JP2009115469A - 基板検査装置、およびマスク用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板(30)の異物を検査する基板検査装置は、輪帯形状の光源(14)と、光源からの光束に基づいて基板の所定領域を重畳的に照明する照明光学系(15)と、所定領域を暗視野観察する撮像系(2)とを備えている。光源は、中央に形成された中空部(14a)を有する。照明光学系は、中央に形成された貫通部(15a)を有する。撮像系の撮像範囲(2a)は、照明光学系の貫通部および光源の中空部を貫通している。
【選択図】 図1
Description
輪帯形状の光源と、
前記光源からの光束に基づいて前記基板の所定領域を重畳的に照明する照明光学系と、
前記所定領域を暗視野観察する撮像系とを備えていることを特徴とする基板検査装置を提供する。
第1形態の基板検査装置を用いて、前記マスク用基板の異物を検査する検査工程を含むことを特徴とする製造方法を提供する。
2 撮像系
11 ハロゲンランプ
12 楕円鏡
13 ライトガイド
14 輪帯形状の光源
15 照明光学系
21 光路折曲げミラー
30 基板
31 線状のキズ
Claims (5)
- 基板の異物を検査する基板検査装置において、
輪帯形状の光源と、
前記光源からの光束に基づいて前記基板の所定領域を重畳的に照明する照明光学系と、
前記所定領域を暗視野観察する撮像系とを備えていることを特徴とする基板検査装置。 - 前記光源は、中央に形成された中空部を有し、
前記照明光学系は、中央に形成された貫通部を有し、
前記撮像系の撮像範囲は、前記照明光学系の前記貫通部および前記光源の前記中空部を貫通していることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記撮像系と前記基板との間の光路中に配置された光路折曲げミラーを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板検査装置。
- 前記照明光学系は、前記光源からの光を平行光にして前記基板へ導くように構成され、
前記撮像系の画角は10度以下であり、前記光源から前記照明光学系を介して前記基板に入射する光線のなす円錐角は20度以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板検査装置。 - マスク用基板の製造方法において、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板検査装置を用いて、前記マスク用基板の異物を検査する検査工程を含むことを特徴とする製造方法。
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JP2007285612A JP2009115469A (ja) | 2007-11-02 | 2007-11-02 | 基板検査装置、およびマスク用基板の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2007
- 2007-11-02 JP JP2007285612A patent/JP2009115469A/ja active Pending
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