と、選択出力器８４とを備える。第１の積分部３０−１および第２の積分部３０−２のそれぞれは、電流検出部２８が検出した電流Ｉ_ＲＭと予め定められた基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積して、容量成分の両端に発生する積分電圧を出力する。第１の積分部３０−１および第２の積分部３０−２のそれぞれは、一例として、図３に示される構成を有してよい。

第１の判定部３２−１は、第１の積分部３０が出力した積分電圧に基づきＤＵＴ２００の良否を判定する。第２の判定部３２−２は、第２の積分部３０が出力した積分電圧に基づきＤＵＴ２００の良否を判定する。第１の判定部３２−１および第２の判定部３２−２のそれぞれは、一例として、判定部３２と同一の構成および機能を有してよい。選択出力器８４は、第１の判定部３２−１および第２の判定部３２−２のうち指定された一方から出力された判定結果を、選択して出力する。

制御部３６は、第１の積分部３０−１および第２の積分部３０−２の積分期間および放電期間を制御する。また、制御部３６は、第１の判定部３２−１および第２の判定部３２−２のうち判定結果を出力すべき一方を、選択出力器８４に対して指定する。

ここで、制御部３６は、第１の積分部３０−１および第２の積分部３０−２を、試験毎に交互に選択して電荷を蓄積して積分値を出力させる。そして、制御部３６は、第１の積分部３０−１が電荷を蓄積中において、第２の積分部３０−２に蓄積された電荷を放電させる。また、制御部３６は、第２の積分部３０−２が電荷を蓄積中において、第１の積分部３０−１に蓄積された電荷を放電させる。

このような変形例に係る測定装置２０によれば、放電のために試験が実行できない期間を無くすことができる。これにより、このような測定装置２０を備える試験装置１０によれば、試験期間を短くすることができる。

図１３は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置３００の構成をＤＵＴ２００とともに示す。本変形例に係る試験装置３００は、図１から図３に示した試験装置１０と略同一の機能および構成を取るので、図１から図３に示した部材と略同一の構成および機能を有する部材については、図中に同一の符号を付けて説明を省略する。

試験装置３００は、信号発生部１７と、電圧供給部１８と、測定装置３１０と、基準電圧発生部２１と、信号取込部２２と、システム制御装置２３と、アナログデジタル（Ａ／Ｄ）変換部３２０とを備え、ＤＵＴ２００を試験する。測定装置３１０は、測定装置２０と同様の構成および機能を備える。測定装置３１０は、第１コンデンサ２４と、第２コンデンサ２６と、電流検出部３３０と、積分部３４０と、判定部３５０と、制御部３６０とを備える。制御部３６０は、設定部３４および制御部３６と同様の機能を有してよい。

図１４は、本実施形態に係る電流検出部３３０の構成を電圧供給部１８およびＤＵＴ２００とともに示す。電流検出部３３０は、一例として、検出抵抗４２と、電位差検出部４４と、入力切替部３３２とを有してよい。検出抵抗４２は、コイルに代えることができる。入力切替部３３２は、配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭを検出する検出時入力、または、配線１２に流れる電流を０にしたと同様な入力になる補正時入力、の何れかの入力を選択する。配線１２に流れる電流を０にしたと同様な入力として、たとえば電位差検出部４４の入力間をショートするような入力が例示できる。

入力切替部３３２が補正時入力を選択することにより、電位差検出部４４の出力Ｖｘはオフセット誤差を出力する。たとえば、電位差検出部４４のオフセットが１００μＶ、ゲインが１００である場合、オフセット誤差電圧は（オフセット）×（ゲイン＋１）であり、１０．１ｍＶになる。Ｉｄｄが２Ａ、検出抵抗４２が５ｍΩであるとすれば、ゲインが１００なので、信号出力電圧は１Ｖになる。２Ａの測定に対してオフセット誤差電圧が約１％含まれることになり、誤差としては決して小さくない。

図１５は、本実施形態に係る積分部３４０の構成の一例を示す。積分部３４０は、積分回路５０と、放電部５６と、基準電流源３４２と、基準切替部３４４と、オフセット補正部３４６とを有する。積分回路５０は、演算増幅器６０と積分コンデンサ６２とを含み、電流検出部３３０が検出した電流Ｉ_ＲＭと基準電流Ｉ_ＲＥＦとの差電流に応じた電荷を容量成分の一例であってよい積分コンデンサ６２に蓄積して、容量成分の両端に発生する積分電圧Ｖ_Ｍを積分値として出力する。放電部５６は、放電スイッチ７２を含む。放電部５６は、試験に先立って、積分回路５０に蓄積された電荷を放電する。

基準電流源３４２は、積分回路５０の入力から基準電流Ｉ_ＲＥＦを流れ出させる。基準電流源３４２は、第１の電圧フォロア回路６４と第１の基準抵抗６６とを含む。第２の基準抵抗７０は電流流入部５４と同様に機能する。基準切替部３４４は、基準電流源３４２の基準入力を基準電圧Ｖ_ＲＥＦに結合するか接地電圧に結合するかを選択する。

オフセット補正部３４６は、積分回路５０の入力に生じるオフセットを補正する。オフセット補正部３４６は、入力切替部３３２が補正時入力を選択し、基準切替部３４４が接地電圧を選択している場合すなわち補正時に、電流検出部３３０が出力するオフセット誤差電圧を蓄積する補正コンデンサ４０２を有する。そしてオフセット補正部３４６は、入力切替部３３２が検出時入力を選択し、基準切替部３４４が基準電圧を選択している場合すなわち測定時に、補正コンデンサ４０２に蓄積したオフセット誤差電圧の−１倍の電圧を出力する。スイッチ４０４は、補正時にショートされ、測定時にオープンにされる。

図示するように、補正コンデンサ４０２に蓄積したオフセット誤差電圧が演算増幅器４００に正入力され、負入力には出力が帰還されるので、演算増幅器４００の出力Ｖ１は蓄積したオフセット誤差電圧に等しい。一方、第１の電圧フォロア回路６４の帰還部に抵抗４０６を介して出力Ｖ１が接続されるので、抵抗４０６と抵抗４０８とが等しい抵抗値であれば、出力Ｖ１の−１倍が第１の電圧フォロア回路６４の出力Ｖ２に重畳される。これはオフセット誤差電圧に起因する電流をキャンセルするような基準電流成分を発生させ、オフセット誤差の影響を減少できる。

図１６は、本実施形態に係る判定部３５０の構成の一例を示す。判定部３５０は、入力切替部３３２が補正時入力を選択し、基準切替部３４４が接地電圧を選択している場合すなわち補正時に、積分回路５０の出力に生じるオフセットを保持するオフセット保持部３５２を有する。オフセット保持部３５２はオフセットコンデンサ４５２とスイッチ４５４を有し、積分回路５０の出力に生じるオフセットはオフセットコンデンサ４５２に蓄積される。補正時にスイッチ４５４はショートされ、測定時にスイッチ４５４はオープンにされる。

判定部３５０は、入力切替部３３２が検出時入力を選択し、基準切替部３４４が基準電圧を選択している場合すなわち測定時に、オフセット保持部３５２のオフセットコンデンサ４５２に保持したオフセット電圧を基準にＤＵＴ２００の良否を判定する。これにより、コンパレータ５８より前段で発生するオフセットを補正して、高精度な電流測定が可能になる。

なお、積分値を増幅し、増幅した積分値を判定部３５０に提供する低電圧増幅器３５４を備えてよい。オフセット補正により、積分値が充分に低いレベルになるので、低電圧増幅器３５４により積分値を増幅する意義は大きい。

アナログデジタル変換部３２０は、積分値を計測する。アナログデジタル変換部３２０は、測定周期ごとに積分値を計測したデジタル値を記録部に記録し、一連の計測の前または後に基準電流のみを入力とした場合の計測値を計測して、当該計測値で、記録部に記録された測定周期ごとのデジタル値をスケーリングできる。なお、スケーリング処理する処理部および記録部は、システム制御装置２３に備えてよい。アナログデジタル変換部３２０によれは、一連の計測の前または後に基準電流を一度だけ測定して、電流値のスケーリングを行うことができる。このスケーリングにより、各測定周期で測定したデジタル値の電流値がわかる。

図１７は、第３変形例に係る試験装置３００の動作の一例を示す。ＸＳＴＳＰはスイッチ４０４の制御信号を、ＸＩＮは入力切替部３３２の制御信号を、ＸＲＥＦは基準切替部３４４の制御信号を示す。これら制御信号が何れも論理Ｌレベルであるｔ（ｎ）の期間に電流測定が実行される。電流測定は、ＤＵＴ２００に流入する電流Ｉｄｄが基準電流（図中破線で示す）との差を積分回路５０の出力Ｖ_Ｍ（Ｖ４）として検出する。出力Ｖ_Ｍ（Ｖ４）が正あるいは負の値になるかで良否判定を行える。なお、ｔａは出力Ｖ_Ｍ（Ｖ４）の値を保持する期間であり、その間にアナログデジタル変換部３２０により出力である積分値が取得される。取得された積分値は、ｔ（ｒｅｆ）の期間に計測された基準電流のみの積分値でスケーリングできる。

以上、本発明の（一）側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００とともに示す。 図２は、本実施形態に係る測定装置２０の構成を電圧供給部１８およびＤＵＴ２００とともに示す。 図３は、本実施形態に係る積分部３０および判定部３２の構成の一例を示す。 図４は、試験時のＤＵＴ２００に供給される駆動電流Ｉｄｄ（＝ＤＵＴ２００の消費電流）の一例を示す。 図５は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、電圧供給部１８から出力される出力電流Ｉ_Ｐのシミュレーション結果を示す。 図６は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、駆動電圧Ｖｄｄのシミュレーション結果を示す。 図７は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第１コンデンサ２４に流れる電流Ｉ_ＣＬ１のシミュレーション結果を示す。 図８は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第２コンデンサ２６に流れる電流Ｉ_ＣＬ２のシミュレーション結果を示す。 図９は、ＤＵＴ２００を図４に示されるように動作させた場合において、第１コンデンサ２４と第２コンデンサ２６との間において配線１２に流れる電流Ｉ_ＲＭのシミュレーション結果を示す。 図１０は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００とともに示す。 図１１は、第１変形例に係る試験装置１０のサーチ部８２が設定する基準電流Ｉ_ＲＥＦの一例を示す。 図１２は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ２００とともに示す。 図１３は、本実施形態の第３変形例に係る試験装置３００の構成をＤＵＴ２００とともに示す。 図１４は、本実施形態に係る電流検出部３３０の構成を電圧供給部１８およびＤＵＴ２００とともに示す。 図１５は、本実施形態に係る積分部３４０の構成の一例を示す。 図１６は、本実施形態に係る判定部３５０の構成の一例を示す。 図１７は、第３変形例に係る試験装置３００の動作の一例を示す。

符号の説明

１０ 試験装置，１２ 配線，１４ 検出端，１７ 信号発生部，１８ 電圧供給部，２０ 測定装置，２１ 基準電圧発生部，２２ 信号取込部，２３ システム制御装置，２４ 第１コンデンサ，２６ 第２コンデンサ，２８ 電流検出部，３０ 積分部，３２ 判定部，３４ 設定部，３６ 制御部，４２ 検出抵抗，４４ 電位差検出部，５０ 積分回路，５２ 基準電流源，５４ 電流流入部，５６ 放電部，５８ コンパレータ，６０ 演算増幅器，６２ 積分コンデンサ，６４ 電圧フォロア回路，６６ 基準抵抗，６８ 電圧フォロア回路，７０ 基準抵抗，７２ 放電スイッチ，７４ 切換スイッチ，７６ 切換スイッチ，８２ サーチ部，８４ 選択出力器，２００ ＤＵＴ，３００ 試験装置，３１０ 測定装置，３２０ 変換部，３３０ 電流検出部，３３２ 入力切替部，３４０ 積分部，３４２ 基準電流源，３４４ 基準切替部，３４６ オフセット補正部，３５０ 判定部，３５２ オフセット保持部，３５４ 低電圧増幅器，３６０ 制御部，４００ 演算増幅器，４０２ 補正コンデンサ，４０４ スイッチ，４０６ 抵抗，４０８ 抵抗，４５２ オフセットコンデンサ，４５４ スイッチ

Claims (16)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   電圧を配線を介して被試験デバイスに供給する電圧供給部と、
   前記配線とコモン電位との間に直列に配置される第１コンデンサと、
   前記第１コンデンサより前記被試験デバイスに近い位置において前記配線に流れる電流を検出する電流検出部と、
   前記電流検出部が検出した電流と予め定められた基準電流との差を積分した積分値を出力する積分部と、
   前記積分値に基づき前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
   を備える試験装置。
2. 前記第１コンデンサより前記被試験デバイスに近い位置において前記配線と前記コモン電位との間に直列に配置され、容量が前記第１コンデンサより小さい第２コンデンサを更に備え、
   前記電流検出部は、前記第２コンデンサより前記被試験デバイスから遠い位置において前記配線に流れる電流を検出する
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記判定部は、前記積分値の正負に応じて、前記被試験デバイスの良否を判定する
   請求項１から２の何れかに記載の試験装置。
4. 前記積分部は、前記電流検出部が検出した電流と前記基準電流との差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積して、前記容量成分の両端に発生する積分電圧を積分値として出力する積分回路を有する
   請求項１から３の何れかに記載の試験装置。
5. 前記積分回路は、
   非反転入力端子がコモン電位に接続された演算増幅器と、
   前記演算増幅器の出力端子と反転入力端子との間に接続された積分コンデンサと
   を含み、
   前記積分部は、
   前記演算増幅器の前記反転入力端子から前記基準電流を流れ出させる基準電流源と、
   前記演算増幅器の前記反転入力端子に対して前記電流検出部が検出した電流を流入させる電流流入部とを更に有する
   請求項４に記載の試験装置。
6. 前記積分部は、試験に先立って、前記積分回路に蓄積された電荷を放電する放電部を更に有する
   請求項４から５の何れかに記載の試験装置。
7. 当該試験装置は、第１の前記積分部と、第２の前記積分部とを備え、
   前記第１の積分部が前記電荷を蓄積中において、前記第２の積分部に蓄積された電荷を放電させる制御部を更に備える
   請求項６に記載の試験装置。
8. 測定範囲内の基準電流を設定して得られた判定結果に応じて、前記配線に流れる電流が前記測定範囲を前記基準電流で上下に分割したいずれの範囲に属するかを決定し、決定した範囲を新たな前記測定範囲として、新たな前記測定範囲内の新たな前記基準電流を設定する処理を繰り返すことにより、前記配線に流れる電流が属する範囲を絞り込んで、前記配線に流れる電流の電流値を決定するサーチ部を
   更に備える請求項１から７の何れかに記載の試験装置。
9. システム制御装置を更に備え、
   前記システム制御装置は、前記配線に流れる電流の電流値を測定する測定プログラムを実行することにより、
   測定範囲内の基準電流を設定して得られた判定結果に応じて、前記配線に流れる電流が前記測定範囲を前記基準電流で上下に分割したいずれの範囲に属するかを決定し、決定した範囲を新たな前記測定範囲として、新たな前記測定範囲内の新たな前記基準電流を設定する処理を繰り返すことにより、前記配線に流れる電流が属する範囲を絞り込んで、前記配線に流れる電流の電流値を決定する
   請求項１から７の何れかに記載の試験装置。
10. 負荷に流れる電流を測定する測定装置であって、
    前記負荷に電圧を供給する配線とコモン電位との間に直列に配置される第１コンデンサと、
    前記第１コンデンサより前記負荷に近い位置において前記配線に流れる電流を検出する電流検出部と、
    前記電流検出部が検出した電流と予め定められた基準電流との差を積分した積分値を出力する積分部と
    を備える測定装置。
11. 前記積分部は、
    前記電流検出部が検出した電流と前記基準電流との差電流に応じた電荷を容量成分に蓄積して、前記容量成分の両端に発生する積分電圧を積分値として出力する積分回路と、
    前記積分回路の入力に生じるフセットを補正するオフセット補正部と、
    を有する請求項１から９の何れかに記載の試験装置。
12. 前記電流検出部は、
    前記配線に流れる電流を検出する検出時入力、または、前記配線に流れる電流を０にしたと同様な入力になる補正時入力、の何れかの入力を選択する入力切替部、を有し、
    前記積分部は、
    前記積分回路の入力から前記基準電流を流れ出させる基準電流源と、
    前記基準電流源の基準入力を基準電圧に結合するか接地電圧に結合するかを選択する基準切替部と、を有し、
    前記オフセット補正部は、
    前記入力切替部が前記補正時入力を選択し、前記基準切替部が前記接地電圧を選択している場合に、前記電流検出部が出力するオフセット誤差電圧を蓄積する補正コンデンサを有し、
    前記入力切替部が前記検出時入力を選択し、前記基準切替部が前記基準電圧を選択している場合に、前記補正コンデンサに蓄積した前記オフセット誤差電圧の−１倍の電圧を出力する、
    請求項１１に記載の試験装置。
13. 前記積分部は、試験に先立って、前記積分回路に蓄積された電荷を放電する放電部を更に有する
    請求項１２に記載の試験装置。
14. 前記判定部は、
    前記入力切替部が前記補正時入力を選択し、前記基準切替部が前記接地電圧を選択している場合に、前記積分回路の出力に生じるオフセットを保持するオフセット保持部を有し、
    前記入力切替部が前記検出時入力を選択し、前記基準切替部が前記基準電圧を選択している場合に、前記オフセット保持部に保持したオフセット電圧を基準に前記被試験デバイスの良否を判定する、
    請求項１３に記載の試験装置。
15. 前記積分値を増幅し、増幅した積分値を前記判定部に提供する低電圧増幅器、
    をさらに備えた請求項１４に記載の試験装置。
16. 前記積分値を計測するアナログデジタル変換部、をさらに備え、
    前記アナログデジタル変換部は、
    測定周期ごとに前記積分値を計測したデジタル値を記録する記録部と、
    一連の計測の前または後に前記基準電流のみを入力とした場合の計測値で、前記記録部に記録された前記測定周期ごとのデジタル値をスケーリングする処理部と、
    を有する請求項１に記載の試験装置。

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