JP2019523865A5 - 基板検査方法、装置及びシステム - Google Patents
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Claims (20)
- 基板を検査する方法であって：
前記基板を、空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームで照明するステップであって、前記レーザー・ビームは、前記基板上の照明スポットと定在波のブライト・フリンジとを形成し、前記定在波は前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有し、前記ブライト・フリンジは前記照明スポットの少なくとも一部分を超えて延びる、ステップ；及び
ダーク・フィールド光学検出システムが、前記照明スポット内の前記基板に存在するナノ欠陥からの散乱光を検出するステップ；
を有する方法。 - 前記レーザー・ビームは、位相差により区別される少なくとも２つのビーム部分を有する、請求項１に記載の方法。
- 前記位相差はπラジアンである、請求項２に記載の方法。
- 前記レーザー・ビームの位相差は、位相マスク又は位相リターダを利用して形成される、請求項２に記載の方法。
- 前記レーザー・ビームは前記基板の表面においてｓ偏向を有する又は前記基板の表面においてｐ偏向を有する、請求項１に記載の方法。
- 前記表面における前記レーザー・ビームの入射角は、約１°から約９０°の間にある、請求項１に記載の方法。
- 前記レーザー・ビームは、極紫外線（ＥＵＶ）、深紫外線（ＤＵＶ）、紫外線（ＵＶ）、光スペクトルの可視光部分、又はそれら２つ以上の組み合わせにおける光波長を含む、請求項１に記載の方法。
- 前記ダーク・フィールド光学検出システムは、前記基板に実質的に垂直な方向において、前記ナノ欠陥からの散乱光を検出するように構成される、請求項１に記載の方法。
- 前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
対物レンズ；
設定可能な撮像開口；
中継光学部；
バンドパス・フィルタ；及び
ディテクタ・アレイ；
を有する、請求項１に記載の方法。 - 前記ディテクタ・アレイは、光電子倍増管（ＰＭＴ）アレイ、又は時間遅延積分電荷結合デバイス（ＴＤＩ ＣＣＤ）アレイを有する、請求項９に記載の方法。
- 前記対物レンズは、色収差を最小化するように最適化される、請求項９に記載の方法。
- 前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
前記基板におけるナノ欠陥からの散乱光の検出中にフォーカスを維持するオートフォーカス・システム；
を更に有する請求項９に記載の方法。 - 前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
照明されたナノ欠陥からの散乱光から取得される光学信号を信号処理し、前記ダーク・フィールド光学検出システムの視野の中でナノ欠陥が生じているか否かを判断する撮像コンピュータ；
を更に有する請求項９に記載の方法。 - 前記ナノ欠陥は、前記基板の上及び前記基板上に形成される層全体の上に位置する欠陥を含む、請求項１に記載の方法。
- 基板を検査するシステムであって：
前記基板を受ける基板ステージ；
レーザー光源；
前記レーザー光源から前記基板の表面へ光を方向付ける照明光学部であって、前記照明光学部は前記基板を照明するために空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームを形成するように構成され、前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有する定在波を形成する照明光学部；及び
前記基板における照明されたナノ欠陥からの散乱光を検出することにより、照明された前記ナノ欠陥を検出するダーク・フィールド光学検出システム；
を有するシステム。 - パージ・チャンバーを更に有し、前記基板ステージは前記パージ・チャンバー内に配置される、請求項１５に記載のシステム。
- 前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
対物レンズ；
設定可能な撮像開口；
中継光学部；
バンドパス・フィルタ；及び
ディテクタ・アレイ；
を有する、請求項１５に記載のシステム。 - 前記ディテクタ・アレイは、光電子倍増管（ＰＭＴ）アレイ、又は時間遅延積分電荷結合デバイス（ＴＤＩ ＣＣＤ）アレイを有する、請求項１７に記載のシステム。
- 前記ダーク・フィールド光学検出システムは：
前記基板におけるナノ欠陥からの散乱光の検出中にフォーカスを維持するオートフォーカス・システム；
を更に有する請求項１７に記載のシステム。 - 基板を検査する装置であって：
レーザー光源から空間位相シンギュラリティを有するレーザー・ビームを形成し、前記レーザー・ビームを前記基板へ方向付ける照明システムであって、前記基板の表面において少なくともブライト・フリンジとダーク・フリンジとを有する定在波を形成する照明システム；及び
前記基板において照明されたナノ欠陥からの散乱光を検出することにより、前記照明されたナノ欠陥を検出するダーク・フィールド光学検出システム；
を有する装置。
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